Đầu cuối bằng gốm Alumina / Tay đòn để xử lý wafer và chất nền

Mô tả ngắn gọn:

Bộ phận đầu cuối bằng gốm Alumina, thường được gọi là tay gắp gốm hoặc kẹp gốm, là một công cụ quan trọng được sử dụng trong tự động hóa robot và dây chuyền sản xuất phòng sạch. Linh kiện này được lắp đặt trên cánh tay robot như giao diện cuối cùng với sản phẩm, chịu trách nhiệm gắp, giữ, căn chỉnh và vận chuyển các bộ phận có độ nhạy cao như tấm wafer silicon, tấm kính hoặc linh kiện vi điện tử.

Gửi email cho chúng tôi

Đặc trưng

Sơ đồ chi tiết

ceramic-arm-for-wafer-drive-of-semiconductors-02 - 副本

Tổng quan về đầu gốm Alumina

Bộ phận đầu cuối gốm Alumina, thường được gọi là tay gắp gốm hoặc kẹp gốm, là một công cụ quan trọng được sử dụng trong tự động hóa robot và dây chuyền sản xuất phòng sạch. Bộ phận đầu cuối gốm Alumina được lắp đặt trên cánh tay robot như giao diện cuối cùng với sản phẩm, chịu trách nhiệm gắp, giữ, căn chỉnh và vận chuyển các bộ phận có độ nhạy cao như tấm wafer silicon, tấm kính hoặc linh kiện vi điện tử.

Được sản xuất từ gốm alumina siêu tinh khiết (Al2O3), tay càng này cung cấp giải pháp cực kỳ sạch sẽ và ổn định cho các môi trường không thể chịu được ô nhiễm kim loại, biến dạng dẻo hoặc tạo ra hạt.

Tính chất vật liệu – Tại sao lại là Alumina

Về đầu gốm Alumina, Alumina (Al2O3) là một trong những vật liệu được biết đến và tin cậy nhấtgốm kỹ thuật tiên tiến. Loại chúng tôi sử dụng (độ tinh khiết ≥99,5%) mang đến sự kết hợp độc đáo giữa các đặc tính vật lý và hóa học khiến nó trở thành vật liệu được lựa chọn cho các ứng dụng bán dẫn và chân không:

Độ cứng cực cao– Với độ cứng Mohs là 9, sản phẩm có độ bền lâu dài và khả năng chống trầy xước.
Độ bền nhiệt– Duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc ở nhiệt độ trên 1600°C, vượt trội hơn so với kim loại và polyme.
Cách điện– Loại bỏ sự tích tụ tĩnh điện và cung cấp khả năng bảo vệ điện môi toàn diện.
Miễn dịch hóa học– Không bị ảnh hưởng bởi axit, kiềm, khí plasma và dung dịch tẩy rửa mạnh.
Nguy cơ ô nhiễm cực thấp– Bề mặt không thoát khí, ma sát thấp giúp giảm thiểu việc phát tán hạt trong phòng sạch.

Những đặc tính này cho phép các bộ phận đầu cuối bằng gốm alumina hoạt động hoàn hảo trong môi trường khắc nghiệt, có độ chính xác cao.

Ứng dụng cốt lõi của đầu gốm Alumina

Tính linh hoạt của cánh tay đòn bằng gốm alumina khiến chúng trở nên thiết yếu trong nhiều ngành công nghiệp công nghệ cao:

Hệ thống vận chuyển wafer bán dẫn– Di chuyển các tấm silicon một cách an toàn từ quy trình này sang quy trình khác mà không gây ra bất kỳ vết xước nhỏ nào.
Sản xuất màn hình phẳng– Xử lý các tấm nền kính dễ vỡ để chế tạo OLED, LCD hoặc microLED.
Sản xuất quang điện (PV)– Hỗ trợ nạp và tháo tấm wafer năng lượng mặt trời theo chu kỳ robot tốc độ cao.
Lắp ráp linh kiện quang học và điện tử– Kẹp chặt các bộ phận mỏng manh như cảm biến, điện trở và chip thu nhỏ.
Tự động hóa phòng sạch và chân không– Thực hiện các nhiệm vụ chính xác trong điều kiện siêu sạch, kiểm soát hạt.

Trong mọi trường hợp, Đầu chuyển động gốm Alumina cung cấp liên kết quan trọng giữa tự động hóa rô-bốt và sản phẩm được di chuyển.

Tùy chọn thiết kế và tùy chỉnh của đầu hiệu ứng gốm Alumina

Mỗi dây chuyền sản xuất đều có những yêu cầu riêng. Do đó, chúng tôi cung cấp các giải pháp đầu cuối gốm Alumina được thiết kế riêng cho các kích thước wafer, hệ thống robot và phương pháp xử lý khác nhau:

Khả năng tương thích của wafer: Xử lý wafer từ 2” đến 12” và có thể được điều chỉnh kích thước cho các bộ phận tùy chỉnh.

