Tấm wafer LNOI màng đơn tinh thể Lithium niobate 4 inch 6 inch
Quá trình chuẩn bị nguyên liệu LNOI chủ yếu được chia thành bốn bước sau
(1) Các ion He được bơm vào vật liệu lithium niobate cắt X ở một năng lượng nhất định và được đưa vào lớp khuyết tật ở độ sâu nhất định bên dưới lớp bề mặt của lithium niobate;
(2) Vật liệu lithium niobate được cấy ion được liên kết với chất nền silicon có lớp oxit để tạo thành cấu trúc liên kết;
(3) Cấu trúc liên kết được ủ để làm cho các khuyết tật do cấy ion He phát triển và tổng hợp lại tạo thành các vết nứt. Cuối cùng, lithium niobate được tách dọc theo lớp khuyết tật để tạo thành các lát lithium niobate còn sót lại và tấm wafer LNOI.
Ứng dụng và ưu điểm của wafer LNOI
1--Màng áp điện lithium niobate (LNOI) có hệ số áp điện và hằng số điện môi cao, có thể chuyển đổi năng lượng cơ học thành năng lượng điện hoặc năng lượng điện thành năng lượng cơ học. Do đó, nó được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực cảm biến, chẳng hạn như cảm biến áp suất, cảm biến gia tốc, cảm biến nhiệt độ, v.v. Ngoài ra, màng áp điện lithium niobate cũng có thể được sử dụng trong các thiết bị âm thanh và thiết bị rung, chẳng hạn như bộ lọc gốm áp điện phức tạp đầu dò gốm áp điện.
2-Tính ổn định của màng áp điện lithium niobate cũng là một trong những ưu điểm của nó. Do cấu trúc tinh thể ổn định và tính trơ hóa học, màng áp điện lithium niobate có thể hoạt động ở nhiệt độ cao, độ ẩm cao, axit mạnh, kiềm mạnh và môi trường khắc nghiệt khác, có khả năng chống ăn mòn và độ bền tốt.
Màng áp điện 3-Lithium niobate là vật liệu áp điện mới với hiệu suất và độ ổn định tuyệt vời, đồng thời có triển vọng ứng dụng rộng rãi. Với sự phát triển không ngừng của khoa học công nghệ, màng áp điện lithium niobate sẽ được ứng dụng ở nhiều thành phố hơn, mang lại nhiều tiện ích và đổi mới hơn cho cuộc sống của người dân
Sơ đồ chi tiết
