Thiết bị tùy chỉnh thuyền pha lê thạch anh chịu được nhiệt độ cao và chống mài mòn
Thuyền pha lê thạch anh được thiết kế để chứa và vận chuyển các tấm silicon trong môi trường nhiệt độ cao, chẳng hạn như trong lò nung dùng cho các quá trình như oxy hóa, khuếch tán và ủ. Việc sử dụng thạch anh đảm bảo rằng tàu có thể chịu được nhiệt độ khắc nghiệt và môi trường hóa học khắc nghiệt gặp phải trong các quá trình sản xuất chất bán dẫn này.
Thiết kế của thuyền thạch anh cho phép tải và dỡ hiệu quả nhiều tấm wafer, cho phép sản xuất thông lượng cao trong các cơ sở sản xuất chất bán dẫn. Việc sử dụng thuyền thạch anh giúp đảm bảo tính toàn vẹn và chất lượng của các tấm wafer silicon trong nhiều quá trình xử lý nhiệt và hóa học khác nhau, giúp cải thiện độ chính xác và độ tin cậy tổng thể của các thiết bị bán dẫn được sản xuất.
Thuyền wafer thạch anh là một công cụ chuyên dụng được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn để xử lý wafer silicon. Nó thường được làm bằng thạch anh có độ tinh khiết cao, được lựa chọn vì tính chất nhiệt và hóa học tuyệt vời của nó.
Thuyền wafer được thiết kế để vận chuyển và xử lý wafer silicon trong môi trường nhiệt độ cao, chẳng hạn như trong lò nung được sử dụng cho các quá trình như oxy hóa, khuếch tán và ủ. Việc sử dụng thạch anh đảm bảo rằng thuyền có thể chịu được nhiệt độ khắc nghiệt và môi trường hóa học khắc nghiệt gặp phải trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn này.
Thiết kế của thuyền cho phép tải và dỡ hiệu quả nhiều tấm wafer, dẫn đến sản xuất thông lượng cao trong các cơ sở sản xuất chất bán dẫn. Việc sử dụng tấm wafer thạch anh giúp đảm bảo tính toàn vẹn và chất lượng của tấm wafer silicon trong nhiều quá trình xử lý nhiệt và hóa học, do đó tăng độ chính xác và độ tin cậy của các thiết bị bán dẫn được sản xuất.
Sơ đồ chi tiết


