SiC loại N trên chất nền composite Si, đường kính 6 inch.

等Cấp

bạn

P

D

Mức độ BPD thấp

Cấp độ sản xuất

Điểm giả

直径Đường kính

150,0 mm ± 0,25 mm

厚度Độ dày

500 μm ± 25 μm

晶 hình ảnhĐịnh hướng tấm bán dẫn

Lệch trục: 4,0° về phía < 11-20 > ±0,5° đối với 4H-N Trên trục: <0001>±0,5° đối với 4H-SI

主定位边方向Căn hộ chính

{10-10}±5,0°

主定位边长度Chiều dài phẳng chính

47,5 mm ± 2,5 mm

边缘Loại trừ cạnh

3 mm

总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Cung /Warp

≤15μm /≤40μm /≤60μm

微管密度和基面位错MPD&BPD

MPD≤1 cm-2

MPD≤5 cm-2

MPD≤15 cm-2

BPD≤1000cm-2

电阻率Điện trở suất

≥1E5 Ω·cm

表面粗糙度Độ nhám

Độ nhám bề mặt Ra≤1 nm

CMP Ra≤0,5 nm

裂纹(强光灯观测) #

Không có

Tổng chiều dài ≤10mm, chiều dài từng đoạn ≤2mm

Các vết nứt do ánh sáng cường độ cao

六方空洞 (强光灯观测)*

Diện tích tích lũy ≤1%

Tổng diện tích tích lũy ≤5%

Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao

多型(强光灯观测)*

Không có

Diện tích tích lũy ≤ 5%

Các vùng đa dạng hình thái được chiếu sáng bằng ánh sáng cường độ cao.

划痕(强光灯观测)*&

3 vết xước trên 1 đường kính wafer

5 vết xước trên 1 đường kính wafer

Vết xước do ánh sáng cường độ cao

độ dài tích lũy

độ dài tích lũy

崩边# Chip cạnh

Không có

Cho phép 5 cái, mỗi cái ≤1 mm

表面污染物 (强光灯观测)

Không có

Sự nhiễm bẩn do ánh sáng cường độ cao