Tấm wafer SiC loại P 4H/6H-P 3C-N độ dày 6 inch 350 μm với Định hướng phẳng sơ cấp
Đặc điểm kỹ thuật Chất nền tổng hợp SiC loại 4H/6H-P Bảng tham số chung
6 Đường kính inch Chất nền Silicon Carbide (SiC) Đặc điểm kỹ thuật
| Cấp | Sản xuất MPD bằng khôngLớp (Z Cấp) | Sản xuất tiêu chuẩnLớp (P Cấp) | Lớp giả (D Cấp) | ||
| Đường kính | 145,5 mm ~ 150,0 mm | ||||
| độ dày | 350 mm ± 25 mm | ||||
| Định hướng wafer | -Offtrục: 2,0°-4,0° hướng tới [1120] ± 0,5° đối với 4H/6H-P, Trên trục:〈111〉± 0,5° đối với 3C-N | ||||
| Mật độ micropipe | 0 cm-2 | ||||
| Điện trở suất | loại p 4H/6H-P | .10.1 Ωꞏcm | .3 Ωꞏcm | ||
| loại n 3C-N | .80,8 mΩꞏcm | 1 m Ωꞏcm | |||
| Định hướng phẳng chính | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
| Chiều dài phẳng chính | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
| Chiều dài phẳng thứ cấp | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
| Định hướng phẳng thứ cấp | Mặt silicon hướng lên: 90° CW. từ mặt phẳng Prime ± 5,0° | ||||
| Loại trừ cạnh | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Cung/Warp | 2,5 μm/<5 μm/<15 μm/<30 μm | ≤10 μm/<15 μm/<25 μm/<40 μm | |||
| Độ nhám | Ba Lan Ra<1 nm | ||||
| CMP Ra<0,2nm | Ra 0,5nm | ||||
| Vết nứt cạnh bởi ánh sáng cường độ cao | Không có | Chiều dài tích lũy 10 mm, chiều dài đơn 2 mm | |||
| Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao | Diện tích tích lũy 0,05% | Diện tích tích lũy 0,1% | |||
| Vùng đa dạng bằng ánh sáng cường độ cao | Không có | Diện tích tích lũy<3% | |||
| Bao gồm carbon trực quan | Diện tích tích lũy 0,05% | Diện tích tích lũy 3% | |||
| Bề mặt silicon bị trầy xước bởi ánh sáng cường độ cao | Không có | Chiều dài tích lũy<1×đường kính wafer | |||
| Chip cạnh cao theo cường độ ánh sáng | Không được phép có chiều rộng và chiều sâu ≥0,2mm | Cho phép 5, mỗi cái 1 mm | |||
| Ô nhiễm bề mặt silicon ở cường độ cao | Không có | ||||
| Bao bì | Hộp đựng nhiều miếng wafer hoặc hộp đựng wafer đơn | ||||
Ghi chú:
※ Giới hạn khuyết tật áp dụng cho toàn bộ bề mặt wafer ngoại trừ khu vực loại trừ cạnh. # Cần kiểm tra lại các vết xước trên mặt Si o
Tấm wafer SiC loại P, 4H/6H-P 3C-N, với kích thước 6 inch và độ dày 350 μm, đóng một vai trò quan trọng trong sản xuất công nghiệp các thiết bị điện tử công suất hiệu suất cao. Độ dẫn nhiệt tuyệt vời và điện áp đánh thủng cao khiến nó trở nên lý tưởng để sản xuất các bộ phận như công tắc nguồn, điốt và bóng bán dẫn được sử dụng trong môi trường nhiệt độ cao như xe điện, lưới điện và hệ thống năng lượng tái tạo. Khả năng hoạt động hiệu quả của tấm bán dẫn trong điều kiện khắc nghiệt đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy trong các ứng dụng công nghiệp đòi hỏi mật độ năng lượng và hiệu quả năng lượng cao. Ngoài ra, định hướng phẳng chính của nó hỗ trợ căn chỉnh chính xác trong quá trình chế tạo thiết bị, nâng cao hiệu quả sản xuất và tính nhất quán của sản phẩm.
Ưu điểm của chất nền composite SiC loại N bao gồm
- Độ dẫn nhiệt cao: Tấm wafer SiC loại P tản nhiệt hiệu quả, khiến chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng nhiệt độ cao.
- Điện áp đánh thủng cao: Có khả năng chịu được điện áp cao, đảm bảo độ tin cậy trong các thiết bị điện tử công suất và điện áp cao.
- Chống lại môi trường khắc nghiệt: Độ bền tuyệt vời trong điều kiện khắc nghiệt, chẳng hạn như nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn.
- Chuyển đổi năng lượng hiệu quả: Chất pha tạp loại P tạo điều kiện xử lý năng lượng hiệu quả, làm cho tấm bán dẫn phù hợp với các hệ thống chuyển đổi năng lượng.
- Định hướng phẳng chính: Đảm bảo căn chỉnh chính xác trong quá trình sản xuất, cải thiện độ chính xác và tính nhất quán của thiết bị.
- Cấu trúc mỏng (350 μm): Độ dày tối ưu của tấm bán dẫn hỗ trợ tích hợp vào các thiết bị điện tử tiên tiến, có không gian hạn chế.
Nhìn chung, tấm wafer SiC loại P, 4H/6H-P 3C-N, có nhiều ưu điểm khiến nó rất phù hợp cho các ứng dụng công nghiệp và điện tử. Độ dẫn nhiệt cao và điện áp đánh thủng của nó cho phép hoạt động đáng tin cậy trong môi trường nhiệt độ cao và điện áp cao, đồng thời khả năng chống chịu các điều kiện khắc nghiệt đảm bảo độ bền. Chất pha tạp loại P cho phép chuyển đổi năng lượng hiệu quả, khiến nó trở nên lý tưởng cho các hệ thống năng lượng và điện tử công suất. Ngoài ra, hướng phẳng chính của tấm bán dẫn đảm bảo sự căn chỉnh chính xác trong quá trình sản xuất, nâng cao tính nhất quán trong sản xuất. Với độ dày 350 μm, nó rất phù hợp để tích hợp vào các thiết bị nhỏ gọn, tiên tiến.
Sơ đồ chi tiết
