Tấm nền SIC 12 inch silicon carbide loại tốt đường kính 300mm kích thước lớn 4H-N Thích hợp cho tản nhiệt thiết bị công suất cao

Mô tả ngắn gọn:

Tấm nền silicon carbide 12 inch (tấm nền SiC) là tấm nền vật liệu bán dẫn hiệu suất cao, kích thước lớn được làm từ tinh thể silicon carbide đơn. Silicon carbide (SiC) là vật liệu bán dẫn có khoảng cách dải rộng với các đặc tính điện, nhiệt và cơ học tuyệt vời, được sử dụng rộng rãi trong sản xuất các thiết bị điện tử trong môi trường công suất cao, tần số cao và nhiệt độ cao. Tấm nền 12 inch (300mm) là thông số kỹ thuật tiên tiến hiện nay của công nghệ silicon carbide, có thể cải thiện đáng kể hiệu quả sản xuất và giảm chi phí.

Gửi email cho chúng tôi

Đặc trưng

Đặc điểm sản phẩm

1. Độ dẫn nhiệt cao: độ dẫn nhiệt của silicon carbide cao hơn silicon gấp 3 lần, thích hợp để tản nhiệt cho các thiết bị công suất cao.

2. Cường độ từ trường đánh thủng cao: Cường độ từ trường đánh thủng cao gấp 10 lần so với silicon, phù hợp cho các ứng dụng áp suất cao.

3. Khoảng cách dải rộng: Khoảng cách dải là 3,26eV (4H-SiC), phù hợp cho các ứng dụng nhiệt độ cao và tần số cao.

4. Độ cứng cao: Độ cứng Mohs là 9,2, chỉ đứng sau kim cương, khả năng chống mài mòn và độ bền cơ học tuyệt vời.

5. Tính ổn định hóa học: khả năng chống ăn mòn mạnh, hoạt động ổn định ở nhiệt độ cao và môi trường khắc nghiệt.

6. Kích thước lớn: Đế 12 inch (300mm), cải thiện hiệu quả sản xuất, giảm chi phí đơn vị.

7. Mật độ khuyết tật thấp: công nghệ phát triển tinh thể đơn chất lượng cao để đảm bảo mật độ khuyết tật thấp và độ đồng nhất cao.

Hướng ứng dụng chính của sản phẩm

1. Điện tử công suất:

Mosfet: Được sử dụng trong xe điện, bộ truyền động động cơ công nghiệp và bộ biến đổi điện.

Điốt: chẳng hạn như điốt Schottky (SBD), được sử dụng để chỉnh lưu hiệu quả và chuyển mạch nguồn điện.

2. Thiết bị RF:

Bộ khuếch đại công suất Rf: được sử dụng trong các trạm gốc truyền thông 5G và truyền thông vệ tinh.

Thiết bị vi sóng: Thích hợp cho hệ thống radar và truyền thông không dây.

3. Xe năng lượng mới:

Hệ thống truyền động điện: bộ điều khiển động cơ và bộ biến tần cho xe điện.

Cọc sạc: Mô-đun nguồn cho thiết bị sạc nhanh.

4. Ứng dụng công nghiệp:

Biến tần cao áp: dùng để điều khiển động cơ công nghiệp và quản lý năng lượng.

Lưới điện thông minh: Dành cho máy biến áp điện tử công suất và truyền tải HVDC.

5. Hàng không vũ trụ:

Thiết bị điện tử chịu nhiệt độ cao: phù hợp với môi trường nhiệt độ cao của thiết bị hàng không vũ trụ.

6. Lĩnh vực nghiên cứu:

Nghiên cứu chất bán dẫn có khoảng cách băng rộng: để phát triển vật liệu và thiết bị bán dẫn mới.

Tấm nền silicon carbide 12 inch là một loại vật liệu bán dẫn hiệu suất cao với các đặc tính tuyệt vời như độ dẫn nhiệt cao, cường độ trường đánh thủng cao và khoảng cách dải rộng. Nó được sử dụng rộng rãi trong điện tử công suất, thiết bị tần số vô tuyến, xe năng lượng mới, điều khiển công nghiệp và hàng không vũ trụ, và là vật liệu chủ chốt thúc đẩy sự phát triển của thế hệ thiết bị điện tử hiệu suất cao và công suất cao tiếp theo.

Mặc dù hiện nay, đế silicon carbide có ít ứng dụng trực tiếp trong các thiết bị điện tử tiêu dùng như kính AR, nhưng tiềm năng của chúng trong việc quản lý năng lượng hiệu quả và thiết bị điện tử thu nhỏ có thể hỗ trợ các giải pháp cung cấp điện nhẹ, hiệu suất cao cho các thiết bị AR/VR trong tương lai. Hiện nay, sự phát triển chính của đế silicon carbide tập trung vào các lĩnh vực công nghiệp như xe năng lượng mới, cơ sở hạ tầng truyền thông và tự động hóa công nghiệp, đồng thời thúc đẩy ngành công nghiệp bán dẫn phát triển theo hướng hiệu quả và đáng tin cậy hơn.

