Tấm wafer SiC 4H/6H-P 6 inch Lớp không MPD Lớp sản xuất Lớp giả

Tấm wafer SiC 4H/6H-P 6 inch Không cấp MPD Cấp sản xuất Cấp giả Hình ảnh nổi bật

Mô tả ngắn gọn:

Tấm wafer SiC 6 inch loại 4H/6H-P là vật liệu bán dẫn được sử dụng trong sản xuất thiết bị điện tử, được biết đến với tính dẫn nhiệt tuyệt vời, điện áp đánh thủng cao cũng như khả năng chịu nhiệt độ cao và ăn mòn. Cấp sản xuất và cấp Zero MPD (Khiếm khuyết ống vi mô) đảm bảo độ tin cậy và ổn định của nó trong các thiết bị điện tử công suất hiệu suất cao. Các tấm bán dẫn cấp sản xuất được sử dụng để sản xuất thiết bị quy mô lớn với sự kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt, trong khi các tấm bán dẫn cấp giả chủ yếu được sử dụng để gỡ lỗi quy trình và kiểm tra thiết bị. Các đặc tính vượt trội của SiC khiến nó được ứng dụng rộng rãi trong các thiết bị điện tử có nhiệt độ cao, điện áp cao và tần số cao như thiết bị nguồn và thiết bị RF.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Chất nền tổng hợp SiC loại 4H/6H-P Bảng tham số chung

6 Đường kính inch Chất nền Silicon Carbide (SiC) Đặc điểm kỹ thuật

Cấp			Sản xuất MPD bằng khôngLớp (Z Cấp)	Sản xuất tiêu chuẩnLớp (P Cấp)	Lớp giả (D Cấp)
Đường kính			145,5 mm ~ 150,0 mm
độ dày			350 mm ± 25 mm
Định hướng wafer			-Offtrục: 2,0°-4,0° hướng tới [1120] ± 0,5° đối với 4H/6H-P, Trên trục:〈111〉± 0,5° đối với 3C-N
Mật độ micropipe			0 cm-2
Điện trở suất	loại p 4H/6H-P		.10.1 Ωꞏcm		.3 Ωꞏcm
	loại n 3C-N		.80,8 mΩꞏcm		1 m Ωꞏcm
Định hướng phẳng chính		4H/6H-P	-{1010} ± 5,0°
		3C-N	-{110} ± 5,0°
Chiều dài phẳng chính			32,5 mm ± 2,0 mm
Chiều dài phẳng thứ cấp			18,0 mm ± 2,0 mm
Định hướng phẳng thứ cấp			Mặt silicon hướng lên: 90° CW. từ mặt phẳng Prime ± 5,0°
Loại trừ cạnh			3mm		6mm
LTV/TTV/Cung/Warp			2,5 μm/<5 μm/<15 μm/<30 μm		≤10 μm/<15 μm/<25 μm/<40 μm
Độ nhám			Ba Lan Ra<1 nm
			CMP Ra<0,2nm		Ra 0,5nm
Vết nứt cạnh bởi ánh sáng cường độ cao			Không có		Chiều dài tích lũy 10 mm, chiều dài đơn 2 mm
Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao			Diện tích tích lũy 0,05%		Diện tích tích lũy 0,1%
Vùng đa dạng bằng ánh sáng cường độ cao			Không có		Diện tích tích lũy<3%
Bao gồm carbon trực quan			Diện tích tích lũy 0,05%		Diện tích tích lũy 3%
Bề mặt silicon bị trầy xước bởi ánh sáng cường độ cao			Không có		Chiều dài tích lũy<1×đường kính wafer
Chip cạnh cao theo cường độ ánh sáng			Không được phép có chiều rộng và chiều sâu ≥0,2mm		Cho phép 5, mỗi cái 1 mm
Ô nhiễm bề mặt silicon ở cường độ cao			Không có
Bao bì			Hộp đựng nhiều miếng wafer hoặc hộp đựng wafer đơn

Ghi chú:

※ Giới hạn khuyết tật áp dụng cho toàn bộ bề mặt wafer ngoại trừ khu vực loại trừ cạnh. # Cần kiểm tra lại các vết xước trên mặt Si o

Tấm wafer SiC 6 inch loại 4H/6H-P có cấp độ Zero MPD và cấp độ sản xuất hoặc cấp độ giả được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng điện tử tiên tiến. Độ dẫn nhiệt tuyệt vời, điện áp đánh thủng cao và khả năng chống chịu với môi trường khắc nghiệt khiến nó trở nên lý tưởng cho các thiết bị điện tử công suất, chẳng hạn như công tắc và bộ biến tần điện áp cao. Cấp độ Zero MPD đảm bảo giảm thiểu các khiếm khuyết, rất quan trọng đối với các thiết bị có độ tin cậy cao. Tấm wafer cấp sản xuất được sử dụng trong sản xuất quy mô lớn các thiết bị điện và ứng dụng RF, trong đó hiệu suất và độ chính xác là rất quan trọng. Mặt khác, các tấm bán dẫn cấp giả được sử dụng để hiệu chuẩn quy trình, thử nghiệm thiết bị và tạo mẫu, cho phép kiểm soát chất lượng nhất quán trong môi trường sản xuất chất bán dẫn.

Ưu điểm của chất nền composite SiC loại N bao gồm

Độ dẫn nhiệt cao: Tấm wafer SiC 4H/6H-P tản nhiệt hiệu quả, khiến nó phù hợp với các ứng dụng điện tử công suất cao và nhiệt độ cao.
Điện áp đánh thủng cao: Khả năng xử lý điện áp cao mà không bị hỏng khiến nó trở nên lý tưởng cho các ứng dụng điện tử công suất và chuyển mạch điện áp cao.
Cấp độ Zero MPD (Khiếm khuyết ống vi mô): Mật độ lỗi tối thiểu đảm bảo độ tin cậy và hiệu suất cao hơn, rất quan trọng đối với các thiết bị điện tử có yêu cầu cao.
Cấp sản xuất cho sản xuất hàng loạt: Thích hợp để sản xuất quy mô lớn các thiết bị bán dẫn hiệu suất cao với tiêu chuẩn chất lượng nghiêm ngặt.
Cấp giả để kiểm tra và hiệu chuẩn: Cho phép tối ưu hóa quy trình, thử nghiệm thiết bị và tạo nguyên mẫu mà không cần sử dụng các tấm bán dẫn cấp sản xuất có chi phí cao.

Nhìn chung, tấm wafer SiC 6 inch 4H/6H-P với cấp độ Zero MPD, cấp sản xuất và cấp độ giả mang lại những lợi thế đáng kể cho việc phát triển các thiết bị điện tử hiệu suất cao. Những tấm wafer này đặc biệt có lợi trong các ứng dụng yêu cầu hoạt động ở nhiệt độ cao, mật độ năng lượng cao và chuyển đổi năng lượng hiệu quả. Cấp độ Zero MPD đảm bảo các sai sót tối thiểu để mang lại hiệu suất thiết bị ổn định và đáng tin cậy, trong khi các tấm bán dẫn cấp sản xuất hỗ trợ sản xuất quy mô lớn với các biện pháp kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt. Các tấm bán dẫn cấp giả cung cấp giải pháp tiết kiệm chi phí để tối ưu hóa quy trình và hiệu chuẩn thiết bị, khiến chúng không thể thiếu trong chế tạo chất bán dẫn có độ chính xác cao.