Chốt nâng bằng sapphire cao cấp, tinh thể đơn Al₂O₃, chốt nâng dạng tấm wafer.
Thông số kỹ thuật
| Thành phần hóa học | Al2O3 |
| Độ cứng | 9 Mohs |
| Bản chất quang học | Đơn trục |
| Chỉ số khúc xạ | 1,762-1,770 |
| Hiện tượng lưỡng chiết | 0,008-0,010 |
| Sự phân tán | Thấp, 0,018 |
| Ánh sáng | Thể thủy tinh |
| Đa sắc độ | Mức độ vừa phải đến mạnh |
| Đường kính | 0,4mm-30mm |
| Dung sai đường kính | 0,004mm-0,05mm |
| chiều dài | 2mm-150mm |
| dung sai chiều dài | 0,03mm-0,25mm |
| Chất lượng bề mặt | 40/20 |
| Độ tròn bề mặt | RZ0.05 |
| Hình dạng tùy chỉnh | Cả hai đầu đều phẳng, một đầu hình tam giác, cả hai đầu đều hình tam giác. chốt yên ngựa và các hình dạng đặc biệt |
Các tính năng chính
1. Độ cứng và khả năng chống mài mòn vượt trội: Với độ cứng Mohs là 9, chỉ đứng sau kim cương, các chốt nâng bằng sapphire thể hiện đặc tính chống mài mòn vượt trội hơn hẳn so với các vật liệu thay thế truyền thống như silicon carbide, gốm alumina hoặc hợp kim kim loại. Độ cứng cực cao này giúp giảm đáng kể lượng bụi mịn và yêu cầu bảo trì, với tuổi thọ sử dụng thường dài hơn từ 3-5 lần so với các vật liệu thông thường trong các ứng dụng tương đương.
2. Khả năng chịu nhiệt độ cao vượt trội: Được thiết kế để chịu được hoạt động liên tục ở nhiệt độ trên 1000°C mà không bị suy giảm chất lượng, các chân nâng bằng sapphire duy trì độ ổn định kích thước và độ bền cơ học trong các quy trình nhiệt khắc nghiệt nhất. Điều này làm cho chúng đặc biệt có giá trị đối với các ứng dụng quan trọng như lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng hơi hóa học kim loại hữu cơ (MOCVD) và các hệ thống ủ nhiệt độ cao, nơi sự không phù hợp về giãn nở nhiệt có thể ảnh hưởng đến hiệu suất quy trình.
3. Tính trơ hóa học: Cấu trúc tinh thể đơn sapphire thể hiện khả năng chống chịu đáng kể đối với sự tấn công từ axit HF, các chất hóa học gốc clo và các khí xử lý mạnh khác thường gặp trong sản xuất chất bán dẫn. Tính ổn định hóa học này đảm bảo hiệu suất ổn định trong môi trường plasma và ngăn ngừa sự hình thành các khuyết tật bề mặt có thể dẫn đến ô nhiễm tấm bán dẫn.
4. Độ nhiễm bẩn hạt thấp: Được sản xuất từ tinh thể sapphire tinh khiết cao, không khuyết tật (thường >99,99%), các chân nâng này thể hiện khả năng phát tán hạt tối thiểu ngay cả sau thời gian sử dụng kéo dài. Cấu trúc bề mặt không xốp và lớp hoàn thiện được đánh bóng đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt nhất của phòng sạch, góp phần trực tiếp vào việc cải thiện năng suất quy trình trong sản xuất chất bán dẫn thế hệ mới.
Gia công chính xác cao: Bằng cách sử dụng các kỹ thuật mài kim cương tiên tiến và xử lý laser, các chân nâng sapphire có thể được sản xuất với dung sai dưới micromet và độ nhám bề mặt dưới 0,05μm Ra. Các hình dạng tùy chỉnh bao gồm cấu hình côn, cấu hình đầu đặc biệt và các tính năng căn chỉnh tích hợp có thể được thiết kế để giải quyết các thách thức xử lý wafer cụ thể trong thiết bị chế tạo thế hệ tiếp theo.
