Sản xuất nghiên cứu wafer 4H-N / 6H-N SiC Lớp giả Dia150mm Chất nền cacbua silic
Thông số kỹ thuật bề mặt cacbua silic (SiC) đường kính 6 inch
Cấp | Không có MPD | Sản xuất | Lớp nghiên cứu | Lớp giả |
Đường kính | 150,0mm±0,25mm | |||
độ dày | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Định hướng wafer | Trên trục:<0001>±0,5°cho 4H-SI | |||
Căn hộ chính | {10-10}±5,0° | |||
Chiều dài phẳng chính | 47,5mm±2,5mm | |||
Loại trừ cạnh | 3mm | |||
TTV/Cung/Warp | ≤15um/<40um/<60um | |||
Mật độ micropipe | 1cm-2 | 5cm-2 | 15cm-2 | 50cm-2 |
Điện trở suất 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Độ nhám | Ba Lan Ra 1nm CMP Ra 0,5nm | |||
#Nứt do ánh sáng cường độ cao | Không có | 1 cho phép, 2mm | Chiều dài tích lũy 10mm, chiều dài đơn 2mm | |
* Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao | Diện tích tích lũy 1% | Diện tích tích lũy 2% | Diện tích tích lũy 5% | |
*Vùng polytype bằng ánh sáng cường độ cao | Không có | Diện tích tích lũy 2% | Diện tích tích lũy 5% | |
*&Trầy xước do ánh sáng cường độ cao | 3 vết xước đến 1 x chiều dài tích lũy đường kính wafer | 5 vết xước đến 1 x chiều dài tích lũy đường kính wafer | 5 vết xước đến 1 x chiều dài tích lũy đường kính wafer | |
Chip cạnh | Không có | 3 cho phép, mỗi cái .50,5mm | Cho phép 5, mỗi cái 1mm | |
Ô nhiễm bởi ánh sáng cường độ cao | Không có
|
Bán hàng & Dịch vụ khách hàng
Mua vật liệu
Bộ phận thu mua nguyên liệu có trách nhiệm thu thập tất cả các nguyên liệu thô cần thiết để sản xuất sản phẩm của bạn. Luôn có sẵn khả năng truy xuất nguồn gốc đầy đủ của tất cả các sản phẩm và vật liệu, bao gồm cả phân tích hóa học và vật lý.
Chất lượng
Trong và sau khi sản xuất hoặc gia công sản phẩm của bạn, bộ phận kiểm soát chất lượng sẽ tham gia vào việc đảm bảo rằng tất cả vật liệu và dung sai đều đáp ứng hoặc vượt quá thông số kỹ thuật của bạn.
Dịch vụ
Chúng tôi tự hào có đội ngũ kỹ sư bán hàng có hơn 5 năm kinh nghiệm trong ngành bán dẫn. Họ được đào tạo để trả lời các câu hỏi kỹ thuật cũng như cung cấp báo giá kịp thời cho nhu cầu của bạn.
chúng tôi luôn ở bên cạnh bạn bất cứ lúc nào khi bạn gặp vấn đề và giải quyết vấn đề đó sau 10 giờ.