Tấm cách điện PEEK là giải pháp cách điện tiên tiến được thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của môi trường sản xuất chất bán dẫn. Được chế tạo từ PEEK (Polyether Ether Ketone) có độ tinh khiết cực cao, linh kiện này cung cấp khả năng cách nhiệt, cách điện và kháng hóa chất vượt trội, lý tưởng để sử dụng trong buồng khắc plasma, bàn làm việc ướt, hệ thống xử lý wafer và các mô-đun quy trình quan trọng khác.