Tấm wafer 8 inch SiC cấp sản xuất Chất nền SiC 4H-N

Mô tả ngắn gọn:

Chất nền SiC 8 inch được sử dụng trong các thiết bị điện tử công suất cao, chẳng hạn như MOSFET công suất (Transitor hiệu ứng trường bán dẫn oxit kim loại), điốt Schottky và các thiết bị bán dẫn công suất khác.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Bảng sau đây hiển thị thông số kỹ thuật của tấm wafer SiC 8 inch của chúng tôi:

Thông số kỹ thuật DSP SiC loại N 8 inch
Con số	Mục	Đơn vị	Sản xuất	Nghiên cứu	giả
1: thông số
1.1	nhiều kiểu	--	4H	4H	4H
1.2	định hướng bề mặt	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2:Thông số điện
2.1	chất pha tạp	--	Nitơ loại n	Nitơ loại n	Nitơ loại n
2.2	điện trở suất	ồ · cm	0,015~0,025	0,01 ~ 0,03	NA
3:Thông số cơ học
3.1	đường kính	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	độ dày	mm	500±25	500±25	500±25
3.3	Định hướng notch	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3,4	Độ sâu notch	mm	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5	1 ~ 1,5
3,5	LTV	mm	5(10mm*10mm)	5(10mm*10mm)	10(10mm*10mm)
3.6	TTV	mm	10	10	15
3,7	Cây cung	mm	-25~25	-45~45	-65~65
3,8	Làm cong vênh	mm	30	50	≤70
3,9	AFM	nm	Ra 0,2	Ra 0,2	Ra 0,2
4: Cấu trúc
4.1	mật độ micropipe	ea/cm2	2	10	50
4.2	hàm lượng kim loại	nguyên tử/cm2	1E11	1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	500	1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	2000	5000	NA
4,5	TED	ea/cm2	7000	10000	NA
5. Chất lượng mặt trước
5.1	đằng trước	--	Si	Si	Si
5.2	bề mặt hoàn thiện	--	Si-mặt CMP	Si-mặt CMP	Si-mặt CMP
5.3	hạt	ea/bánh xốp	100 (kích thước ≥0,3μm)	NA	NA
5,4	cào	ea/bánh xốp	5, Tổng chiều dài 200mm	NA	NA
5,5	Bờ rìa chip/vết lõm/vết nứt/vết bẩn/ô nhiễm	--	Không có	Không có	NA
5.6	Khu vực đa dạng	--	Không có	Diện tích 10%	Diện tích 30%
5,7	đánh dấu phía trước	--	Không có	Không có	Không có
6: Chất lượng mặt sau
6.1	kết thúc trở lại	--	MP mặt C	MP mặt C	MP mặt C
6.2	cào	mm	NA	NA	NA
6.3	Mặt sau có khuyết điểm chip/thụt lề	--	Không có	Không có	NA
6,4	Độ nhám lưng	nm	Ra<5	Ra<5	Ra<5
6,5	Đánh dấu lại	--	Notch	Notch	Notch
7: cạnh
7.1	bờ rìa	--	vát mép	vát mép	vát mép
8: Gói
8.1	bao bì	--	Epi-sẵn sàng với chân không bao bì	Epi-sẵn sàng với chân không bao bì	Epi-sẵn sàng với chân không bao bì
8.2	bao bì	--	Nhiều wafer bao bì băng cassette	Nhiều wafer bao bì băng cassette	Nhiều wafer bao bì băng cassette