Bộ phận kẹp cuối bằng gốm alumina hiệu suất cao (cánh tay càng cua) dành cho tự động hóa ngành công nghiệp bán dẫn và phòng sạch.

Đầu kẹp gốm alumina hiệu suất cao (cánh tay càng) cho tự động hóa ngành bán dẫn và phòng sạch (Hình ảnh minh họa)

Mô tả ngắn gọn:

Bộ phận kẹp bằng gốm alumina, còn được gọi là càng kẹp gốm hoặc tay robot bằng gốm, là một bộ phận xử lý độ chính xác cao được thiết kế cho các hệ thống tự động trong môi trường sản xuất chất bán dẫn, quang điện, màn hình hiển thị và phòng thí nghiệm có độ tinh khiết cao. Nó được thiết kế để cung cấp độ ổn định nhiệt, độ cứng cơ học và khả năng chống hóa chất vượt trội, đảm bảo vận chuyển sạch sẽ, đáng tin cậy và an toàn các vật liệu nhạy cảm như tấm silicon, chất nền thủy tinh và các vi linh kiện điện tử.

Gửi email cho chúng tôi

Đặc trưng

Sơ đồ chi tiết

Giới thiệu sản phẩm

Là một loại bộ phận cuối của robot, linh kiện gốm này là giao diện cuối cùng giữa hệ thống tự động hóa và phôi gia công. Nó đóng vai trò quan trọng trong việc truyền tải chính xác, căn chỉnh, xếp/dỡ và định vị trong phòng sạch và môi trường chân không.

cánh tay gốm cho bộ truyền động wafer bán dẫn-G13

cánh tay gốm cho bộ truyền động wafer bán dẫn-G10

cánh tay gốm cho bộ truyền động wafer bán dẫn-G07

Tổng quan về vật liệu – Gốm alumina (Al₂O₃)

Gốm alumina là một loại vật liệu gốm kỹ thuật có độ ổn định cao và trơ về mặt hóa học, nổi tiếng với các đặc tính cơ học và điện tuyệt vời. Alumina có độ tinh khiết cao (≥ 99,5%) được sử dụng trong các đầu cuối này đảm bảo:

Độ cứng cao (Mohs 9)Chỉ đứng sau kim cương, alumina có khả năng chống mài mòn cực cao.
Khả năng chịu nhiệt độ caoDuy trì độ bền cấu trúc ở nhiệt độ trên 1600°C.
Tính trơ về mặt hóa họcCó khả năng chống chịu axit, kiềm, dung môi và môi trường khắc plasma.
Cách điệnCó độ bền điện môi cao và tổn hao điện môi thấp.
Độ giãn nở nhiệt thấpĐảm bảo tính ổn định về kích thước trong môi trường biến đổi nhiệt.
Phát sinh hạt thấp: Cần thiết cho khả năng tương thích với phòng sạch (từ cấp 10 đến cấp 1000).

Những đặc điểm này làm cho gốm alumina trở nên lý tưởng cho các hoạt động quan trọng trong các ngành công nghiệp nhạy cảm với ô nhiễm.

Ứng dụng chức năng

Đầu kẹp bằng gốm alumina được sử dụng rộng rãi trong các quy trình công nghiệp công nghệ cao, đặc biệt là trong các trường hợp vật liệu kim loại hoặc nhựa truyền thống gặp phải các vấn đề về giãn nở nhiệt, nhiễm bẩn hoặc ăn mòn. Các lĩnh vực ứng dụng chính bao gồm:

Chuyển giao tấm bán dẫn
Hệ thống nạp và dỡ vật liệu quang khắc
Xử lý chất nền thủy tinh trong dây chuyền sản xuất OLED và LCD
Quá trình chuyển tấm silicon tinh thể trong sản xuất pin mặt trời
Kiểm tra quang học hoặc vi điện tử tự động
Vận chuyển mẫu trong phòng thí nghiệm phân tích hoặc y sinh.
Hệ thống tự động hóa môi trường chân không

Khả năng hoạt động mà không tạo ra các hạt bụi hay điện tích tĩnh khiến nó trở nên không thể thiếu đối với các thao tác robot chính xác trong tự động hóa phòng sạch.

Đặc điểm thiết kế và khả năng tùy chỉnh

Mỗi đầu kẹp gốm được thiết kế để phù hợp với một cánh tay robot hoặc hệ thống xử lý wafer cụ thể. Chúng tôi hỗ trợ tùy chỉnh hoàn toàn dựa trên:

Khả năng tương thích kích thước wafer: 2", 4", 6", 8", 12" và hơn thế nữa
Hình dạng và khoảng cách của khe: Phù hợp với các thiết kế kẹp cạnh, hỗ trợ mặt sau hoặc thiết kế wafer có rãnh.
Cổng hút: Các lỗ hoặc rãnh hút chân không tích hợp để thao tác không tiếp xúc
Cấu hình lắp đặtCác lỗ, ren, rãnh được thiết kế riêng cho mặt bích đầu dụng cụ của robot.
Xử lý bề mặt: Bề mặt được đánh bóng, mài nhẵn hoặc mài mịn (có sẵn độ nhám bề mặt Ra < 0,2 µm)
Bảo vệ cạnhCác góc được bo tròn hoặc vát cạnh để tránh làm hỏng tấm bán dẫn.

