Sản phẩm gốm sứ
-
Đầu kẹp/cánh tay càng bằng gốm alumina dùng để xử lý tấm wafer và chất nền.
-
Khay gốm SiC dùng làm giá đỡ wafer, có khả năng chịu nhiệt cao.
-
Cần gạt/đầu kẹp bằng gốm SiC – Hệ thống xử lý chính xác tiên tiến cho sản xuất bán dẫn.
-
Khay gốm cacbua silic – Khay bền bỉ, hiệu suất cao dành cho các ứng dụng nhiệt và hóa chất.
-
Bộ phận kẹp cuối bằng gốm alumina hiệu suất cao (cánh tay càng cua) dành cho tự động hóa ngành công nghiệp bán dẫn và phòng sạch.
-
Cần/tay nâng bằng gốm Silicon Carbide (SiC) cho hệ thống xử lý vật nặng quan trọng.
-
Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silic
-
Tấm/khay gốm SiC dùng cho giá đỡ wafer 4 inch 6 inch trong ICP.
-
Cánh tay thao tác bằng gốm SiC dùng để vận chuyển tấm wafer
-
Khay hút bằng gốm cacbua silic, ống gốm cacbua silic, cung cấp vật liệu thiêu kết ở nhiệt độ cao, gia công theo yêu cầu.
-
Ống gốm silicon carbide cường độ cao (SIC) nhiều loại, có khả năng chống cháy theo yêu cầu.
-
Khay kẹp gốm SiC, cốc hút gốm, gia công chính xác theo yêu cầu.