Sic gốm khay gốm khay gốm cốc chính xác gia công chính xác
Đặc điểm vật chất:
1. Độ cứng cao: Độ cứng của Silicon cacbua là 9,2-9,5, chỉ đứng sau kim cương, với khả năng chống mài mòn mạnh.
2. Độ dẫn nhiệt cao: Độ dẫn nhiệt của cacbua silicon cao tới 120-200 W/m · K, có thể làm tan nhiệt nhanh chóng và phù hợp với môi trường nhiệt độ cao.
3. Hệ số giãn nở nhiệt thấp: Hệ số giãn nở nhiệt cacbua silicon thấp (4.0-4,5 × 10⁻⁶/k), vẫn có thể duy trì độ ổn định kích thước ở nhiệt độ cao.
4. Tính ổn định hóa học: Axit cacbide silicon và kháng ăn mòn kiềm, phù hợp để sử dụng trong môi trường ăn mòn hóa học.
5. Cao nguyên cơ học: cacbua silicon có cường độ uốn cao và cường độ nén, và có thể chịu được ứng suất cơ học lớn.
Đặc trưng:
1. Trong ngành công nghiệp bán dẫn, các tấm wafer cực kỳ mỏng cần được đặt trên cốc hút chân không, lực hút chân không được sử dụng để cố định các tấm wafer và quá trình tẩy lông, mỏng, tẩy lông, làm sạch và cắt được thực hiện trên các tấm wafer.
2.Silicon cacbua mút có độ dẫn nhiệt tốt, có thể rút ngắn hiệu quả thời gian tẩy lông và tẩy lông, cải thiện hiệu quả sản xuất.
3.Silicon cacbua hút chân không cũng có khả năng chống ăn mòn axit và kiềm tốt.
4. Được chuẩn bị với tấm vận chuyển Corundum truyền thống, rút ngắn thời gian làm nóng và làm mát tải và dỡ tải, cải thiện hiệu quả làm việc; Đồng thời, nó có thể giảm hao mòn giữa các tấm trên và dưới, duy trì độ chính xác của mặt phẳng tốt và kéo dài tuổi thọ dịch vụ khoảng 40%.
5. Tỷ lệ vật liệu nhỏ, trọng lượng nhẹ. Các nhà khai thác mang pallet dễ dàng hơn, giảm nguy cơ thiệt hại va chạm do khó khăn vận chuyển khoảng 20%.
6.Size: Đường kính tối đa 640mm; Độ phẳng: 3um hoặc ít hơn
Trường ứng dụng:
1. Sản xuất bán dẫn
● Xử lý wafer:
Để cố định wafer trong quang học, khắc, lắng đọng màng mỏng và các quá trình khác, đảm bảo độ chính xác cao và tính nhất quán của quá trình. Khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao của nó phù hợp với môi trường sản xuất chất bán dẫn khắc nghiệt.
● Tăng trưởng epiticular:
Trong sự tăng trưởng epiticular của SIC hoặc gan, như một chất mang để làm nóng và sửa các tấm wafer, đảm bảo tính đồng nhất nhiệt độ và chất lượng tinh thể ở nhiệt độ cao, cải thiện hiệu suất của thiết bị.
2. Thiết bị quang điện
● Sản xuất LED:
Được sử dụng để sửa chữa chất nền sapphire hoặc sic, và như một chất mang sưởi ấm trong quá trình MOCVD, để đảm bảo tính đồng nhất của tăng trưởng epiticular, cải thiện hiệu quả và chất lượng phát sáng LED.
● Diode laser:
Là một vật cố độ chính xác cao, cố định và làm nóng chất nền để đảm bảo sự ổn định nhiệt độ của quá trình, hãy cải thiện công suất đầu ra và độ tin cậy của diode laser.
3. Gia công chính xác
● Xử lý thành phần quang học:
Nó được sử dụng để sửa các thành phần chính xác như ống kính quang và bộ lọc để đảm bảo độ chính xác cao và ô nhiễm thấp trong quá trình xử lý, và phù hợp cho gia công cường độ cao.
● Xử lý gốm:
Là một vật cố ổn định cao, nó phù hợp cho việc gia công chính xác của vật liệu gốm để đảm bảo tính chính xác và tính nhất quán trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn.
4. Thí nghiệm khoa học
● Thí nghiệm nhiệt độ cao:
Là một thiết bị cố định mẫu trong môi trường nhiệt độ cao, nó hỗ trợ các thí nghiệm nhiệt độ khắc nghiệt trên 1600 ° C để đảm bảo tính đồng nhất nhiệt độ và độ ổn định mẫu.
● Kiểm tra chân không:
Là một chất khắc phục mẫu và chất mang sưởi ấm trong môi trường chân không, để đảm bảo độ chính xác và độ lặp lại của thí nghiệm, phù hợp để phủ chân không và xử lý nhiệt.
Thông số kỹ thuật ：
| (Tài sản vật chất) | (Đơn vị) | (ssic) | |
| (Nội dung sic) |
| (Wt)% | > 99 |
| (Kích thước hạt trung bình) |
| Micron | 4-10 |
| (Tỉ trọng) |
| kg/dm3 | > 3.14 |
| (Độ xốp rõ ràng) |
| VO1% | <0,5 |
| (Độ cứng của Vickers) | HV 0,5 | GPA | 28 |
| *(Sức mạnh uốn) | 20 CC | MPA | 450 |
| (Cường độ nén) | 20 CC | MPA | 3900 |
| (Mô đun đàn hồi) | 20 CC | GPA | 420 |
| (Độ bền gãy) |
| Mpa/m '% | 3.5 |
| (Độ dẫn nhiệt) | 20 ° ºC | W/(m*k) | 160 |
| (Điện trở suất) | 20 ° ºC | Ohm.cm | 106-108 |
|
| A (RT ** ... 80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| OºC | 1700 |
Với nhiều năm tích lũy kỹ thuật và kinh nghiệm trong ngành, XKH có thể điều chỉnh các thông số chính như kích thước, phương pháp sưởi ấm và thiết kế hấp phụ chân không của Chuck theo nhu cầu cụ thể của khách hàng, đảm bảo rằng sản phẩm này hoàn toàn thích nghi với quy trình của khách hàng. Các mucks gốm silicon silicon đã trở thành các thành phần không thể thiếu trong xử lý wafer, tăng trưởng epiticular và các quá trình chính khác do độ dẫn nhiệt tuyệt vời của chúng, độ ổn định nhiệt độ cao và độ ổn định hóa học. Đặc biệt là trong việc sản xuất các vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba như SiC và GaN, nhu cầu về mâm cặp gốm silicon cacbua tiếp tục phát triển. Trong tương lai, với sự phát triển nhanh chóng của 5G, xe điện, trí tuệ nhân tạo và các công nghệ khác, triển vọng ứng dụng của các mucks gốm silicon cacbua trong ngành công nghiệp bán dẫn sẽ rộng hơn.
Sơ đồ chi tiết
