Tấm gốm Sic
-
Tấm gốm cacbua silic (SiC)
-
Khay gốm SiC dùng làm giá đỡ wafer, có khả năng chịu nhiệt cao.
-
Khay gốm cacbua silic – Khay bền bỉ, hiệu suất cao dành cho các ứng dụng nhiệt và hóa chất.
-
Tấm/khay gốm SiC dùng cho giá đỡ wafer 4 inch 6 inch trong ICP.
-
Cánh tay thao tác bằng gốm SiC dùng để vận chuyển tấm wafer