AlN-on-NPSS Wafer: Lớp Nitride nhôm hiệu suất cao trên nền Sapphire không đánh bóng cho các ứng dụng nhiệt độ cao, công suất cao và RF
Đặc trưng
Lớp AlN hiệu suất cao: Nhôm Nitride (AlN) được biết đến vớiđộ dẫn nhiệt cao(~200 W/m·K),khoảng cách băng thông rộng, Vàđiện áp đánh thủng cao, làm cho nó trở thành vật liệu lý tưởng chocông suất cao, tần số cao, Vànhiệt độ caoứng dụng.
Nền Sapphire không đánh bóng (NPSS): Đá sapphire không được đánh bóng cung cấp mộttiết kiệm chi phí, mạnh mẽ về mặt cơ họccơ sở, đảm bảo nền tảng ổn định cho sự phát triển epitaxial mà không cần phải đánh bóng bề mặt phức tạp. Các đặc tính cơ học tuyệt vời của NPSS làm cho nó bền bỉ trong môi trường đầy thách thức.
Độ ổn định nhiệt cao: Tấm wafer AlN-on-NPSS có thể chịu được những biến động nhiệt độ khắc nghiệt, khiến nó phù hợp để sử dụng trongđiện tử công suất, hệ thống ô tô, Đèn LED, Vàứng dụng quang họcyêu cầu hiệu suất ổn định trong điều kiện nhiệt độ cao.
Cách điện: AlN có đặc tính cách điện tuyệt vời, làm cho nó trở nên hoàn hảo cho các ứng dụng màcách ly điệnlà rất quan trọng, bao gồmThiết bị RFVàthiết bị điện tử vi sóng.
Tản nhiệt vượt trội:Với độ dẫn nhiệt cao, lớp AlN đảm bảo tản nhiệt hiệu quả, yếu tố cần thiết để duy trì hiệu suất và tuổi thọ của các thiết bị hoạt động ở công suất và tần số cao.
Thông số kỹ thuật
Tham số | Đặc điểm kỹ thuật |
Đường kính wafer | 2 inch, 4 inch (có sẵn kích thước tùy chỉnh) |
Loại chất nền | Nền Sapphire không đánh bóng (NPSS) |
Độ dày lớp AlN | 2µm đến 10µm (có thể tùy chỉnh) |
Độ dày của chất nền | 430µm ± 25µm (cho 2 inch), 500µm ± 25µm (cho 4 inch) |
Độ dẫn nhiệt | 200 W/m·K |
Điện trở suất | Độ cách điện cao, phù hợp với ứng dụng RF |
Độ nhám bề mặt | Ra ≤ 0,5µm (đối với lớp AlN) |
Độ tinh khiết của vật liệu | AlN có độ tinh khiết cao (99,9%) |
Màu sắc | Trắng/Trắng đục (Lớp AlN với chất nền NPSS màu sáng) |
Wafer cong vênh | < 30µm (điển hình) |
Loại Doping | Không pha tạp (có thể tùy chỉnh) |
Ứng dụng
CácAlN-trên-NPSS waferđược thiết kế cho nhiều ứng dụng hiệu suất cao khác nhau trong nhiều ngành công nghiệp:
Điện tử công suất cao: Độ dẫn nhiệt cao và tính chất cách điện của lớp AlN làm cho nó trở thành vật liệu lý tưởng chobóng bán dẫn điện, bộ chỉnh lưu, VàIC nguồnđược sử dụng trongô tô, công nghiệp, Vànăng lượng tái tạohệ thống.
Thành phần tần số vô tuyến (RF):Các tính chất cách điện tuyệt vời của AlN, cùng với tổn thất thấp, cho phép sản xuấtTransistor RF, HEMT (Transistor có độ di động điện tử cao)và các loại kháclinh kiện lò vi sónghoạt động hiệu quả ở tần số và mức công suất cao.
Thiết bị quang học: Các tấm wafer AlN-on-NPSS được sử dụng trongdiode laser, Đèn LED, Vàmáy dò ảnh, nơi màđộ dẫn nhiệt caoVàđộ bền cơ họcrất cần thiết để duy trì hiệu suất trong suốt thời gian sử dụng.
Cảm biến nhiệt độ cao: Khả năng chịu được nhiệt độ cực cao của wafer làm cho nó phù hợp vớicảm biến nhiệt độVàgiám sát môi trườngtrong các ngành công nghiệp nhưhàng không vũ trụ, ô tô, Vàdầu khí.
Bao bì bán dẫn: Được sử dụng trong bộ tản nhiệtVàlớp quản lý nhiệttrong các hệ thống đóng gói, đảm bảo độ tin cậy và hiệu quả của chất bán dẫn.
Hỏi & Đáp
H: Ưu điểm chính của tấm wafer AlN-on-NPSS so với vật liệu truyền thống như silicon là gì?
A: Ưu điểm chính là AlNđộ dẫn nhiệt cao, cho phép nó tản nhiệt hiệu quả, làm cho nó trở nên lý tưởng chocông suất caoVàứng dụng tần số caonơi quản lý nhiệt là rất quan trọng. Ngoài ra, AlN cókhoảng cách băng thông rộngvà tuyệt vờicách điện, làm cho nó vượt trội hơn khi sử dụng trongRFVàthiết bị vi sóngso với silicon truyền thống.
Hỏi: Lớp AlN trên tấm wafer NPSS có thể tùy chỉnh được không?
A: Có, lớp AlN có thể được tùy chỉnh về độ dày (dao động từ 2µm đến 10µm hoặc hơn) để đáp ứng nhu cầu cụ thể của ứng dụng của bạn. Chúng tôi cũng cung cấp tùy chỉnh về loại pha tạp (loại N hoặc loại P) và các lớp bổ sung cho các chức năng chuyên biệt.
H: Ứng dụng điển hình của loại wafer này trong ngành công nghiệp ô tô là gì?
A: Trong ngành công nghiệp ô tô, các tấm wafer AlN-on-NPSS thường được sử dụng trongđiện tử công suất, Hệ thống chiếu sáng LED, Vàcảm biến nhiệt độ. Chúng cung cấp khả năng quản lý nhiệt và cách điện vượt trội, điều này rất cần thiết cho các hệ thống hiệu suất cao hoạt động trong điều kiện nhiệt độ khác nhau.
Sơ đồ chi tiết



