Đường kính 300x1.0mm Độ dày Sapphire Wafer C-Plane SSP/DSP

Mô tả ngắn gọn:

Công ty TNHH Vật liệu mới Xinkehui Thượng Hải có thể sản xuất các tấm wafer sapphire với nhiều hướng bề mặt khác nhau (c, r, a và m-plane) và kiểm soát góc cắt lệch trong phạm vi 0,1 độ. Sử dụng công nghệ độc quyền của mình, chúng tôi có thể đạt được chất lượng cao cần thiết cho các ứng dụng như phát triển epitaxial và liên kết wafer.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Giới thiệu hộp wafer

Vật liệu pha lê 99,999% Al2O3, Độ tinh khiết cao, Đơn tinh thể, Al2O3
Chất lượng tinh thể Các tạp chất, dấu khối, cặp song sinh, màu sắc, bong bóng nhỏ và trung tâm phân tán không tồn tại
Đường kính 2 inch 3 inch 4 inch 6 inch ~ 12 inch
50,8±0,1mm 76,2±0,2mm 100±0.3mm Theo quy định của tiêu chuẩn sản xuất
Độ dày 430±15µm 550±15µm 650±20µm Có thể tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng
Định hướng Mặt phẳng C (0001) đến mặt phẳng M (1-100) hoặc mặt phẳng A (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, mặt phẳng R (1-1 0 2), mặt phẳng A (1 1-2 0), mặt phẳng M (1-1 0 0), bất kỳ hướng nào, bất kỳ góc nào
Chiều dài phẳng chính 16.0±1mm 22.0±1.0mm 32,5±1,5mm Theo quy định của tiêu chuẩn sản xuất
Định hướng phẳng chính Mặt phẳng A (1 1-2 0 ) ± 0,2°      
TTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Giá trị vòng đời ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
TIR ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
CÂY CUNG ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
cong vênh ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Mặt trước Đánh bóng Epi (Ra< 0,2nm)

*Cung: Độ lệch của điểm chính giữa bề mặt trung bình của một tấm wafer tự do, không được kẹp so với mặt phẳng tham chiếu, trong đó mặt phẳng tham chiếu được xác định bởi ba góc của một tam giác đều.

*Độ cong vênh: Sự khác biệt giữa khoảng cách tối đa và tối thiểu của bề mặt trung bình của một tấm wafer tự do, không bị kẹp so với mặt phẳng tham chiếu được xác định ở trên.

Các sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao cho các thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo và sự phát triển epitaxial:

Độ phẳng cao (TTV được kiểm soát, độ cong vênh, độ cong vênh, v.v.)

Làm sạch chất lượng cao (ít tạp chất hạt, ít tạp chất kim loại)

Khoan nền, tạo rãnh, cắt và đánh bóng mặt sau

Đính kèm dữ liệu như độ sạch và hình dạng của chất nền (tùy chọn)

Nếu bạn có nhu cầu về chất nền sapphire, vui lòng liên hệ:

thư:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Chúng tôi sẽ phản hồi bạn sớm nhất có thể!

Sơ đồ chi tiết

vcs (2)
vcs (1)

  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Viết tin nhắn của bạn ở đây và gửi cho chúng tôi