Chất nền tổng hợp SiC loại N Dia6inch Chất nền đơn tinh thể chất lượng cao và chất lượng thấp
Chất nền tổng hợp SiC loại N Bảng tham số chung
项目Mặt hàng | 指标Đặc điểm kỹ thuật | 项目Mặt hàng | 指标Đặc điểm kỹ thuật |
直径Đường kính | 150±0,2mm | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Độ nhám mặt trước (Si-face) | Ra 0,2nm (5μm * 5μm) |
晶型đa hình | 4H | Chip cạnh, vết xước, vết nứt (kiểm tra trực quan) | Không có |
电阻率Điện trở suất | 0,015-0,025ohm · cm | 总厚度变化TTV | 3μm |
Độ dày lớp chuyển | ≥0,4μm | 翘曲度Làm cong vênh | 35μm |
空洞Vô hiệu | 5ea/bánh xốp (2mm>D>0,5mm) | 总厚度độ dày | 350±25μm |
Ký hiệu "loại N" dùng để chỉ loại pha tạp được sử dụng trong vật liệu SiC. Trong vật lý bán dẫn, doping liên quan đến việc cố ý đưa tạp chất vào chất bán dẫn để thay đổi tính chất điện của nó. Pha tạp loại N đưa vào các nguyên tố cung cấp lượng electron tự do dư thừa, làm cho vật liệu có nồng độ chất mang điện tích âm.
Ưu điểm của chất nền composite SiC loại N bao gồm:
1. Hiệu suất nhiệt độ cao: SiC có tính dẫn nhiệt cao và có thể hoạt động ở nhiệt độ cao, phù hợp với các ứng dụng điện tử công suất cao và tần số cao.
2. Điện áp đánh thủng cao: Vật liệu SiC có điện áp đánh thủng cao, giúp chúng chịu được điện trường cao mà không bị đánh thủng.
3. Kháng hóa chất và môi trường: SiC có khả năng kháng hóa chất và có thể chịu được các điều kiện môi trường khắc nghiệt, khiến nó phù hợp để sử dụng trong các ứng dụng đầy thách thức.
4. Giảm tổn thất điện năng: So với các vật liệu gốc silicon truyền thống, chất nền SiC cho phép chuyển đổi năng lượng hiệu quả hơn và giảm tổn thất điện năng trong các thiết bị điện tử.
5. Dải tần rộng: SiC có dải tần rộng, cho phép phát triển các thiết bị điện tử có thể hoạt động ở nhiệt độ cao hơn và mật độ năng lượng cao hơn.
Nhìn chung, chất nền tổng hợp SiC loại N mang lại những lợi thế đáng kể cho việc phát triển các thiết bị điện tử hiệu suất cao, đặc biệt là trong các ứng dụng yêu cầu hoạt động ở nhiệt độ cao, mật độ năng lượng cao và chuyển đổi năng lượng hiệu quả.