Tấm wafer LNOI màng tinh thể đơn Lithium niobate 4 inch 6 inch
Quá trình chuẩn bị vật liệu LNOI chủ yếu được chia thành bốn bước sau
(1) Các ion He được tiêm vào vật liệu liti niobat cắt X ở một năng lượng nhất định và được đưa vào lớp khuyết tật ở một độ sâu nhất định bên dưới lớp bề mặt của liti niobat;
(2) Vật liệu lithium niobat cấy ion được liên kết với chất nền silicon bằng lớp oxit để tạo thành cấu trúc liên kết;
(3) Cấu trúc liên kết được ủ để làm cho các khuyết tật do cấy ion He phát triển và kết tụ lại thành các vết nứt. Cuối cùng, liti niobat được tách dọc theo lớp khuyết tật để tạo thành các lát liti niobat còn lại và các tấm wafer LNOI.
Ứng dụng và ưu điểm của wafer LNOI
1--Màng áp điện lithium niobate (LNOI) có hệ số áp điện và hằng số điện môi cao, có thể chuyển đổi năng lượng cơ học thành năng lượng điện hoặc năng lượng điện thành năng lượng cơ học. Do đó, nó được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực cảm biến, chẳng hạn như cảm biến áp suất, cảm biến gia tốc, cảm biến nhiệt độ, v.v. Ngoài ra, màng áp điện lithium niobate cũng có thể được sử dụng trong các thiết bị âm thanh và thiết bị rung, chẳng hạn như bộ lọc gốm áp điện phức hợp bộ chuyển đổi gốm áp điện.
2- Độ ổn định của màng áp điện lithium niobate cũng là một trong những ưu điểm của nó. Do độ ổn định của cấu trúc tinh thể và tính trơ về mặt hóa học, màng áp điện lithium niobate có thể hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao, độ ẩm cao, axit mạnh, kiềm mạnh và các môi trường khắc nghiệt khác, có khả năng chống ăn mòn và độ bền tốt.
3-Màng áp điện lithium niobate là vật liệu áp điện mới có hiệu suất và độ ổn định tuyệt vời, có triển vọng ứng dụng rộng rãi. Với sự phát triển không ngừng của khoa học và công nghệ, màng áp điện lithium niobate sẽ được ứng dụng ở nhiều thành phố hơn, mang lại nhiều tiện lợi và đổi mới hơn cho cuộc sống của mọi người
Sơ đồ chi tiết
