Đầu kẹp/cánh tay càng bằng gốm alumina dùng để xử lý tấm wafer và chất nền.

Mô tả ngắn gọn:

Bộ phận kẹp bằng gốm alumina, thường được gọi là càng kẹp gốm hoặc kẹp gốm, là một công cụ quan trọng được sử dụng trong tự động hóa robot và dây chuyền sản xuất phòng sạch. Bộ phận này được lắp đặt trên cánh tay robot như giao diện cuối cùng với sản phẩm, chịu trách nhiệm gắp, giữ, căn chỉnh và di chuyển các bộ phận có độ nhạy cao như tấm silicon, tấm kính hoặc các linh kiện vi điện tử.

Gửi email cho chúng tôi

Đặc trưng

Sơ đồ chi tiết

cánh tay gốm cho bộ truyền động wafer bán dẫn-02 - Phụ lục

Tổng quan về bộ phận đầu cuối bằng gốm alumina

Bộ phận kẹp bằng gốm alumina, thường được gọi là càng kẹp gốm hoặc kẹp gốm, là một công cụ quan trọng được sử dụng trong tự động hóa robot và dây chuyền sản xuất phòng sạch. Bộ phận kẹp bằng gốm alumina được lắp đặt trên cánh tay robot như giao diện cuối cùng với sản phẩm, chịu trách nhiệm gắp, giữ, căn chỉnh và di chuyển các bộ phận có độ nhạy cao như tấm silicon, tấm kính hoặc các linh kiện vi điện tử.

Được chế tạo từ gốm alumina siêu tinh khiết (Al2O3), càng nâng này cung cấp giải pháp cực kỳ sạch sẽ và ổn định cho các môi trường không chấp nhận ô nhiễm kim loại, biến dạng dẻo hoặc phát sinh hạt.

Tính chất vật liệu – Tại sao lại chọn Alumina

Về đầu kẹp gốm alumina, alumina (Al2O3) là một trong những vật liệu được sử dụng rộng rãi và đáng tin cậy nhất.gốm kỹ thuật tiên tiếnLoại thép chúng tôi sử dụng (độ tinh khiết ≥99,5%) sở hữu sự kết hợp độc đáo giữa các đặc tính vật lý và hóa học, khiến nó trở thành vật liệu được lựa chọn cho các ứng dụng bán dẫn và chân không:

Độ cứng cực cao– Với độ cứng Mohs là 9, sản phẩm này có độ bền lâu dài và khả năng chống trầy xước.
Khả năng chịu nhiệt– Duy trì độ bền cấu trúc ở nhiệt độ trên 1600°C, vượt trội so với các vật liệu kim loại và polymer tương đương.
Cách điện– Loại bỏ hiện tượng tích tụ tĩnh điện và cung cấp khả năng cách điện hoàn toàn.
Miễn dịch hóa học– Không bị ảnh hưởng bởi axit, kiềm, khí plasma và các dung dịch tẩy rửa mạnh.
Nguy cơ ô nhiễm cực thấp– Bề mặt không phát khí, ma sát thấp, giúp giảm thiểu sự phát tán hạt trong phòng sạch.

Những đặc tính này cho phép các đầu kẹp bằng gốm alumina hoạt động hoàn hảo trong môi trường khắc nghiệt, đòi hỏi độ chính xác cao.

Các ứng dụng cốt lõi của bộ phận đầu cuối bằng gốm alumina

Tính linh hoạt của các càng nâng bằng gốm alumina khiến chúng trở nên thiết yếu trong nhiều ngành công nghệ cao:

Hệ thống vận chuyển tấm bán dẫn– Di chuyển các tấm silicon một cách an toàn từ quy trình này sang quy trình khác mà không gây ra các vết xước nhỏ.
Sản xuất màn hình phẳng– Xử lý các chất nền thủy tinh dễ vỡ trong quá trình chế tạo OLED, LCD hoặc microLED.
Sản xuất quang điện (PV)– Hỗ trợ việc nạp và dỡ tấm wafer năng lượng mặt trời theo chu trình robot tốc độ cao.
Lắp ráp linh kiện quang học và điện tử– Cầm nắm các bộ phận mỏng manh như cảm biến, điện trở và chip siêu nhỏ.
Tự động hóa hút chân không và phòng sạch– Thực hiện các công việc đòi hỏi độ chính xác cao trong điều kiện siêu sạch, kiểm soát chặt chẽ bụi mịn.

Trong mọi trường hợp, đầu kẹp gốm alumina đóng vai trò liên kết quan trọng giữa hệ thống tự động hóa robot và sản phẩm cần di chuyển.

Các tùy chọn thiết kế và tùy chỉnh của bộ phận đầu cuối bằng gốm alumina

Mỗi dây chuyền sản xuất đều có những yêu cầu riêng biệt. Do đó, chúng tôi cung cấp các giải pháp đầu kẹp gốm alumina được thiết kế riêng cho các kích thước wafer, hệ thống robot và phương pháp xử lý khác nhau:

Khả năng tương thích với wafer: Hỗ trợ wafer từ 2” đến 12” và có thể điều chỉnh kích thước để tạo ra các linh kiện tùy chỉnh.

