Máy vuông trạm đôi thanh silicon đơn tinh thể gia công bề mặt phẳng 6/8/12 inch Ra≤0.5μm

Máy vuông trạm đôi xử lý thanh silicon đơn tinh thể 6/8/12 inch độ phẳng bề mặt Ra≤0.5μm Hình ảnh nổi bật

Mô tả ngắn gọn:

Máy vuông trạm đôi silicon đơn tinh thể là thiết bị hiệu quả để gia công thanh silicon đơn tinh thể (Thỏi). Thiết bị này áp dụng thiết kế vận hành đồng bộ trạm đôi và có thể cắt hai thanh silicon cùng lúc, cải thiện đáng kể hiệu quả sản xuất. Thiết bị này xử lý thanh silicon hình trụ thành khối silicon vuông/gần vuông (Grit) thông qua công nghệ cắt dây kim cương hoặc lưỡi cưa tròn bên trong, chuẩn bị cho quá trình cắt lát tiếp theo (như làm wafer silicon) và được sử dụng rộng rãi trong các liên kết gia công vật liệu silicon trong ngành công nghiệp quang điện và bán dẫn.

Gửi email cho chúng tôi

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Đặc điểm thiết bị：

(1) Xử lý đồng bộ trạm đôi
· Hiệu suất gấp đôi: Xử lý đồng thời hai thanh silicon (Ø6"-12") giúp tăng năng suất lên 40%-60% so với thiết bị Simplex.

· Điều khiển độc lập: Mỗi trạm có thể tự điều chỉnh các thông số cắt (độ căng, tốc độ nạp) để thích ứng với các thông số kỹ thuật thanh silicon khác nhau.

(2) Cắt chính xác cao
· Độ chính xác về kích thước: dung sai khoảng cách cạnh thanh vuông ±0,15mm, phạm vi ≤0,20mm.

· Chất lượng bề mặt: độ gãy của lưỡi cắt <0,5mm, giảm lượng mài tiếp theo.

(3) Kiểm soát thông minh
· Cắt thích ứng: theo dõi hình thái thanh silicon theo thời gian thực, điều chỉnh động đường cắt (như gia công thanh silicon cong).

· Khả năng truy xuất dữ liệu: ghi lại các thông số xử lý của từng thanh silicon để hỗ trợ kết nối hệ thống MES.

(4) Chi phí tiêu thụ thấp
· Lượng tiêu thụ dây kim cương: ≤0,06m/mm (chiều dài thanh silicon), đường kính dây ≤0,30mm.

· Tuần hoàn chất làm mát: Hệ thống lọc kéo dài tuổi thọ và giảm lượng chất thải lỏng.

Ưu điểm về công nghệ và phát triển:

(1) Tối ưu hóa công nghệ cắt
- Cắt nhiều đường: Sử dụng song song 100-200 đường cắt kim cương, tốc độ cắt ≥40mm/phút.

- Kiểm soát độ căng: Hệ thống điều chỉnh vòng kín (±1N) để giảm nguy cơ đứt dây.

(2) Mở rộng khả năng tương thích
- Thích ứng vật liệu: Hỗ trợ silicon đơn tinh thể loại P/N, tương thích với TOPCon, HJT và các thanh silicon pin hiệu suất cao khác.

- Kích thước linh hoạt: chiều dài thanh silicon 100-950mm, khoảng cách cạnh thanh vuông 166-233mm có thể điều chỉnh.

(3) Nâng cấp tự động hóa
- Robot nạp/dỡ: tự động nạp/dỡ thanh silicon, nhịp ≤3 phút.

- Chẩn đoán thông minh: Bảo trì dự đoán để giảm thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch.

(4) Lãnh đạo ngành
- Đế wafer: có thể xử lý silicon siêu mỏng ≥100μm bằng thanh vuông, tỷ lệ phân mảnh <0,5%.

- Tối ưu hóa mức tiêu thụ năng lượng: Mức tiêu thụ năng lượng trên một đơn vị thanh silicon giảm 30% (so với thiết bị truyền thống).

Thông số kỹ thuật:

Tên tham số	Giá trị chỉ số
Số lượng thanh được xử lý	2 cái/bộ
Phạm vi chiều dài thanh xử lý	100~950mm
Phạm vi biên độ gia công	166~233mm
Tốc độ cắt	≥40mm/phút
Tốc độ dây kim cương	0~35m/giây
Đường kính kim cương	0,30 mm hoặc ít hơn
Tiêu thụ tuyến tính	0,06 m/mm hoặc ít hơn
Đường kính thanh tròn tương thích	Đường kính thanh vuông thành phẩm +2mm, Đảm bảo tỷ lệ đánh bóng thành công
Kiểm soát vỡ tiên tiến	Cạnh thô ≤0.5mm, Không sứt mẻ, chất lượng bề mặt cao
Độ đồng đều chiều dài cung	Phạm vi chiếu <1,5mm, Ngoại trừ sự biến dạng của thanh silicon
Kích thước máy (máy đơn)	4800×3020×3660mm
Tổng công suất định mức	56kW
Trọng lượng chết của thiết bị	12t

Bảng chỉ số độ chính xác gia công:

Mục chính xác	Phạm vi dung sai
Dung sai lề thanh vuông	±0,15mm
Phạm vi cạnh thanh vuông	≤0,20mm
Góc ở tất cả các cạnh của thanh vuông	90°±0,05°
Độ phẳng của thanh vuông	≤0,15mm
Robot lặp lại độ chính xác định vị	±0,05mm

Dịch vụ của XKH:

XKH cung cấp dịch vụ chu trình đầy đủ cho máy trạm kép silicon đơn tinh thể, bao gồm tùy chỉnh thiết bị (tương thích với thanh silicon lớn), đưa vào vận hành quy trình (tối ưu hóa thông số cắt), đào tạo vận hành và hỗ trợ sau bán hàng (cung cấp linh kiện chính, chẩn đoán từ xa), đảm bảo khách hàng đạt được năng suất cao (>99%) và chi phí sản xuất tiêu hao thấp, đồng thời cung cấp các nâng cấp kỹ thuật (như tối ưu hóa cắt AI). Thời gian giao hàng là 2-4 tháng.