Hệ thống laser vi phun chính xác cho vật liệu cứng và giòn

Mô tả ngắn gọn:

Tổng quan:

Được thiết kế để gia công chính xác các vật liệu cứng và giòn có giá trị cao, hệ thống gia công laser tiên tiến này sử dụng công nghệ laser vi tia kết hợp với nguồn laser DPSS Nd:YAG, cho phép hoạt động ở hai bước sóng 532nm và 1064nm. Với công suất đầu ra có thể cấu hình là 50W, 100W và 200W, cùng độ chính xác định vị đáng kể ±5μm, hệ thống được tối ưu hóa cho các ứng dụng đã được ứng dụng rộng rãi như cắt lát, cắt hạt lựu và làm tròn cạnh các tấm silicon carbide. Hệ thống cũng hỗ trợ nhiều loại vật liệu thế hệ mới bao gồm gallium nitride, kim cương, gallium oxide, vật liệu composite hàng không vũ trụ, chất nền LTCC, tấm wafer quang điện và tinh thể phát quang.

Được trang bị cả tùy chọn động cơ tuyến tính và động cơ truyền động trực tiếp, hệ thống này đạt được sự cân bằng hoàn hảo giữa độ chính xác cao và tốc độ xử lý—lý tưởng cho cả các viện nghiên cứu và môi trường sản xuất công nghiệp.


Đặc trưng

Các tính năng chính

1. Nguồn laser Nd:YAG hai bước sóng
Sử dụng laser Nd:YAG trạng thái rắn được bơm bằng diode, hệ thống hỗ trợ cả bước sóng xanh lục (532nm) và hồng ngoại (1064nm). Khả năng hoạt động trên hai băng tần này cho phép tương thích vượt trội với nhiều loại vật liệu có cấu hình hấp thụ khác nhau, giúp cải thiện tốc độ và chất lượng xử lý.

2. Truyền dẫn laser Microjet tiên tiến
Bằng cách kết hợp laser với tia nước siêu nhỏ áp suất cao, hệ thống này khai thác hiện tượng phản xạ toàn phần bên trong để dẫn truyền năng lượng laser chính xác dọc theo dòng nước. Cơ chế truyền dẫn độc đáo này đảm bảo tiêu điểm cực mịn với độ tán xạ tối thiểu và tạo ra các đường cắt có độ rộng lên đến 20μm, mang lại chất lượng cắt vượt trội.

3. Kiểm soát nhiệt độ ở quy mô vi mô
Mô-đun làm mát bằng nước chính xác tích hợp điều chỉnh nhiệt độ tại điểm gia công, duy trì vùng ảnh hưởng nhiệt (HAZ) trong phạm vi 5μm. Tính năng này đặc biệt có giá trị khi làm việc với các vật liệu nhạy nhiệt và dễ nứt vỡ như SiC hoặc GaN.

4. Cấu hình nguồn điện dạng mô-đun
Nền tảng này hỗ trợ ba tùy chọn công suất laser—50W, 100W và 200W—cho phép khách hàng lựa chọn cấu hình phù hợp với yêu cầu về thông lượng và độ phân giải của họ.

5. Nền tảng điều khiển chuyển động chính xác
Hệ thống tích hợp bàn trượt có độ chính xác cao với khả năng định vị ±5μm, chuyển động 5 trục và tùy chọn động cơ tuyến tính hoặc truyền động trực tiếp. Điều này đảm bảo độ lặp lại và tính linh hoạt cao, ngay cả đối với các hình dạng phức tạp hoặc xử lý hàng loạt.

Các lĩnh vực ứng dụng

Quy trình gia công tấm wafer silicon carbide:

Lý tưởng cho việc cắt tỉa cạnh, cắt lát và chia nhỏ các tấm wafer SiC trong ngành điện tử công suất.

Gia công chất nền Gallium Nitride (GaN):

Hỗ trợ khắc và cắt chính xác cao, được thiết kế riêng cho các ứng dụng RF và LED.

Cấu trúc bán dẫn có dải năng lượng rộng:

Tương thích với kim cương, oxit gali và các vật liệu mới nổi khác cho các ứng dụng tần số cao, điện áp cao.

Cắt vật liệu composite trong ngành hàng không vũ trụ:

Cắt chính xác các vật liệu composite nền gốm và các chất nền cao cấp dùng trong ngành hàng không vũ trụ.

Vật liệu LTCC & Quang điện:

Được sử dụng để khoan lỗ siêu nhỏ, tạo rãnh và khắc trong sản xuất mạch in tần số cao và pin mặt trời.

Tạo hình tinh thể phát quang và chất phát quang:

Cho phép cắt gọt ít khuyết tật các loại tinh thể quang học chính xác như yttrium-nhôm garnet, LSO, BGO và các loại khác.

Thông số kỹ thuật

Thông số kỹ thuật

Giá trị

Loại Laser DPSS Nd:YAG
Các bước sóng được hỗ trợ 532nm / 1064nm
Tùy chọn nguồn điện 50W / 100W / 200W
Độ chính xác định vị ±5μm
Chiều rộng đường kẻ tối thiểu ≤20μm
Vùng ảnh hưởng nhiệt ≤5μm
Hệ thống chuyển động Động cơ tuyến tính / truyền động trực tiếp
Mật độ năng lượng tối đa Lên đến 10⁷ W/cm²

 

Phần kết luận

Hệ thống laser vi tia này định nghĩa lại giới hạn của gia công laser đối với các vật liệu cứng, giòn và nhạy nhiệt. Thông qua sự tích hợp laser-nước độc đáo, khả năng tương thích hai bước sóng và hệ thống chuyển động linh hoạt, nó cung cấp giải pháp phù hợp cho các nhà nghiên cứu, nhà sản xuất và nhà tích hợp hệ thống làm việc với các vật liệu tiên tiến. Cho dù được sử dụng trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn, phòng thí nghiệm hàng không vũ trụ hay sản xuất tấm pin mặt trời, nền tảng này mang lại độ tin cậy, khả năng lặp lại và độ chính xác, tạo điều kiện cho quá trình xử lý vật liệu thế hệ tiếp theo.

Sơ đồ chi tiết

0d663f94f23adb6b8f5054e31cc5c63
7d424d7a84affffb1cf8524556f8145
754331fa589294c8464dd6f9d3d5c2e

  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Hãy viết tin nhắn của bạn vào đây và gửi cho chúng tôi.