Bằng cách sử dụng bản vẽ CAD hoặc mô hình 3D do khách hàng cung cấp, các kỹ sư của chúng tôi có thể tối ưu hóa từng càng nâng về trọng lượng, độ bền và độ sạch sẽ.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Ưu điểm của bộ phận đầu cuối bằng gốm

Tính năng	Lợi ích
Độ cứng cơ học cao	Đảm bảo độ chính xác về kích thước dưới tác động của lực tải robot.
Hiệu suất tản nhiệt tuyệt vời	Hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao hoặc plasma.
Không có tạp chất kim loại	Không có nguy cơ nhiễm bẩn ion trong quá trình xử lý chất bán dẫn quan trọng.
Bề mặt ma sát thấp	Giảm nguy cơ trầy xước trên chất nền dạng tấm mỏng hoặc thủy tinh.
Chống tĩnh điện và không nhiễm từ	Không hút bụi hoặc ảnh hưởng đến các linh kiện nhạy cảm với từ tính.
Tuổi thọ sử dụng lâu dài	Khả năng chống mài mòn vượt trội trong các chu kỳ tự động hóa tốc độ cao lặp đi lặp lại.
Khả năng tương thích siêu sạch	Thích hợp cho phòng sạch ISO 14644 (Cấp 100 trở xuống)

So với các loại tay đỡ bằng nhựa hoặc nhôm, gốm alumina mang lại độ ổn định hóa học và vật lý được cải thiện đáng kể với yêu cầu bảo trì tối thiểu.

Tài sản	Cánh tay kim loại	Cánh tay nhựa	Cánh tay gốm alumina
Độ cứng	Vừa phải	Thấp	Rất cao (Mohs 9)
Độ ổn định nhiệt	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Khả năng kháng hóa chất	Vừa phải	Nghèo	Xuất sắc
Tính phù hợp của phòng sạch	Trung bình	Thấp	Rất cao
Khả năng chống mài mòn	Trung bình	Thấp	Nổi bật
Độ bền điện môi	Thấp	Trung bình	Cao
Gia công chính xác theo yêu cầu	Giới hạn	Vừa phải	Cao (sai số cho phép ±0,01mm)

Thông số kỹ thuật

Tham số	Giá trị
Vật liệu	Nhôm oxit có độ tinh khiết cao (≥ 99,5%)
Nhiệt độ làm việc	Lên đến 1600°C
Độ nhám bề mặt	Ra ≤ 0,2 µm (tùy chọn)
Kích thước wafer tương thích	Từ 2" đến 12" hoặc theo kích thước tùy chỉnh
Dung sai độ phẳng	±0,01 mm (tùy thuộc vào ứng dụng)
Hỗ trợ hút chân không	Các kênh tùy chọn, có thể tùy chỉnh
Tùy chọn lắp đặt	Lỗ bắt vít xuyên qua, mặt bích, lỗ có rãnh

Câu hỏi thường gặp (FAQ)

Câu 1: Có thể tích hợp đầu cuối robot vào các hệ thống robot hiện có không?
A1:Có. Chúng tôi hỗ trợ tùy chỉnh dựa trên giao diện robot của bạn. Bạn có thể gửi cho chúng tôi bản vẽ CAD hoặc kích thước mặt bích để điều chỉnh chính xác.

Câu 2: Tay cầm bằng gốm có dễ bị vỡ trong quá trình sử dụng không?
A2:Mặc dù gốm sứ vốn dễ vỡ, nhưng các thiết kế của chúng tôi sử dụng hình học tối ưu để giảm thiểu sự tập trung ứng suất. Trong điều kiện sử dụng thích hợp, chúng có tuổi thọ cao hơn đáng kể so với kim loại hoặc nhựa.

Câu 3: Có thể sử dụng thiết bị này trong buồng chân không cực cao hoặc buồng khắc plasma không?
A3:Đúng vậy. Gốm alumina không phát thải khí, ổn định nhiệt và chống ăn mòn — hoàn toàn phù hợp cho môi trường chân không cao, khí phản ứng hoặc plasma.

Câu 4: Các bộ phận này được làm sạch hoặc bảo trì như thế nào?
A4:Chúng có thể được làm sạch bằng nước khử ion, cồn hoặc chất tẩy rửa phù hợp với phòng sạch. Không cần bảo dưỡng đặc biệt do tính ổn định hóa học và bề mặt trơ của chúng.

Về chúng tôi

XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới với công nghệ cao. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho ngành điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp các linh kiện quang học Sapphire, nắp ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide (SIC), thạch anh và tấm bán dẫn tinh thể. Với chuyên môn cao và thiết bị hiện đại, chúng tôi vượt trội trong gia công các sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.