Tấm wafer sản xuất SiC 8 inch Chất nền SiC 4H-N
Bảng sau đây hiển thị thông số kỹ thuật của tấm wafer SiC 8 inch của chúng tôi:
| Thông số kỹ thuật DSP SiC loại N 8 inch | |||||
| Con số | Mục | Đơn vị | Sản xuất | Nghiên cứu | Giả |
| 1: tham số | |||||
| 1.1 | nhiều bản in | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | định hướng bề mặt | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Thông số điện | |||||
| 2.1 | chất pha tạp | -- | Nitơ loại n | Nitơ loại n | Nitơ loại n |
| 2.2 | điện trở suất | ôm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Thông số cơ học | |||||
| 3.1 | đường kính | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | độ dày | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Hướng khía | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Độ sâu của rãnh | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | Giá trị vòng đời | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Cây cung | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | cong vênh | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | Máy ảnh AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Cấu trúc | |||||
| 4.1 | mật độ ống vi mô | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | hàm lượng kim loại | nguyên tử/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | Diễn đàn TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Chất lượng mặt trước | |||||
| 5.1 | đằng trước | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | bề mặt hoàn thiện | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | hạt | ea/wafer | ≤100(kích thước≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | cào | ea/wafer | ≤5, Tổng chiều dài≤200mm | NA | NA |
| 5,5 | Bờ rìa vết nứt/vết lõm/vết bẩn/ô nhiễm | -- | Không có | Không có | NA |
| 5.6 | Khu vực đa dạng | -- | Không có | Diện tích ≤10% | Diện tích ≤30% |
| 5.7 | đánh dấu phía trước | -- | Không có | Không có | Không có |
| 6: Chất lượng trở lại | |||||
| 6.1 | hoàn thiện lại | -- | MP mặt C | MP mặt C | MP mặt C |
| 6.2 | cào | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Mặt sau khuyết cạnh chip/vết lõm | -- | Không có | Không có | NA |
| 6.4 | Độ nhám của lưng | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Đánh dấu lại | -- | khía | khía | khía |
| 7: cạnh | |||||
| 7.1 | bờ rìa | -- | vát mép | vát mép | vát mép |
| 8:Gói | |||||
| 8.1 | đóng gói | -- | Epi-ready với chân không đóng gói | Epi-ready với chân không đóng gói | Epi-ready với chân không đóng gói |
| 8.2 | đóng gói | -- | Nhiều wafer bao bì băng cassette | Nhiều wafer bao bì băng cassette | Nhiều wafer bao bì băng cassette |
Sơ đồ chi tiết
Sản phẩm liên quan
Viết tin nhắn của bạn ở đây và gửi cho chúng tôi