Ứng dụng chính
1. Sản xuất bán dẫn: Các chân nâng bằng sapphire đóng vai trò quan trọng trong các hệ thống xử lý wafer tiên tiến, cung cấp sự hỗ trợ đáng tin cậy và định vị chính xác trong các quy trình quang khắc, khắc axit, lắng đọng và kiểm tra. Độ ổn định nhiệt và hóa học của chúng làm cho chúng đặc biệt có giá trị trong các công cụ quang khắc EUV và các ứng dụng đóng gói tiên tiến, nơi độ ổn định kích thước ở thang đo nanomet là điều cần thiết.
2. Lớp phủ LED (MOCVD): Trong các hệ thống tăng trưởng lớp phủ bán dẫn phức hợp gallium nitride (GaN) và các chất liên quan, các chân nâng bằng sapphire cung cấp sự hỗ trợ ổn định cho tấm wafer ở nhiệt độ thường vượt quá 1000°C. Đặc tính giãn nở nhiệt phù hợp của chúng với chất nền sapphire giúp giảm thiểu hiện tượng cong vênh và trượt của wafer trong quá trình tăng trưởng lớp phủ.
3. Ngành công nghiệp quang điện: Việc sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao được hưởng lợi từ các đặc tính độc đáo của sapphire trong các quy trình khuếch tán ở nhiệt độ cao, thiêu kết và lắng đọng màng mỏng. Khả năng chống mài mòn của các chân tiếp xúc đặc biệt có giá trị trong môi trường sản xuất hàng loạt, nơi tuổi thọ của linh kiện ảnh hưởng trực tiếp đến chi phí sản xuất.
4. Gia công quang học và điện tử chính xác: Ngoài các ứng dụng bán dẫn, chân nâng sapphire còn được sử dụng trong việc xử lý các linh kiện quang học tinh tế, thiết bị MEMS và các chất nền đặc biệt, nơi việc xử lý không bị nhiễm bẩn và ngăn ngừa trầy xước là rất quan trọng. Đặc tính cách điện của chúng làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng liên quan đến các thiết bị nhạy cảm với tĩnh điện.
Dịch vụ của XKH cho các chốt nâng sapphire.
XKH cung cấp hỗ trợ kỹ thuật toàn diện và các giải pháp tùy chỉnh cho các chốt nâng sapphire:
1. Dịch vụ phát triển phần mềm theo yêu cầu
• Hỗ trợ tùy chỉnh kích thước, hình học và xử lý bề mặt.
• Đề xuất lựa chọn vật liệu và tối ưu hóa thông số kỹ thuật
• Thiết kế sản phẩm hợp tác và xác minh mô phỏng
2. Khả năng sản xuất chính xác
• Gia công chính xác cao với dung sai được kiểm soát trong phạm vi ±1μm
• Các phương pháp xử lý đặc biệt bao gồm đánh bóng gương và vát cạnh.
• Các giải pháp tùy chọn để cải tiến bề mặt, chẳng hạn như lớp phủ chống dính.
3. Hệ thống đảm bảo chất lượng
• Thực hiện nghiêm ngặt việc kiểm tra nguyên vật liệu đầu vào và kiểm soát quy trình.
• Kiểm tra quang học toàn diện và phân tích hình thái bề mặt
• Cung cấp báo cáo thử nghiệm hiệu năng sản phẩm
4. Dịch vụ chuỗi cung ứng
• Giao hàng nhanh chóng các sản phẩm tiêu chuẩn
• Quản lý kho hàng chuyên biệt cho các khách hàng trọng điểm
5. Hỗ trợ kỹ thuật
• Tư vấn giải pháp ứng dụng
• Phản hồi sau bán hàng nhanh chóng
Chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm chân nâng sapphire chất lượng cao và dịch vụ kỹ thuật chuyên nghiệp để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn, LED và các ngành công nghiệp tiên tiến khác.
