Tấm thủy tinh BF33 Chất nền borosilicate tiên tiến 2″4″6″8″12″
Sơ đồ chi tiết


Tổng quan về tấm kính BF33

Tấm kính wafer BF33, được công nhận quốc tế với tên thương mại BOROFLOAT 33, là kính nổi borosilicate cao cấp được SCHOTT chế tạo bằng phương pháp sản xuất vi nổi chuyên dụng. Quy trình sản xuất này tạo ra các tấm kính có độ dày đồng đều tuyệt đối, độ phẳng bề mặt tuyệt vời, độ nhám vi mô tối thiểu và độ trong suốt quang học vượt trội.
Một đặc điểm phân biệt chính của BF33 là hệ số giãn nở nhiệt (CTE) thấp, khoảng 3,3 × 10-6 K-1, khiến nó trở thành sự kết hợp lý tưởng với các chất nền silicon. Đặc tính này cho phép tích hợp không gây ứng suất trong các thiết bị vi điện tử, MEMS và quang điện tử.
Thành phần vật liệu của tấm kính BF33
BF33 thuộc họ thủy tinh borosilicate và chứa hơn80% silica (SiO2), cùng với oxit boron (B2O3), oxit kiềm và một lượng nhỏ oxit nhôm. Công thức này cung cấp:
-
Mật độ thấp hơnso với thủy tinh soda-vôi, làm giảm tổng trọng lượng thành phần.
-
Giảm hàm lượng kiềm, giảm thiểu sự rò rỉ ion trong các hệ thống phân tích hoặc y sinh nhạy cảm.
-
Sức đề kháng được cải thiệnbị tấn công hóa học bởi axit, kiềm và dung môi hữu cơ.
Quy trình sản xuất tấm kính BF33
Tấm kính wafer BF33 được sản xuất thông qua một loạt các bước được kiểm soát chính xác. Đầu tiên, nguyên liệu thô có độ tinh khiết cao - chủ yếu là silica, oxit boron và oxit kiềm và nhôm - được cân và trộn chính xác. Lô sản phẩm được nấu chảy ở nhiệt độ cao và tinh chế để loại bỏ bọt khí và tạp chất. Sử dụng quy trình microfloat, thủy tinh nóng chảy chảy qua thiếc nóng chảy để tạo thành các tấm phẳng, đồng nhất. Những tấm này được ủ chậm để giảm ứng suất bên trong, sau đó được cắt thành các tấm hình chữ nhật và tiếp tục được tạo phôi thành các tấm wafer tròn. Các cạnh của tấm wafer được vát hoặc vát cạnh để tăng độ bền, sau đó được mài chính xác và đánh bóng hai mặt để đạt được bề mặt siêu mịn. Sau khi làm sạch bằng siêu âm trong phòng sạch, mỗi tấm wafer trải qua quá trình kiểm tra nghiêm ngặt về kích thước, độ phẳng, chất lượng quang học và các khuyết tật bề mặt. Cuối cùng, các tấm wafer được đóng gói trong các thùng chứa không bị nhiễm bẩn để đảm bảo duy trì chất lượng cho đến khi sử dụng.
Tính chất cơ học của tấm kính BF33
Sản phẩm | BOROFLOAT 33 |
Tỉ trọng | 2,23 g/cm3 |
Mô đun đàn hồi | 63 kN/mm2 |
Độ cứng Knoop HK 0.1/20 | 480 |
Tỷ số Poisson | 0,2 |
Hằng số điện môi (@ 1 MHz & 25°C) | 4.6 |
Tangent mất mát (@ 1 MHz & 25°C) | 37 x 10-4 |
Độ bền điện môi (@ 50 Hz & 25°C) | 16 kV/mm |
Chiết suất | 1.472 |
Độ phân tán (nF - nC) | 71,9 x 10-4 |
Câu hỏi thường gặp về tấm kính BF33
Kính BF33 là gì?
BF33, còn được gọi là BOROFLOAT® 33, là kính nổi borosilicate cao cấp được sản xuất bởi SCHOTT bằng quy trình vi nổi. Kính nổi này có độ giãn nở nhiệt thấp (~3,3 × 10⁻⁶ K⁻¹), khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, độ trong suốt quang học cao và độ bền hóa học vượt trội.
BF33 khác với thủy tinh thông thường như thế nào?
So với thủy tinh soda-vôi, BF33:
-
Có hệ số giãn nở vì nhiệt thấp hơn nhiều, giúp giảm ứng suất do thay đổi nhiệt độ.
-
Có khả năng chống lại axit, kiềm và dung môi tốt hơn về mặt hóa học.
-
Cung cấp khả năng truyền tia UV và IR cao hơn.
-
Cung cấp độ bền cơ học và khả năng chống trầy xước tốt hơn.
Tại sao BF33 được sử dụng trong các ứng dụng bán dẫn và MEMS?
Độ giãn nở nhiệt của nó gần giống với silicon, lý tưởng cho liên kết anot và chế tạo vi mô. Độ bền hóa học của nó cũng cho phép nó chịu được quá trình khắc, làm sạch và nhiệt độ cao mà không bị suy giảm.
BF33 có chịu được nhiệt độ cao không?
-
Sử dụng liên tục: lên đến ~450 °C
-
Tiếp xúc ngắn hạn (≤ 10 giờ): lên đến ~500 °C
CTE thấp cũng mang lại khả năng chống chịu tuyệt vời với những thay đổi nhiệt độ đột ngột.
Giới thiệu về chúng tôi
XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh công nghệ cao các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp linh kiện quang học Sapphire, vỏ ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide SIC, thạch anh và wafer tinh thể bán dẫn. Với chuyên môn cao và thiết bị tiên tiến, chúng tôi vượt trội trong lĩnh vực gia công sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.