Đầu kẹp gốm cacbua silic (kiểu càng/tay)

CáiĐầu cuối gốm cacbua silicSản phẩm được sản xuất thông qua quy trình chế tạo gốm chuyên biệt, đảm bảo độ tinh khiết cao, mật độ cao và độ tin cậy lâu dài. Trong suốt quá trình sản xuất, các biện pháp kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt đảm bảo mỗi sản phẩm đều đạt tiêu chuẩn chất lượng cao.Đầu cuối gốm cacbua silicĐáp ứng các yêu cầu khắt khe của hệ thống tự động hóa cấp bán dẫn.

1. Chuẩn bị vật liệu

Quá trình sản xuất bắt đầu bằng việc lựa chọn bột SiC có độ tinh khiết cao. Loại bột này quyết định độ bền cơ học và độ tinh khiết của sản phẩm.Đầu cuối gốm cacbua silicCác chất kết dính đặc biệt và phụ gia thiêu kết được pha trộn để đạt được sự sắp xếp hạt lý tưởng và thúc đẩy quá trình nung kết đồng đều.

2. Tạo hình và thực hiện

Thân màu xanh củaĐầu cuối gốm cacbua silicĐược tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh hoặc đúc phun gốm. Điều này đảm bảo cấu trúc cân bằng ứng suất với số lượng khuyết tật bên trong tối thiểu. Hình dạng dạng chĩa được định hình ở giai đoạn này để phù hợp với đường kính wafer và giao diện lắp ráp robot.

3. Thiêu kết ở nhiệt độ cao

Chi tiết được định hình sẽ được nung kết ở nhiệt độ trên 2000°C trong môi trường chân không hoặc khí trơ. Trong bước này,Đầu cuối gốm cacbua silicĐạt đến mật độ gần lý thuyết, mang lại độ cứng tuyệt vời, khả năng chống sốc nhiệt và độ ổn định hóa học. Giai đoạn này quyết định tính toàn vẹn cơ học của linh kiện.

4. Gia công chính xác CNC

Sau quá trình thiêu kết, mài bằng kim cương và gia công CNC nhiều trục sẽ tinh chỉnh hình dạng của sản phẩm.Đầu cuối gốm cacbua silicCác chi tiết quan trọng như bề mặt tiếp xúc của tấm bán dẫn, lỗ lắp đặt, rãnh định vị và khoảng cách giữa các càng đỡ được gia công với dung sai nhỏ đến ±0,01 mm.

5. Hoàn thiện và làm sạch bề mặt

Cuối cùng,Đầu cuối gốm cacbua silicSản phẩm trải qua quá trình đánh bóng siêu mịn và làm sạch bằng sóng siêu âm độ tinh khiết cao. Bước này giúp giảm độ nhám bề mặt và loại bỏ các hạt siêu nhỏ, đảm bảo khả năng tương thích với phòng sạch. Lớp phủ CVD-SiC hoặc lớp chống plasma tùy chọn có thể tăng cường độ bền hơn nữa.

Phương pháp sản xuất tỉ mỉ này đảm bảo rằng mọi sản phẩm đều được chế tạo hoàn hảo.Đầu cuối gốm cacbua silicHoạt động đáng tin cậy trong môi trường tự động hóa độ chính xác cao.