Đầu nối gốm nhôm hiệu suất cao (Tay nĩa) dành cho tự động hóa bán dẫn và phòng sạch
Sơ đồ chi tiết
Giới thiệu sản phẩm
Bộ phận xử lý đầu cuối bằng gốm Alumina, còn được gọi là tay nĩa gốm hoặc tay robot bằng gốm, là một bộ phận xử lý có độ chính xác cao được thiết kế cho các hệ thống tự động trong môi trường bán dẫn, quang điện, màn hình hiển thị và phòng thí nghiệm có độ tinh khiết cao. Nó được thiết kế để mang lại độ ổn định nhiệt, độ cứng cơ học và khả năng chống hóa chất vượt trội, mang đến khả năng vận chuyển sạch sẽ, đáng tin cậy và an toàn cho các vật liệu nhạy cảm như tấm wafer silicon, đế thủy tinh và linh kiện điện tử vi mô.
Là một loại bộ phận đầu cuối của robot, linh kiện gốm này là giao diện cuối cùng giữa hệ thống tự động hóa và phôi gia công. Nó đóng vai trò quan trọng trong các nhiệm vụ chuyển giao, căn chỉnh, nạp/dỡ và định vị chính xác trong phòng sạch và môi trường chân không.
Tổng quan về vật liệu – Gốm Alumina (Al₂O₃)
Gốm alumina là vật liệu gốm kỹ thuật có độ ổn định cao và trơ về mặt hóa học, được biết đến với các tính chất cơ học và điện tuyệt vời. Độ tinh khiết cao (≥ 99,5%) alumina được sử dụng trong các đầu tác động này đảm bảo:
-
Độ cứng cao (Mohs 9):Chỉ đứng sau kim cương, nhôm oxit có khả năng chống mài mòn cực tốt.
-
Khả năng chịu nhiệt độ cao: Duy trì tính toàn vẹn của cấu trúc ở nhiệt độ trên 1600°C.
-
Tính trơ về mặt hóa học: Chịu được axit, kiềm, dung môi và môi trường khắc plasma.
-
Cách điện: Có độ bền điện môi cao và tổn thất điện môi thấp.
-
Độ giãn nở nhiệt thấp: Đảm bảo tính ổn định về kích thước trong môi trường tuần hoàn nhiệt.
-
Tạo ra ít hạt: Cần thiết cho khả năng tương thích phòng sạch (Lớp 10 đến Lớp 1000).
Những đặc điểm này làm cho gốm alumina trở nên lý tưởng cho các hoạt động quan trọng trong các ngành công nghiệp dễ bị ô nhiễm.
Ứng dụng chức năng
Đầu phun gốm alumina được ứng dụng rộng rãi trong các quy trình công nghiệp công nghệ cao, đặc biệt là khi vật liệu kim loại hoặc nhựa truyền thống không đáp ứng được yêu cầu do giãn nở nhiệt, nhiễm bẩn hoặc ăn mòn. Các lĩnh vực ứng dụng chính bao gồm:
- Chuyển giao wafer bán dẫn
- Hệ thống nạp và dỡ quang khắc
- Xử lý chất nền kính trong dây chuyền OLED và LCD
- Chuyển giao wafer silicon tinh thể trong sản xuất pin mặt trời
- Kiểm tra quang học hoặc vi điện tử tự động
- Vận chuyển mẫu trong phòng thí nghiệm phân tích hoặc y sinh
- Hệ thống tự động hóa môi trường chân không
Khả năng hoạt động mà không tạo ra các hạt hoặc điện tích tĩnh khiến nó trở nên không thể thiếu đối với các hoạt động robot chính xác trong tự động hóa phòng sạch.
Tính năng thiết kế & Tùy chỉnh
Mỗi đầu hiệu ứng gốm được thiết kế để phù hợp với một cánh tay robot hoặc hệ thống xử lý wafer cụ thể. Chúng tôi hỗ trợ tùy chỉnh hoàn toàn dựa trên:
-
Khả năng tương thích kích thước wafer: 2", 4", 6", 8", 12" trở lên
-
Hình dạng khe và khoảng cách: Phù hợp với thiết kế kẹp cạnh, hỗ trợ mặt sau hoặc thiết kế wafer khía
-
Cổng hút: Các lỗ hoặc kênh chân không tích hợp để xử lý không tiếp xúc
-
Cấu hình lắp đặt: Các lỗ, ren, khe được thiết kế riêng cho mặt bích dụng cụ cuối của rô-bốt của bạn
-
Xử lý bề mặt: Hoàn thiện đánh bóng, mài hoặc mài mịn (Ra < 0,2 µm có sẵn)
-
Bảo vệ cạnh: Các góc bo tròn hoặc vát cạnh để tránh làm hỏng tấm wafer
Bằng cách sử dụng bản vẽ CAD hoặc mô hình 3D do khách hàng cung cấp, các kỹ sư của chúng tôi có thể tối ưu hóa từng cánh tay nâng về trọng lượng, độ bền và độ sạch.
