Tấm wafer Sapphire C-Plane SSP/DSP có độ dày 300x1.0mmt

Mô tả ngắn gọn:

Công ty TNHH Vật liệu Mới Xinkehui Thượng Hải có thể sản xuất wafer sapphire với nhiều hướng bề mặt khác nhau (mặt phẳng c, r, a và m), đồng thời kiểm soát góc cắt lệch trong vòng 0,1 độ. Nhờ công nghệ độc quyền, chúng tôi có thể đạt được chất lượng cao cần thiết cho các ứng dụng như phát triển epitaxial và liên kết wafer.


Đặc trưng

bài kiểm tra 1

Giới thiệu hộp wafer

Vật liệu pha lê 99,999% Al2O3, Độ tinh khiết cao, Đơn tinh thể, Al2O3
Chất lượng tinh thể Không tồn tại các tạp chất, dấu vết khối, hạt đôi, màu sắc, bong bóng nhỏ và tâm phân tán
Đường kính 2 inch 3 inch 4 inch 6 inch ~ 12 inch
50,8 ± 0,1mm 76,2±0,2mm 100±0,3mm Theo quy định của tiêu chuẩn sản xuất
Độ dày 430±15µm 550±15µm 650±20µm Có thể tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng
Định hướng Mặt phẳng C (0001) đến mặt phẳng M (1-100) hoặc mặt phẳng A (1 1-2 0) 0,2 ± 0,1° /0,3 ± 0,1°, mặt phẳng R (1-1 0 2), mặt phẳng A (1 1-2 0), mặt phẳng M (1-1 0 0), bất kỳ hướng nào, bất kỳ góc nào
Chiều dài phẳng chính 16,0±1mm 22,0±1,0mm 32,5 ± 1,5 mm Theo quy định của tiêu chuẩn sản xuất
Định hướng phẳng chính Mặt phẳng A (1 1-2 0 ) ± 0,2°      
TTV ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Giá trị vòng đời (LTV) ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
TIR ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
CÂY CUNG ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
cong vênh ≤10µm ≤15µm ≤20µm ≤30µm
Mặt trước Đánh bóng Epi (Ra < 0,2nm)

*Cung: Độ lệch của điểm trung tâm của bề mặt trung bình của một tấm wafer tự do, không được kẹp so với mặt phẳng tham chiếu, trong đó mặt phẳng tham chiếu được xác định bởi ba góc của một tam giác đều.

*Độ cong vênh: Sự khác biệt giữa khoảng cách tối đa và tối thiểu của bề mặt trung bình của một tấm wafer tự do, không bị kẹp so với mặt phẳng tham chiếu được xác định ở trên.

Sản phẩm và dịch vụ chất lượng cao cho các thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo và tăng trưởng epitaxial:

Độ phẳng cao (TTV được kiểm soát, độ cong vênh, độ cong vênh, v.v.)

Làm sạch chất lượng cao (ít tạp chất hạt, ít tạp chất kim loại)

Khoan nền, tạo rãnh, cắt và đánh bóng mặt sau

Đính kèm dữ liệu như độ sạch và hình dạng của chất nền (tùy chọn)

Nếu bạn có nhu cầu về chất nền sapphire, vui lòng liên hệ:

thư:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522

Chúng tôi sẽ liên lạc lại với bạn sớm nhất!

Sơ đồ chi tiết

vcs (2)
vcs (1)

  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Viết tin nhắn của bạn ở đây và gửi cho chúng tôi