XKH cam kết cung cấp các tấm nền SIC 12" chất lượng cao với dịch vụ và hỗ trợ kỹ thuật toàn diện, bao gồm:

1. Sản xuất theo yêu cầu: Theo nhu cầu của khách hàng để cung cấp điện trở suất, định hướng tinh thể và chất nền xử lý bề mặt khác nhau.

2. Tối ưu hóa quy trình: Cung cấp cho khách hàng hỗ trợ kỹ thuật về phát triển epitaxial, sản xuất thiết bị và các quy trình khác để cải thiện hiệu suất sản phẩm.

3. Kiểm tra và chứng nhận: Cung cấp dịch vụ phát hiện lỗi nghiêm ngặt và chứng nhận chất lượng để đảm bảo chất nền đáp ứng các tiêu chuẩn của ngành.

4. Hợp tác R&D: Cùng khách hàng phát triển các thiết bị silicon carbide mới để thúc đẩy đổi mới công nghệ.

Biểu đồ dữ liệu

Thông số kỹ thuật của chất nền Silicon Carbide (SiC) 1 2 inch
Cấp		Sản xuất ZeroMPD Cấp độ (Cấp độ Z)	Sản xuất tiêu chuẩn Hạng (Hạng P)		Điểm giả (Hạng D)
Đường kính		3 0 0 mm~305mm
Độ dày	4H-N	750μm±15 μm	750μm±25 μm
	4H-SI	750μm±15 μm	750μm±25 μm
Định hướng wafer		Ngoài trục: 4,0° về phía <1120 >±0,5° đối với 4H-N, Trên trục: <0001>±0,5° đối với 4H-SI
Mật độ ống vi mô	4H-N	≤0,4cm-2	≤4cm-2		≤25cm-2
	4H-SI	≤5cm-2	≤10cm-2		≤25cm-2
Điện trở suất	4H-N	0,015~0,024 Ω·cm			0,015~0,028 Ω·cm
	4H-SI	≥1E10 Ω·cm			≥1E5 Ω·cm
Hướng phẳng chính		{10-10} ±5,0°
Chiều dài phẳng chính	4H-N	Không có
	4H-SI	khía
Loại trừ cạnh		3 mm
LTV/TTV/Cung/Cánh buồm		5μm/<15μm/<35μm/<55μm			□ μm/≤55 □ μm
Độ nhám		Ra Ba Lan≤1 nm
		CMP Ra≤0,2 nm			Ra≤0,5 nm
Nứt cạnh do ánh sáng cường độ cao Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao Các khu vực đa hình bằng ánh sáng cường độ cao Các tạp chất Carbon trực quan Bề mặt silicon bị trầy xước do ánh sáng cường độ cao		Không có Diện tích tích lũy ≤0,05% Không có Diện tích tích lũy ≤0,05% Không có			Chiều dài tích lũy ≤ 20 mm, chiều dài đơn ≤ 2 mm Diện tích tích lũy ≤0,1% Diện tích tích lũy≤3% Diện tích tích lũy ≤3% Chiều dài tích lũy ≤1×đường kính wafer
Chip cạnh bằng ánh sáng cường độ cao		Không được phép có chiều rộng và chiều sâu ≥0,2mm			7 cho phép, mỗi ≤1 mm
(TSD) Trục vít ren bị lệch		≤500 cm-2		Không có
(BPD) Sự lệch vị trí của mặt phẳng cơ sở		≤1000 cm-2		Không có
Ô nhiễm bề mặt silicon do ánh sáng cường độ cao		Không có
Bao bì		Hộp chứa nhiều wafer hoặc wafer đơn
Ghi chú:
1 Giới hạn khuyết tật được áp dụng cho toàn bộ bề mặt wafer ngoại trừ vùng loại trừ cạnh. 2Chỉ nên kiểm tra các vết xước trên mặt Si. 3 Dữ liệu về sự sai lệch chỉ có từ các tấm wafer được khắc KOH.

XKH sẽ tiếp tục đầu tư vào nghiên cứu và phát triển để thúc đẩy sự đột phá của các tấm nền silicon carbide 12 inch với kích thước lớn, ít khuyết tật và độ đồng nhất cao, đồng thời XKH sẽ khám phá các ứng dụng của mình trong các lĩnh vực mới nổi như điện tử tiêu dùng (như mô-đun nguồn cho thiết bị AR/VR) và điện toán lượng tử. Bằng cách giảm chi phí và tăng công suất, XKH sẽ mang lại sự thịnh vượng cho ngành công nghiệp bán dẫn.