Chốt nâng Sapphire cao cấp Chốt nâng wafer đơn tinh thể Al₂O₃
Thông số kỹ thuật
| Thành phần hóa học | Al2O3 |
| Độ cứng | 9Mohs |
| Bản chất quang học | Đơn trục |
| Chiết suất | 1,762-1,770 |
| Lưỡng chiết | 0,008-0,010 |
| Phân tán | Thấp, 0,018 |
| Ánh sáng | Thủy tinh |
| Đa sắc | Trung bình đến Mạnh |
| Đường kính | 0,4mm-30mm |
| Dung sai đường kính | 0,004mm-0,05mm |
| chiều dài | 2mm-150mm |
| dung sai chiều dài | 0,03mm-0,25mm |
| Chất lượng bề mặt | 40/20 |
| Độ tròn bề mặt | RZ0,05 |
| Hình dạng tùy chỉnh | cả hai đầu phẳng, một đầu redius, cả hai đầu redius, chốt yên và hình dạng đặc biệt |
Các tính năng chính
1. Độ cứng và khả năng chống mài mòn đặc biệt: Với độ cứng Mohs là 9, chỉ đứng sau kim cương, Sapphire Lift Pins thể hiện các đặc tính chống mài mòn vượt trội hơn hẳn so với các loại silicon carbide, gốm alumina hoặc hợp kim kim loại truyền thống. Độ cứng cực cao này giúp giảm đáng kể lượng hạt phát sinh và yêu cầu bảo dưỡng, với tuổi thọ sử dụng thường dài hơn 3-5 lần so với các vật liệu thông thường trong các ứng dụng tương đương.
2. Khả năng chịu nhiệt độ cao vượt trội: Được thiết kế để chịu được hoạt động liên tục ở nhiệt độ vượt quá 1000°C mà không bị suy thoái, Sapphire Lift Pins duy trì độ ổn định về kích thước và độ bền cơ học trong các quy trình nhiệt đòi hỏi khắt khe nhất. Điều này làm cho chúng đặc biệt có giá trị đối với các ứng dụng quan trọng như lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng hơi hóa học kim loại-hữu cơ (MOCVD) và các hệ thống ủ nhiệt độ cao, trong đó sự không khớp giãn nở nhiệt có thể làm giảm năng suất quy trình.
3. Tính trơ về mặt hóa học: Cấu trúc sapphire đơn tinh thể cho thấy khả năng chống chịu đáng kể với sự tấn công của axit HF, hóa chất gốc clo và các loại khí xử lý mạnh khác thường gặp trong quá trình chế tạo chất bán dẫn. Tính ổn định về mặt hóa học này đảm bảo hiệu suất nhất quán trong môi trường plasma và ngăn ngừa sự hình thành các khuyết tật bề mặt có thể dẫn đến nhiễm bẩn wafer.
4. Ô nhiễm hạt thấp: Được sản xuất từ tinh thể sapphire không có khuyết tật, độ tinh khiết cao (thường >99,99%), các chốt nâng này cho thấy lượng hạt nhỏ nhất rơi ra ngay cả sau thời gian sử dụng kéo dài. Cấu trúc bề mặt không xốp và lớp hoàn thiện được đánh bóng của chúng đáp ứng các yêu cầu phòng sạch nghiêm ngặt nhất, trực tiếp góp phần cải thiện năng suất quy trình trong sản xuất bán dẫn nút tiên tiến.
Gia công chính xác cao: Sử dụng các kỹ thuật mài kim cương và xử lý laser tiên tiến, Sapphire Lift Pins có thể được sản xuất với dung sai dưới micron và độ hoàn thiện bề mặt dưới 0,05μm Ra. Các hình dạng tùy chỉnh bao gồm các cấu hình côn, cấu hình đầu đặc biệt và các tính năng căn chỉnh tích hợp có thể được thiết kế để giải quyết các thách thức cụ thể về xử lý wafer trong thiết bị chế tạo thế hệ tiếp theo.
Ứng dụng chính
1. Sản xuất bán dẫn: Chốt nâng Sapphire đóng vai trò quan trọng trong các hệ thống xử lý wafer tiên tiến, cung cấp hỗ trợ đáng tin cậy và định vị chính xác trong quá trình quang khắc, khắc, lắng đọng và kiểm tra. Độ ổn định nhiệt và hóa học của chúng làm cho chúng đặc biệt có giá trị trong các công cụ quang khắc EUV và các ứng dụng đóng gói tiên tiến, nơi độ ổn định kích thước ở quy mô nanomet là điều cần thiết.
2. LED Epitaxy (MOCVD): Trong gali nitride (GaN) và các hệ thống phát triển epitaxial bán dẫn hợp chất liên quan, Sapphire Lift Pins cung cấp hỗ trợ wafer ổn định ở nhiệt độ thường vượt quá 1000°C. Các đặc tính giãn nở nhiệt phù hợp của chúng với các chất nền sapphire giúp giảm thiểu sự cong vênh wafer và hình thành trượt trong quá trình phát triển epitaxial.
3. Ngành công nghiệp quang điện: Sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao được hưởng lợi từ các đặc tính độc đáo của sapphire trong quá trình khuếch tán nhiệt độ cao, thiêu kết và lắng đọng màng mỏng. Khả năng chống mài mòn của chốt đặc biệt có giá trị trong môi trường sản xuất hàng loạt, nơi tuổi thọ của linh kiện ảnh hưởng trực tiếp đến chi phí sản xuất.
4. Xử lý quang học và điện tử chính xác: Ngoài các ứng dụng bán dẫn, Sapphire Lift Pins còn được sử dụng để xử lý các thành phần quang học tinh vi, thiết bị MEMS và các chất nền đặc biệt, nơi mà việc xử lý không nhiễm bẩn và chống trầy xước là rất quan trọng. Các đặc tính cách điện của chúng làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các ứng dụng liên quan đến các thiết bị nhạy cảm với tĩnh điện.
Dịch vụ của XKH về chốt nâng sapphire
XKH cung cấp hỗ trợ kỹ thuật toàn diện và các giải pháp tùy chỉnh cho Sapphire Lift Pins:
1. Dịch vụ phát triển tùy chỉnh
· Hỗ trợ tùy chỉnh kích thước, hình học và xử lý bề mặt
· Đề xuất lựa chọn vật liệu và tối ưu hóa thông số kỹ thuật
· Thiết kế sản phẩm cộng tác và xác minh mô phỏng
2. Khả năng sản xuất chính xác
· Gia công có độ chính xác cao với dung sai được kiểm soát trong phạm vi ±1μm
· Xử lý đặc biệt bao gồm đánh bóng gương và vát cạnh
· Các giải pháp cải tiến bề mặt tùy chọn như lớp phủ chống dính
3. Hệ thống đảm bảo chất lượng
· Thực hiện nghiêm ngặt việc kiểm tra vật liệu đầu vào và kiểm soát quy trình
· Kiểm tra quang học toàn chiều và phân tích hình thái bề mặt
· Cung cấp báo cáo thử nghiệm hiệu suất sản phẩm
4. Dịch vụ chuỗi cung ứng
· Giao hàng nhanh chóng các sản phẩm tiêu chuẩn
· Quản lý hàng tồn kho chuyên dụng cho các tài khoản chính
5. Hỗ trợ kỹ thuật
· Tư vấn giải pháp ứng dụng
· Phản hồi nhanh chóng sau bán hàng
Chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm Chốt nâng Sapphire chất lượng cao và dịch vụ kỹ thuật chuyên nghiệp để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn, LED và các ngành công nghiệp tiên tiến khác.