Các tùy chọn về hình dạng: Một càng, hai càng, nhiều rãnh hoặc hình dạng tùy chỉnh với các rãnh lõm tích hợp.

Xử lý bằng chân không: Các kênh hút chân không tùy chọn để hỗ trợ tấm bán dẫn không tiếp xúc.

Giao diện lắp đặt: Các lỗ bắt vít, mặt bích hoặc thiết kế rãnh tùy chỉnh để phù hợp với mọi cánh tay robot.

Độ hoàn thiện bề mặt: Bề mặt được đánh bóng hoặc siêu hoàn thiện (độ nhám bề mặt Ra < 0,15 μm).

Hình dạng cạnh: Cạnh được vát hoặc bo tròn để bảo vệ tối đa tấm bán dẫn.

Đội ngũ kỹ sư thiết kế đầu kẹp gốm alumina của chúng tôi có thể làm việc dựa trên bản vẽ CAD hoặc mẫu linh kiện của khách hàng, đảm bảo tích hợp liền mạch vào các hệ thống tự động hóa hiện có.

Những lợi ích chính của bộ phận đầu cuối bằng gốm alumina

Tính năng	Tại sao điều đó lại quan trọng
Độ chính xác về kích thước	Đảm bảo sự thẳng hàng hoàn hảo ngay cả trong các chu kỳ lặp đi lặp lại ở tốc độ cao.
Không gây ô nhiễm	Sản sinh hầu như không có hạt bụi, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của phòng sạch.
Chịu nhiệt và chống ăn mòn	Chịu được các bước xử lý khắc nghiệt và sốc nhiệt.
Không có điện tích tĩnh	Bảo vệ các tấm bán dẫn và linh kiện nhạy cảm khỏi nguy cơ tĩnh điện.
Nhẹ nhưng cứng cáp	Cung cấp độ cứng cao mà không ảnh hưởng đến tải trọng của cánh tay robot.
Tuổi thọ sử dụng kéo dài	Vượt trội hơn các loại tay giả bằng kim loại và polymer về tuổi thọ và độ tin cậy.

So sánh vật liệu của đầu kẹp gốm alumina

Thuộc tính	Càng nĩa bằng nhựa	Càng phuộc bằng nhôm/kim loại	Càng phuộc bằng gốm alumina
Độ cứng	Thấp	Trung bình	Rất cao
Phạm vi nhiệt	≤ 150°C	≤ 500°C	Lên đến 1600°C
Tính ổn định hóa học	Nghèo	Vừa phải	Xuất sắc
Đánh giá phòng sạch	Thấp	Trung bình	Lý tưởng cho hạng 100 trở lên.
Khả năng chống mài mòn	Giới hạn	Tốt	Nổi bật
Mức độ tùy chỉnh	Vừa phải	Giới hạn	Rộng rãi

Câu hỏi thường gặp (FAQ) về đầu kẹp gốm alumina

Câu 1: Điểm khác biệt giữa đầu kẹp bằng gốm alumina và đầu kẹp bằng kim loại là gì?
A1:Khác với các cánh tay robot bằng nhôm hoặc thép, gốm alumina không bị ăn mòn, biến dạng hoặc đưa các ion kim loại vào quy trình sản xuất chất bán dẫn. Nó vẫn giữ được độ ổn định về kích thước trong điều kiện khắc nghiệt và hầu như không thải ra hạt nào.

Câu 2: Có thể sử dụng đầu bịt bằng gốm alumina này trong buồng chân không cao và buồng plasma không?
A2:Đúng vậy. Gốm alumina làkhông thoát khívà có khả năng chống lại plasma, điều này khiến nó trở thành vật liệu được ưa chuộng cho các thiết bị xử lý và khắc chân không.

Câu 3: Các càng càng bằng gốm alumina này có thể tùy chỉnh đến mức nào?
A3:Mỗi đơn vị đều có thểhoàn toàn tùy chỉnh—bao gồm hình dạng, rãnh, lỗ hút, kiểu lắp đặt và độ hoàn thiện cạnh—để phù hợp với yêu cầu của hệ thống robot của bạn.

Câu 4: Chúng có dễ vỡ không?
A4:Mặc dù gốm sứ có tính giòn tự nhiên, nhưng kỹ thuật thiết kế của chúng tôi phân bổ tải trọng đồng đều và giảm thiểu các điểm ứng suất. Khi được sử dụng đúng cách, tuổi thọ thường vượt trội so với các vật liệu thay thế bằng kim loại hoặc polymer.

Về chúng tôi

XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới với công nghệ cao. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho ngành điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp các linh kiện quang học Sapphire, nắp ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide (SIC), thạch anh và tấm bán dẫn tinh thể. Với chuyên môn cao và thiết bị hiện đại, chúng tôi vượt trội trong gia công các sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.