Ống Sapphire, que sapphire hình dạng đặc biệt, chịu áp suất cao, KY và EFG

Trong quá trình kéo ống sapphire từ trạng thái nóng chảy bằng cách sử dụng mầm, độ chênh lệch nhiệt độ theo chiều dọc trong vùng giữa mặt đông đặc và vùng kéo, nơi nhiệt độ nằm trong khoảng từ 1850 đến 1900 độ C, được duy trì không vượt quá 30 độ C/cm. Ống được tạo ra theo cách này được ủ ở nhiệt độ từ 1950 đến 2000 độ C bằng cách tăng nhiệt độ với tốc độ từ 30 đến 40 độ C/phút và giữ ống ở nhiệt độ đó trong khoảng thời gian từ 3 đến 4 giờ. Sau đó, ống được làm nguội xuống nhiệt độ phòng với tốc độ từ 30 đến 40 độ C/phút.

Ứng dụng trong công nghệ chế tạo bán dẫn:

(HPD CVD, PECVD, Khắc khô, Khắc ướt)

ống ứng dụng plasma

vòi phun khí xử lý

Bộ dò điểm cuối

Ống phóng điện corona excimer