Thanh Sapphire Tube hình dạng đặc biệt chịu áp suất cao KY và EFG

Trong quá trình kéo ống sapphire từ khối nóng chảy với sự hỗ trợ của hạt giống, gradient nhiệt độ theo chiều dọc trong vùng giữa mặt trước đông đặc và vùng kéo, nơi nhiệt độ nằm trong khoảng từ 1850 đến 1900 độ C được duy trì không vượt quá 30 độ C/cm. Ống được phát triển như vậy được ủ ở nhiệt độ từ 1950 đến 2000 độ C bằng cách tăng nhiệt độ với tốc độ từ 30 đến 40 độ C/phút và giữ ống ở nhiệt độ đó trong khoảng thời gian từ 3 đến 4 giờ. Sau đó, ống được làm nguội xuống nhiệt độ phòng với tốc độ từ 30-40 độ C/phút.

Ứng dụng xử lý chất bán dẫn:

(HPD CVD, PECVD, Khắc khô, Khắc ướt)

Ống phun plasma

Vòi phun khí xử lý

Máy dò điểm cuối

Ống Excimer Corona