Tấm wafer SiC 4H-N/6H-N, sản xuất nghiên cứu, mẫu thử nghiệm, đường kính 150mm, chất nền silicon carbide.
Thông số kỹ thuật đế silicon carbide (SiC) đường kính 6 inch
| Cấp | Không MPD | Sản xuất | Cấp độ nghiên cứu | Điểm giả |
| Đường kính | 150,0mm±0,25mm | |||
| Độ dày | 4H-N | 350um±25um | ||
| 4H-SI | 500um±25um | |||
| Định hướng tấm bán dẫn | Trên trục :<0001>±0,5° đối với 4H-SI | |||
| Căn hộ chính | {10-10}±5,0° | |||
| Chiều dài phẳng chính | 47,5mm±2,5mm | |||
| Loại trừ cạnh | 3mm | |||
| TTV/Cung/Biến dạng | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
| Mật độ vi ống | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
| Điện trở suất 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Độ nhám | Đánh bóng Ra ≤1nm, CMP Ra ≤0,5nm | |||
| #Nứt do ánh sáng cường độ cao | Không có | 1 được phép, ≤2mm | Tổng chiều dài ≤10mm, chiều dài từng đoạn ≤2mm | |
| *Các tấm lục giác dưới ánh sáng cường độ cao | Diện tích tích lũy ≤1% | Diện tích tích lũy ≤ 2% | Tổng diện tích tích lũy ≤ 5% | |
| *Các vùng đa dạng về hình thái do ánh sáng cường độ cao chiếu vào | Không có | Diện tích tích lũy ≤ 2% | Tổng diện tích tích lũy ≤ 5% | |
| *&Vết xước do ánh sáng cường độ cao | 3 vết xước tương ứng với chiều dài tích lũy của đường kính tấm wafer | 5 vết xước tương ứng với chiều dài tích lũy của đường kính tấm wafer | 5 vết xước tương ứng với 1 đường kính tấm wafer, tổng chiều dài tích lũy. | |
| Chip cạnh | Không có | Cho phép 3 cái, mỗi cái ≤0,5mm. | Cho phép 5 cái, mỗi cái ≤1mm. | |
| Sự nhiễm bẩn do ánh sáng cường độ cao | Không có
| |||
Bộ phận Bán hàng & Dịch vụ Khách hàng
Mua sắm vật liệu
Bộ phận thu mua nguyên vật liệu chịu trách nhiệm thu thập tất cả các nguyên liệu thô cần thiết để sản xuất sản phẩm của bạn. Thông tin truy xuất nguồn gốc đầy đủ của tất cả các sản phẩm và nguyên vật liệu, bao gồm cả phân tích hóa học và vật lý, luôn được đảm bảo.
Chất lượng
Trong suốt và sau quá trình sản xuất hoặc gia công sản phẩm của bạn, bộ phận kiểm soát chất lượng sẽ tham gia để đảm bảo tất cả vật liệu và dung sai đáp ứng hoặc vượt quá thông số kỹ thuật của bạn.
Dịch vụ
Chúng tôi tự hào sở hữu đội ngũ kỹ sư bán hàng với hơn 5 năm kinh nghiệm trong ngành công nghiệp bán dẫn. Họ được đào tạo để giải đáp các câu hỏi kỹ thuật cũng như cung cấp báo giá kịp thời cho nhu cầu của bạn.
Chúng tôi luôn sẵn sàng hỗ trợ bạn bất cứ khi nào bạn gặp vấn đề và sẽ giải quyết trong vòng 10 giờ.