Tùy chọn hình học: Nĩa đơn, nĩa kép, nhiều khe hoặc hình dạng tùy chỉnh có hốc tích hợp.

Xử lý chân không: Kênh hút chân không tùy chọn để hỗ trợ wafer không tiếp xúc.

Giao diện lắp đặt: Lỗ bu lông, mặt bích hoặc thiết kế khe tùy chỉnh để phù hợp với bất kỳ cánh tay rô-bốt nào.

Hoàn thiện bề mặt: Bề mặt được đánh bóng hoặc hoàn thiện siêu cấp (xuống tới Ra < 0,15 μm).

Các cạnh được vát hoặc bo tròn để bảo vệ wafer tối đa.

Đội ngũ kỹ sư sản xuất bộ phận đầu cuối bằng gốm Alumina của chúng tôi có thể làm việc dựa trên bản vẽ CAD hoặc các bộ phận mẫu của khách hàng, đảm bảo tích hợp liền mạch vào các hệ thống tự động hóa hiện có.

Lợi ích chính của đầu tác động bằng gốm Alumina

Tính năng	Tại sao nó quan trọng
Độ chính xác về kích thước	Giữ sự liên kết hoàn hảo ngay cả trong các chu kỳ lặp đi lặp lại với tốc độ cao.
Không gây ô nhiễm	Hầu như không tạo ra hạt, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của phòng sạch.
Chống nhiệt và chống ăn mòn	Chịu được các bước xử lý khắc nghiệt và sốc nhiệt.
Không có điện tích tĩnh	Bảo vệ các tấm wafer và linh kiện nhạy cảm khỏi nguy cơ tĩnh điện.
Nhẹ nhưng cứng	Có độ cứng cao mà không ảnh hưởng đến tải trọng của cánh tay robot.
Tuổi thọ kéo dài	Tuổi thọ và độ tin cậy cao hơn cánh tay kim loại và polymer.

So sánh vật liệu của đầu gốm Alumina

Thuộc tính	Tay nĩa nhựa	Tay phuộc nhôm/kim loại	Tay nĩa gốm Alumina
Độ cứng	Thấp	Trung bình	Rất cao
Phạm vi nhiệt	≤ 150°C	≤ 500°C	Lên đến 1600°C
Độ ổn định hóa học	Nghèo	Vừa phải	Xuất sắc
Xếp hạng phòng sạch	Thấp	Trung bình	Lý tưởng cho Lớp 100 trở lên
Khả năng chống mài mòn	Giới hạn	Tốt	Nổi bật
Mức độ tùy chỉnh	Vừa phải	Giới hạn	Rộng rãi

Những câu hỏi thường gặp (FAQ) về đầu nối gốm Alumina

Câu hỏi 1: Điểm khác biệt giữa đầu phát gốm alumina và đầu phát kim loại là gì?
A1:Không giống như cánh tay nhôm hoặc thép, gốm alumina không bị ăn mòn, biến dạng hoặc đưa các ion kim loại vào các quy trình bán dẫn. Nó vẫn ổn định về kích thước trong điều kiện khắc nghiệt và hầu như không giải phóng bất kỳ hạt nào.

Câu hỏi 2: Bộ phận tác động cuối bằng gốm Alumina này có thể được sử dụng trong buồng chân không cao và buồng plasma không?
A2:Vâng. Gốm nhôm làkhông thoát khívà chống lại plasma, khiến nó trở thành vật liệu được ưa chuộng cho thiết bị xử lý chân không và khắc.

Câu hỏi 3: Các tay đòn đầu gốm Alumina này có thể tùy chỉnh được như thế nào?
A3:Mỗi đơn vị có thể đượcđược tùy chỉnh hoàn toàn—bao gồm hình dạng, khe, lỗ hút, kiểu lắp và lớp hoàn thiện cạnh—để phù hợp với yêu cầu của hệ thống rô-bốt của bạn.

Câu 4: Chúng có dễ vỡ không?
A4:Mặc dù gốm có độ giòn tự nhiên, nhưng kỹ thuật thiết kế của chúng tôi phân bổ tải trọng đều và giảm thiểu các điểm ứng suất. Khi được xử lý đúng cách, tuổi thọ thường cao hơn so với các vật liệu thay thế bằng kim loại hoặc polymer.

Giới thiệu về chúng tôi

XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh công nghệ cao các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp linh kiện quang học Sapphire, vỏ ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide SIC, thạch anh và wafer tinh thể bán dẫn. Với chuyên môn cao và thiết bị tiên tiến, chúng tôi vượt trội trong lĩnh vực gia công sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.