Tấm wafer thủy tinh thạch anh JGS1 JGS2 BF33, kích thước 8 inch, 12 inch, độ dày 725 ± 25 µm hoặc tùy chỉnh.
Thông số kỹ thuật
| Thông số kỹ thuật | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
| Đường kính | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
| Độ dày | 0,10mm | 0,30mm | 0,40mm | 0,50mm | 0,50mm |
| Căn hộ chính | 32,5mm | 47,5mm / 57,5mm / Vết khuyết | Vết khuyết | Vết khuyết | Vết khuyết |
| LTV (5mm x 5mm) | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um | < 0,5um |
| TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10um | <10um |
| Cây cung | ±20um | ±30um | ±40um | ±40um | ±40um |
| Biến dạng | ≤ 30um | ≤ 40um | ≤ 70um | ≤ 80um | ≤ 80um |
| Làm tròn cạnh | Tuân thủ tiêu chuẩn SEMI M1.2/tham khảo IEC62276 | ||||
| Loại bề mặt | Đánh bóng một mặt / Đánh bóng hai mặt | ||||
| Mặt được đánh bóng Ra | Ra≤1nm | ||||
| Tiêu chí mặt sau | Ra 0,2-0,7um hoặc tùy chỉnh | ||||
Bảng thông số tấm wafer thủy tinh thạch anh JGS1 JGS2 BF33
Ứng dụng
Các tấm wafer thủy tinh thạch anh được làm từ JGS1, JGS2 và BF33 được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp đòi hỏi độ chính xác cao. Những tấm wafer này lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn, bao gồm chất nền mặt nạ quang học và quang học cấp wafer. Chúng cũng phù hợp cho các linh kiện quang học, laser và cảm biến trong các ngành công nghiệp như viễn thông, hàng không vũ trụ và thiết bị y tế. Độ ổn định nhiệt cao và khả năng chịu sốc nhiệt giúp chúng hoàn hảo cho môi trường nhiệt độ khắc nghiệt, trong khi độ truyền dẫn vượt trội là rất quan trọng đối với quang học tia cực tím (UV) và tia hồng ngoại (IR).
Của cải
Các loại vật liệu:
JGS1: Có độ truyền tia cực tím cao, rất thích hợp cho các ứng dụng ánh sáng cực tím.
JGS2: Độ truyền dẫn cân bằng trên các dải tia cực tím, ánh sáng nhìn thấy và tia hồng ngoại, phù hợp cho các ứng dụng quang học thông thường.
BF33: Thủy tinh borosilicat có khả năng kháng hóa chất và chịu nhiệt cao. Các tùy chọn kích thước:
Có sẵn các kích thước tiêu chuẩn là 8 inch và 12 inch.
Có thể sản xuất theo kích thước tùy chỉnh dựa trên yêu cầu cụ thể. Độ dày:
Độ dày tiêu chuẩn là 725 ± 25 μm.
Có thể tùy chỉnh độ dày để đáp ứng các nhu cầu công nghiệp khác nhau.
Tính chất nhiệt:
Độ ổn định nhiệt tuyệt vời, thích hợp sử dụng trong môi trường nhiệt độ cao.
Khả năng chịu sốc nhiệt cao.
Khả năng kháng hóa chất:
Khả năng chống ăn mòn mạnh mẽ từ axit, kiềm và hầu hết các hóa chất, đặc biệt là ở BF33.
Tính chất quang học:
Các tấm wafer JGS1 và JGS2 có độ truyền quang cao trong dải tia cực tím (UV), ánh sáng nhìn thấy và tia hồng ngoại (IR).
Lý tưởng cho các linh kiện quang học chính xác, quang tử và ứng dụng laser.
Chất lượng bề mặt:
Độ phẳng và độ mịn bề mặt cao, đảm bảo độ chính xác trong sản xuất chất bán dẫn và thiết bị quang học.
Những đặc tính này làm cho các tấm wafer JGS1, JGS2 và BF33 trở nên đa năng và đáng tin cậy cho các ứng dụng hiệu năng cao trong nhiều ngành công nghiệp như quang học, điện tử và bán dẫn.
Tổng thể
Các tấm wafer thủy tinh thạch anh được làm từ JGS1, JGS2 và BF33 mang lại hiệu suất vượt trội trong nhiều ứng dụng đòi hỏi cao. Có sẵn các kích thước tiêu chuẩn 8 inch và 12 inch với độ dày 725 ± 25 μm, các tấm wafer này cũng có thể được tùy chỉnh để đáp ứng các yêu cầu cụ thể. JGS1 và JGS2 cung cấp độ truyền quang cao trong dải tia cực tím, ánh sáng nhìn thấy và tia hồng ngoại, trong khi BF33 có khả năng kháng hóa chất và ổn định nhiệt tuyệt vời. Với độ phẳng và độ mịn bề mặt cao, các tấm wafer này lý tưởng cho các ngành công nghiệp chính xác như bán dẫn, quang học và quang tử, đảm bảo độ tin cậy và độ bền trong môi trường khắc nghiệt và các ứng dụng quan trọng.
Sơ đồ chi tiết