Ưu điểm của đầu gốm
| Tính năng | Lợi ích |
|---|---|
| Độ cứng cơ học cao | Duy trì độ chính xác về kích thước dưới lực tải của robot |
| Hiệu suất nhiệt tuyệt vời | Hoạt động đáng tin cậy trong môi trường nhiệt độ cao hoặc plasma |
| Không ô nhiễm kim loại | Không có nguy cơ nhiễm ion trong quá trình xử lý chất bán dẫn quan trọng |
| Bề mặt ma sát thấp | Giảm nguy cơ trầy xước trên tấm wafer hoặc tấm kính |
| Chống tĩnh điện và không từ tính | Không thu hút bụi hoặc ảnh hưởng đến các thành phần nhạy cảm với từ tính |
| Tuổi thọ dài | Khả năng chống mài mòn vượt trội trong các chu kỳ tự động hóa tốc độ cao lặp đi lặp lại |
| Khả năng tương thích siêu sạch | Phù hợp với phòng sạch ISO 14644 (Lớp 100 trở xuống) |
So với cánh tay bằng nhựa hoặc nhôm, gốm alumina mang lại độ ổn định về mặt hóa học và vật lý được cải thiện đáng kể với yêu cầu bảo trì tối thiểu.
| Tài sản | Cánh tay kim loại | Cánh tay nhựa | Cánh tay gốm Alumina |
|---|---|---|---|
| Độ cứng | Vừa phải | Thấp | Rất cao (Mohs 9) |
| Độ ổn định nhiệt | ≤ 500°C | ≤ 150°C | ≥ 1600°C |
| Kháng hóa chất | Vừa phải | Nghèo | Xuất sắc |
| Phù hợp với phòng sạch | Trung bình | Thấp | Rất cao |
| Khả năng chống mài mòn | Trung bình | Thấp | Nổi bật |
| Độ bền điện môi | Thấp | Trung bình | Cao |
| Độ chính xác gia công tùy chỉnh | Giới hạn | Vừa phải | Cao (có thể ±0,01mm) |
Thông số kỹ thuật
| Tham số | Giá trị |
|---|---|
| Vật liệu | Nhôm oxit có độ tinh khiết cao (≥ 99,5%) |
| Nhiệt độ làm việc | Lên đến 1600°C |
| Độ nhám bề mặt | Ra ≤ 0,2 µm (tùy chọn) |
| Kích thước wafer tương thích | 2" đến 12" hoặc tùy chỉnh |
| Độ phẳng dung sai | ±0,01 mm (tùy thuộc vào ứng dụng) |
| Hỗ trợ hút chân không | Các kênh tùy chọn, có thể tùy chỉnh |
| Tùy chọn lắp đặt | Bu lông xuyên qua, mặt bích, lỗ rãnh |
Những câu hỏi thường gặp (FAQ)
Câu hỏi 1: Bộ phận tác động cuối có thể được tích hợp vào các hệ thống robot hiện có không?
A1:Có. Chúng tôi hỗ trợ tùy chỉnh dựa trên giao diện robot của bạn. Bạn có thể gửi cho chúng tôi bản vẽ CAD hoặc kích thước mặt bích để điều chỉnh chính xác.
Câu 2: Tay gốm có dễ vỡ trong quá trình sử dụng không?
A2:Mặc dù gốm sứ có bản chất giòn, các thiết kế của chúng tôi sử dụng hình học tối ưu để giảm thiểu sự tập trung ứng suất. Trong điều kiện sử dụng thích hợp, chúng có tuổi thọ cao hơn đáng kể so với kim loại hoặc nhựa.
Câu hỏi 3: Có thể sử dụng sản phẩm này trong buồng chân không siêu cao hoặc buồng khắc plasma không?
A3:Có. Gốm alumina không thoát khí, ổn định nhiệt và chống ăn mòn—hoàn toàn phù hợp với môi trường chân không cao, khí phản ứng hoặc plasma.
Câu hỏi 4: Các thành phần này được vệ sinh hoặc bảo dưỡng như thế nào?
A4:Chúng có thể được làm sạch bằng nước DI, cồn hoặc chất tẩy rửa tương thích với phòng sạch. Không cần bảo dưỡng đặc biệt do tính ổn định hóa học và bề mặt trơ của chúng.
Giới thiệu về chúng tôi
XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh công nghệ cao các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp linh kiện quang học Sapphire, vỏ ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide SIC, thạch anh và wafer tinh thể bán dẫn. Với chuyên môn cao và thiết bị tiên tiến, chúng tôi vượt trội trong lĩnh vực gia công sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.
