Dung dịch khắc ướt và khô cho tấm wafer sapphire
Sơ đồ chi tiết
Giới thiệu sản phẩm
Các tấm wafer sapphire khắc được sản xuất bằng cách sử dụng chất nền sapphire đơn tinh thể (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao, được xử lý thông qua kỹ thuật quang khắc tiên tiến kết hợp với...công nghệ khắc ướt và khắc khôCác sản phẩm này có cấu trúc vi mô đồng nhất cao, độ chính xác kích thước tuyệt vời và độ ổn định vật lý và hóa học vượt trội, thích hợp cho các ứng dụng đòi hỏi độ tin cậy cao trong vi điện tử, quang điện tử, đóng gói bán dẫn và các lĩnh vực nghiên cứu tiên tiến.
Sapphire nổi tiếng với độ cứng và độ ổn định cấu trúc vượt trội, đạt độ cứng Mohs 9, chỉ đứng sau kim cương. Bằng cách kiểm soát chính xác các thông số khắc, các cấu trúc vi mô được xác định rõ ràng và có thể lặp lại có thể được tạo ra trên bề mặt sapphire, đảm bảo các cạnh hoa văn sắc nét, hình dạng ổn định và tính nhất quán tuyệt vời giữa các lô sản phẩm.

Công nghệ khắc
Khắc ướt
Khắc ướt sử dụng các dung dịch hóa chất chuyên dụng để loại bỏ vật liệu sapphire một cách chọn lọc và tạo thành các cấu trúc vi mô mong muốn. Quy trình này mang lại năng suất cao, độ đồng nhất tốt và chi phí xử lý tương đối thấp, do đó phù hợp cho việc tạo hình trên diện tích lớn và các ứng dụng có yêu cầu về độ cao thành bên vừa phải.
Bằng cách kiểm soát chính xác thành phần dung dịch, nhiệt độ và thời gian khắc, có thể đạt được sự kiểm soát ổn định về độ sâu khắc và hình thái bề mặt. Các tấm wafer sapphire được khắc ướt được sử dụng rộng rãi trong chất nền đóng gói LED, lớp hỗ trợ cấu trúc và một số ứng dụng MEMS chọn lọc.
Khắc khô
Khắc khô, chẳng hạn như khắc plasma hoặc khắc ion phản ứng (RIE), sử dụng các ion năng lượng cao hoặc các chất phản ứng để khắc sapphire thông qua các cơ chế vật lý và hóa học. Phương pháp này mang lại tính dị hướng vượt trội, độ chính xác cao và khả năng truyền mẫu tuyệt vời, cho phép chế tạo các chi tiết nhỏ và cấu trúc vi mô có tỷ lệ chiều cao trên chiều rộng cao.
Khắc khô đặc biệt phù hợp cho các ứng dụng yêu cầu thành bên thẳng đứng, độ nét chi tiết cao và kiểm soát kích thước chặt chẽ, chẳng hạn như thiết bị Micro-LED, bao bì bán dẫn tiên tiến và cấu trúc MEMS hiệu suất cao.
Các tính năng và ưu điểm chính
-
Đế sapphire đơn tinh thể có độ tinh khiết cao với độ bền cơ học tuyệt vời.
-
Các tùy chọn quy trình linh hoạt: khắc ướt hoặc khắc khô tùy thuộc vào yêu cầu ứng dụng.
-
Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn đảm bảo độ tin cậy lâu dài.
-
Độ ổn định nhiệt và hóa học tuyệt vời, phù hợp với môi trường khắc nghiệt.
-
Độ trong suốt quang học cao và tính chất điện môi ổn định
-
Độ đồng nhất cao về hoa văn và tính nhất quán giữa các lô sản phẩm.
Ứng dụng
-
Các chất nền dùng cho đóng gói và thử nghiệm LED và Micro-LED
-
Các chất mang chip bán dẫn và công nghệ đóng gói tiên tiến
-
Cảm biến MEMS và hệ thống vi cơ điện tử
-
Các linh kiện quang học và cấu trúc căn chỉnh chính xác
-
Viện nghiên cứu và phát triển cấu trúc vi mô theo yêu cầu
Tùy chỉnh và Dịch vụ
Chúng tôi cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh toàn diện, bao gồm thiết kế mẫu, lựa chọn phương pháp khắc (ướt hoặc khô), kiểm soát độ sâu khắc, các tùy chọn về độ dày và kích thước chất nền, khắc một mặt hoặc hai mặt, và các cấp độ đánh bóng bề mặt. Quy trình kiểm soát chất lượng và kiểm tra nghiêm ngặt đảm bảo rằng mỗi tấm wafer sapphire được khắc đều đáp ứng các tiêu chuẩn độ tin cậy và hiệu suất cao trước khi giao hàng.
Câu hỏi thường gặp – FAQ
Câu 1: Sự khác biệt giữa khắc ướt và khắc khô đối với sapphire là gì?
A:Khắc ướt dựa trên các phản ứng hóa học và phù hợp cho việc xử lý diện tích lớn và tiết kiệm chi phí, trong khi khắc khô sử dụng các kỹ thuật dựa trên plasma hoặc ion để đạt được độ chính xác cao hơn, tính dị hướng tốt hơn và khả năng kiểm soát chi tiết tinh tế hơn. Sự lựa chọn phụ thuộc vào độ phức tạp của cấu trúc, yêu cầu về độ chính xác và các yếu tố chi phí.
Câu 2: Tôi nên chọn quy trình khắc nào cho ứng dụng của mình?
A:Phương pháp khắc ướt được khuyến nghị cho các ứng dụng yêu cầu các mẫu đồng nhất với độ chính xác vừa phải, chẳng hạn như chất nền LED tiêu chuẩn. Phương pháp khắc khô phù hợp hơn cho các ứng dụng độ phân giải cao, tỷ lệ khung hình cao, hoặc các ứng dụng Micro-LED và MEMS, nơi hình học chính xác là rất quan trọng.
Câu 3: Bạn có thể hỗ trợ các mẫu mã và thông số kỹ thuật tùy chỉnh không?
A:Có. Chúng tôi hỗ trợ thiết kế tùy chỉnh hoàn toàn, bao gồm bố cục mẫu, kích thước chi tiết, độ sâu khắc, độ dày wafer và kích thước chất nền.
Về chúng tôi
XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới với công nghệ cao. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho ngành điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp các linh kiện quang học Sapphire, nắp ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide (SIC), thạch anh và tấm bán dẫn tinh thể. Với chuyên môn cao và thiết bị hiện đại, chúng tôi vượt trội trong gia công các sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.












