Nghiên cứu sản xuất tấm wafer SiC 4H-N/6H-N cấp giả Dia150mm Chất nền silicon carbide
Thông số kỹ thuật của chất nền silicon carbide (SiC) đường kính 6 inch
Cấp | Không có MPD | Sản xuất | Lớp nghiên cứu | Điểm giả |
Đường kính | 150.0mm±0.25mm | |||
Độ dày | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Định hướng wafer | Trên trục: <0001>±0,5° cho 4H-SI | |||
Căn hộ chính | {10-10}±5,0° | |||
Chiều dài phẳng chính | 47,5mm±2,5mm | |||
Loại trừ cạnh | 3mm | |||
TTV/Cung/Cánh | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mật độ ống vi mô | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Điện trở suất 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Độ nhám | Ba Lan Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Nứt do ánh sáng cường độ cao | Không có | 1 cho phép, ≤2mm | Chiều dài tích lũy ≤10mm, chiều dài đơn ≤2mm | |
*Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao | Diện tích tích lũy ≤1% | Diện tích tích lũy ≤ 2% | Diện tích tích lũy ≤ 5% | |
*Khu vực đa hình do ánh sáng cường độ cao | Không có | Diện tích tích lũy ≤ 2% | Diện tích tích lũy ≤ 5% | |
*&Trầy xước do ánh sáng cường độ cao | 3 vết xước trên 1 x đường kính wafer chiều dài tích lũy | 5 vết xước trên 1 x đường kính wafer chiều dài tích lũy | 5 vết xước trên 1 x chiều dài tích lũy đường kính wafer | |
Chip cạnh | Không có | 3 cho phép, ≤0.5mm mỗi | 5 cho phép, mỗi ≤1mm | |
Ô nhiễm bởi ánh sáng cường độ cao | Không có
|
Bán hàng & Dịch vụ khách hàng
Mua sắm vật liệu
Bộ phận mua vật liệu có trách nhiệm thu thập tất cả các nguyên liệu thô cần thiết để sản xuất sản phẩm của bạn. Luôn có thể truy xuất nguồn gốc hoàn chỉnh của tất cả các sản phẩm và vật liệu, bao gồm cả phân tích hóa học và vật lý.
Chất lượng
Trong và sau quá trình sản xuất hoặc gia công sản phẩm, bộ phận kiểm soát chất lượng sẽ tham gia đảm bảo rằng tất cả vật liệu và dung sai đều đáp ứng hoặc vượt quá thông số kỹ thuật của bạn.
Dịch vụ
Chúng tôi tự hào có đội ngũ kỹ sư bán hàng với hơn 5 năm kinh nghiệm trong ngành bán dẫn. Họ được đào tạo để trả lời các câu hỏi kỹ thuật cũng như cung cấp báo giá kịp thời cho nhu cầu của bạn.
Chúng tôi luôn bên cạnh bạn bất cứ lúc nào bạn gặp vấn đề và giải quyết trong vòng 10 giờ.
Sơ đồ chi tiết

