Thiết bị tùy chỉnh thuyền pha lê thạch anh chịu được nhiệt độ cao và chống mài mòn
Tàu thủy tinh thể thạch anh được thiết kế để chứa và vận chuyển các tấm wafer silicon trong môi trường nhiệt độ cao, chẳng hạn như trong các lò nung dùng cho các quá trình như oxy hóa, khuếch tán và ủ. Việc sử dụng thạch anh đảm bảo tàu có thể chịu được nhiệt độ khắc nghiệt và môi trường hóa học khắc nghiệt trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn này.
Thiết kế của thuyền thạch anh cho phép nạp và tháo dỡ hiệu quả nhiều wafer, cho phép sản xuất năng suất cao tại các cơ sở sản xuất chất bán dẫn. Việc sử dụng thuyền thạch anh giúp đảm bảo tính toàn vẹn và chất lượng của wafer silicon trong các quá trình xử lý nhiệt và hóa học khác nhau, giúp cải thiện độ chính xác và độ tin cậy tổng thể của các thiết bị bán dẫn được sản xuất.
Thuyền wafer thạch anh là một dụng cụ chuyên dụng được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để xử lý wafer silicon. Nó thường được làm bằng thạch anh có độ tinh khiết cao, được lựa chọn vì các đặc tính nhiệt và hóa học tuyệt vời.
Thuyền wafer được thiết kế để vận chuyển và xử lý wafer silicon trong môi trường nhiệt độ cao, chẳng hạn như trong lò nung dùng cho các quá trình như oxy hóa, khuếch tán và ủ. Việc sử dụng thạch anh đảm bảo thuyền có thể chịu được nhiệt độ khắc nghiệt và môi trường hóa học khắc nghiệt trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn này.
Thiết kế của tàu cho phép nạp và dỡ nhiều wafer hiệu quả, mang lại năng suất cao trong các cơ sở sản xuất chất bán dẫn. Việc sử dụng wafer thạch anh giúp đảm bảo tính toàn vẹn và chất lượng của wafer silicon trong các quá trình xử lý nhiệt và hóa học khác nhau, do đó tăng độ chính xác và độ tin cậy của các thiết bị bán dẫn được sản xuất.
Sơ đồ chi tiết


