Khi kiểm tra các tấm wafer silicon bán dẫn hoặc đế nền làm từ các vật liệu khác, chúng ta thường gặp các chỉ số kỹ thuật như: TTV, BOW, WARP, và có thể cả TIR, STIR, LTV, cùng nhiều chỉ số khác. Những thông số này biểu thị những thông số nào?
TTV — Tổng độ dày thay đổi
CUNG — Cung
WARP — Warp
TIR — Tổng số chỉ thị
STIR — Tổng số chỉ định tại chỗ
LTV — Biến thiên độ dày cục bộ
1. Tổng độ dày thay đổi — TTV
Chênh lệch giữa độ dày tối đa và tối thiểu của wafer so với mặt phẳng tham chiếu khi wafer được kẹp chặt và tiếp xúc chặt. Độ chênh lệch này thường được biểu thị bằng micrômét (μm), thường được ký hiệu là: ≤15 μm.
2. Cung — BOW
Độ lệch giữa khoảng cách tối thiểu và tối đa từ điểm tâm của bề mặt wafer đến mặt phẳng tham chiếu khi wafer ở trạng thái tự do (không bị kẹp). Điều này bao gồm cả trường hợp lõm (cung âm) và lồi (cung dương). Độ lệch này thường được biểu thị bằng micrômét (μm), thường được ký hiệu là: ≤40 μm.
3. Warp — WARP
Độ lệch giữa khoảng cách tối thiểu và tối đa từ bề mặt wafer đến mặt phẳng tham chiếu (thường là mặt sau của wafer) khi wafer ở trạng thái tự do (không bị kẹp). Độ lệch này bao gồm cả trường hợp lõm (congai âm) và lồi (congai dương). Độ lệch này thường được biểu thị bằng micrômét (μm), thường được ký hiệu là: ≤30 μm.
4. Tổng số chỉ thị — TIR
Khi wafer được kẹp chặt và tiếp xúc chặt chẽ, sử dụng mặt phẳng tham chiếu giúp giảm thiểu tổng các điểm cắt của tất cả các điểm trong vùng chất lượng hoặc vùng cục bộ được chỉ định trên bề mặt wafer, TIR là độ lệch giữa khoảng cách tối đa và tối thiểu từ bề mặt wafer đến mặt phẳng tham chiếu này.
Được thành lập dựa trên chuyên môn sâu rộng về các thông số kỹ thuật vật liệu bán dẫn như TTV, BOW, WARP và TIR, XKH cung cấp dịch vụ gia công wafer tùy chỉnh chính xác, đáp ứng các tiêu chuẩn công nghiệp nghiêm ngặt. Chúng tôi cung cấp và hỗ trợ đa dạng các loại vật liệu hiệu suất cao, bao gồm sapphire, silicon carbide (SiC), wafer silicon, SOI và thạch anh, đảm bảo độ phẳng, độ dày đồng đều và chất lượng bề mặt vượt trội cho các ứng dụng tiên tiến trong quang điện tử, thiết bị điện và MEMS. Hãy tin tưởng chúng tôi sẽ cung cấp các giải pháp vật liệu đáng tin cậy và gia công chính xác, đáp ứng các yêu cầu thiết kế khắt khe nhất của bạn.
Thời gian đăng: 29-08-2025