Tấm wafer SiC Epi 4 inch cho MOS hoặc SBD

Mô tả ngắn gọn:

SiCC có dây chuyền sản xuất chất nền wafer SiC (Silicon Carbide) hoàn chỉnh, tích hợp quá trình phát triển tinh thể, xử lý wafer, chế tạo wafer, đánh bóng, làm sạch và thử nghiệm. Hiện tại, chúng tôi có thể cung cấp các tấm wafer SiC 4H và 6H bán cách điện và bán dẫn hướng trục hoặc ngoài trục với kích thước 5x5mm2, 10x10mm2, 2”, 3”, 4” và 6”, vượt qua khả năng triệt tiêu khuyết tật, xử lý hạt tinh thể và tăng trưởng nhanh, v.v. Nó đã vượt qua các công nghệ chính như ngăn chặn khuyết tật, xử lý hạt tinh thể và tăng trưởng nhanh, đồng thời thúc đẩy nghiên cứu cơ bản và phát triển epitaxy cacbua silic, thiết bị và các loại khác nghiên cứu cơ bản có liên quan.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Epitaxy đề cập đến sự phát triển của một lớp vật liệu đơn tinh thể chất lượng cao hơn trên bề mặt chất nền cacbua silic. Trong số đó, sự phát triển của lớp epiticular gallium nitride trên chất nền cacbua silic bán cách điện được gọi là epit Wax không đồng nhất; sự phát triển của lớp epitaxy cacbua silic trên bề mặt chất nền cacbua silic dẫn điện được gọi là epit Wax đồng nhất.

Epitaxy phù hợp với yêu cầu thiết kế thiết bị về sự phát triển của lớp chức năng chính, quyết định phần lớn hiệu suất của chip và thiết bị, chi phí là 23%. Các phương pháp chính của epit Wax màng mỏng SiC ở giai đoạn này bao gồm: lắng đọng hơi hóa học (CVD), epit Wax chùm phân tử (MBE), epit Wax pha lỏng (LPE), lắng đọng và thăng hoa xung laser (PLD).

Epitaxy là một mắt xích rất quan trọng trong toàn ngành. Bằng cách phát triển các lớp epiticular GaN trên nền cacbua silic bán cách điện, các tấm wafer epiticular GaN dựa trên cacbua silic được tạo ra, có thể được chế tạo thêm thành các thiết bị GaN RF như bóng bán dẫn có độ linh động điện tử cao (HEMT);

Bằng cách phát triển lớp epiticular silicon cacbua trên chất nền dẫn điện để thu được tấm wafer epiticular silicon cacbua, và trong lớp epiticular để sản xuất điốt Schottky, bóng bán dẫn hiệu ứng nửa trường oxy-vàng, bóng bán dẫn lưỡng cực cổng cách điện và các thiết bị điện khác, do đó chất lượng của epiticular đến hiệu suất của thiết bị có tác động rất lớn đến sự phát triển của ngành cũng đóng một vai trò rất quan trọng.