Tấm wafer 8 inch SiC cấp sản xuất Chất nền SiC 4H-N
Bảng sau đây hiển thị thông số kỹ thuật của tấm wafer SiC 8 inch của chúng tôi:
| Thông số kỹ thuật DSP SiC loại N 8 inch | |||||
| Con số | Mục | Đơn vị | Sản xuất | Nghiên cứu | giả |
| 1: thông số | |||||
| 1.1 | nhiều kiểu | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | định hướng bề mặt | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2:Thông số điện | |||||
| 2.1 | Tạp chất | -- | Nitơ loại n | Nitơ loại n | Nitơ loại n |
| 2.2 | điện trở suất | ồ · cm | 0,015~0,025 | 0,01 ~ 0,03 | NA |
| 3:Thông số cơ học | |||||
| 3.1 | đường kính | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | độ dày | mm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Định hướng notch | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3,4 | Độ sâu notch | mm | 1 ~ 1,5 | 1 ~ 1,5 | 1 ~ 1,5 |
| 3,5 | LTV | mm | 5(10mm*10mm) | 5(10mm*10mm) | 10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | mm | 10 | 10 | 15 |
| 3,7 | Cây cung | mm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3,8 | Làm cong | mm | 30 | 50 | ≤70 |
| 3,9 | AFM | nm | Ra 0,2 | Ra 0,2 | Ra 0,2 |
| 4: Cấu trúc | |||||
| 4.1 | mật độ micropipe | ea/cm2 | 2 | 10 | 50 |
| 4.2 | hàm lượng kim loại | nguyên tử/cm2 | 1E11 | 1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | 500 | 1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | 2000 | 5000 | NA |
| 4,5 | TED | ea/cm2 | 7000 | 10000 | NA |
| 5. Chất lượng mặt trước | |||||
| 5.1 | đằng trước | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | bề mặt hoàn thiện | -- | Si-mặt CMP | Si-mặt CMP | Si-mặt CMP |
| 5.3 | hạt | ea/bánh xốp | 100 (kích thước ≥0,3μm) | NA | NA |
| 5,4 | cào | ea/bánh xốp | 5, Tổng chiều dài 200mm | NA | NA |
| 5,5 | Bờ rìa chip/vết lõm/vết nứt/vết bẩn/ô nhiễm | -- | Không có | Không có | NA |
| 5.6 | Khu vực đa dạng | -- | Không có | Diện tích 10% | Diện tích 30% |
| 5,7 | đánh dấu phía trước | -- | Không có | Không có | Không có |
| 6: Chất lượng mặt sau | |||||
| 6.1 | kết thúc trở lại | -- | MP mặt C | MP mặt C | MP mặt C |
| 6.2 | cào | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Mặt sau có khuyết điểm chip/thụt lề | -- | Không có | Không có | NA |
| 6,4 | Độ nhám lưng | nm | Ra<5 | Ra<5 | Ra<5 |
| 6,5 | Đánh dấu lại | -- | Notch | Notch | Notch |
| 7: cạnh | |||||
| 7.1 | bờ rìa | -- | Gọt cạnh xiên | Gọt cạnh xiên | Gọt cạnh xiên |
| 8: Gói | |||||
| 8.1 | bao bì | -- | Epi-sẵn sàng với chân không bao bì | Epi-sẵn sàng với chân không bao bì | Epi-sẵn sàng với chân không bao bì |
| 8.2 | bao bì | -- | Nhiều wafer bao bì băng cassette | Nhiều wafer bao bì băng cassette | Nhiều wafer bao bì băng cassette |
Sơ đồ chi tiết
Viết tin nhắn của bạn ở đây và gửi cho chúng tôi
