Nghiên cứu sản xuất wafer SiC 4H-N/6H-N Chất nền silicon carbide giả Dia150mm
Thông số kỹ thuật của chất nền silicon carbide (SiC) đường kính 6 inch
Cấp | Không MPD | Sản xuất | Cấp độ nghiên cứu | Điểm giả |
Đường kính | 150,0mm±0,25mm | |||
Độ dày | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Định hướng wafer | Trên trục: <0001>±0,5° đối với 4H-SI | |||
Căn hộ chính | {10-10}±5,0° | |||
Chiều dài phẳng chính | 47,5mm±2,5mm | |||
Loại trừ cạnh | 3mm | |||
TTV/Cung/Cánh cong | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mật độ ống vi mô | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Điện trở suất 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Độ nhám | Ra Ba Lan ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Nứt do ánh sáng cường độ cao | Không có | 1 cho phép, ≤2mm | Chiều dài tích lũy ≤10mm, chiều dài đơn ≤2mm | |
*Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao | Diện tích tích lũy ≤1% | Diện tích tích lũy ≤ 2% | Diện tích tích lũy ≤ 5% | |
*Các khu vực đa hình do ánh sáng cường độ cao | Không có | Diện tích tích lũy ≤ 2% | Diện tích tích lũy ≤ 5% | |
*&Trầy xước do ánh sáng cường độ cao | 3 vết xước trên 1 x chiều dài tích lũy đường kính wafer | 5 vết xước trên 1 x chiều dài tích lũy đường kính wafer | 5 vết xước trên 1 x chiều dài tích lũy đường kính wafer | |
Chip cạnh | Không có | 3 cho phép, ≤0,5mm mỗi | 5 cho phép, mỗi cái ≤1mm | |
Ô nhiễm bởi ánh sáng cường độ cao | Không có
|
Bán hàng & Dịch vụ khách hàng
Mua sắm vật liệu
Bộ phận thu mua vật tư chịu trách nhiệm thu thập tất cả nguyên liệu thô cần thiết để sản xuất sản phẩm. Khả năng truy xuất nguồn gốc toàn diện của tất cả sản phẩm và vật liệu, bao gồm cả phân tích hóa học và vật lý, luôn sẵn sàng.
Chất lượng
Trong và sau quá trình sản xuất hoặc gia công sản phẩm, bộ phận kiểm soát chất lượng sẽ tham gia đảm bảo rằng tất cả vật liệu và dung sai đều đáp ứng hoặc vượt quá thông số kỹ thuật của bạn.
Dịch vụ
Chúng tôi tự hào sở hữu đội ngũ kỹ sư bán hàng với hơn 5 năm kinh nghiệm trong ngành công nghiệp bán dẫn. Họ được đào tạo bài bản để giải đáp các thắc mắc kỹ thuật cũng như cung cấp báo giá kịp thời cho nhu cầu của bạn.
Chúng tôi luôn bên cạnh bạn bất cứ lúc nào bạn gặp vấn đề và giải quyết trong vòng 10 giờ.
Sơ đồ chi tiết

