Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silic
Sơ đồ chi tiết
Giới thiệu về càng/tay nĩa bằng gốm Silicon Carbide.
CáiCần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicĐây là một linh kiện xử lý tiên tiến được phát triển cho các hệ thống tự động hóa độ chính xác cao, đặc biệt trong ngành công nghiệp bán dẫn và quang học. Linh kiện này có thiết kế hình chữ U đặc trưng được tối ưu hóa cho việc xử lý wafer, đảm bảo cả độ bền cơ học và độ chính xác về kích thước trong điều kiện môi trường khắc nghiệt. Được chế tạo từ gốm silicon carbide có độ tinh khiết cao,tay nĩa/cánh taySản phẩm mang lại độ cứng vượt trội, độ ổn định nhiệt và khả năng kháng hóa chất.
Khi các thiết bị bán dẫn phát triển theo hướng có kích thước nhỏ hơn và dung sai chặt chẽ hơn, nhu cầu về các linh kiện không bị nhiễm bẩn và ổn định nhiệt trở nên vô cùng quan trọng.Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicSản phẩm này đáp ứng thách thức đó bằng cách cung cấp khả năng tạo ra ít hạt bụi, bề mặt siêu mịn và độ bền cấu trúc cao. Cho dù trong vận chuyển wafer, định vị chất nền hay đầu công cụ robot, linh kiện này đều được thiết kế để đảm bảo độ tin cậy và tuổi thọ cao.
Những lý do chính để lựa chọn điều nàyCần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicbao gồm:
-
Độ giãn nở nhiệt tối thiểu đảm bảo độ chính xác về kích thước.
-
Độ cứng cao cho tuổi thọ sử dụng lâu dài
-
Khả năng chống lại axit, kiềm và khí phản ứng.
-
Tương thích với môi trường phòng sạch ISO Class 1
Nguyên lý sản xuất càng/tay nĩa bằng gốm cacbua silic
CáiCần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicSản phẩm được sản xuất thông qua quy trình chế biến gốm sứ được kiểm soát chặt chẽ, nhằm đảm bảo các đặc tính vật liệu vượt trội và tính nhất quán về kích thước.
1. Chuẩn bị bột
Quá trình bắt đầu bằng việc lựa chọn bột silicon carbide siêu mịn. Các loại bột này được trộn với chất kết dính và chất trợ thiêu kết để tạo điều kiện thuận lợi cho quá trình nén chặt và làm đặc. Vì vậy,tay nĩa/cánh tayBột β-SiC hoặc α-SiC được sử dụng để đảm bảo cả độ cứng và độ dẻo dai.
2. Tạo hình và thực hiện
Tùy thuộc vào độ phức tạp củatay nĩa/cánh tayVề thiết kế, chi tiết được tạo hình bằng phương pháp ép đẳng tĩnh, ép phun hoặc đúc khuôn trượt. Điều này cho phép tạo ra các hình dạng phức tạp và cấu trúc thành mỏng, rất quan trọng đối với đặc tính nhẹ của sản phẩm.Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silic.
3. Thiêu kết ở nhiệt độ cao
Quá trình thiêu kết được thực hiện ở nhiệt độ trên 2000°C trong môi trường chân không hoặc khí argon. Giai đoạn này biến đổi phôi thô thành một cấu kiện gốm được nung kết hoàn toàn.tay nĩa/cánh tayĐạt được mật độ gần như lý thuyết, mang lại các đặc tính cơ học và nhiệt học vượt trội.
4. Gia công chính xác
Sau quá trình thiêu kết,Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicSản phẩm trải qua quá trình mài kim cương và gia công CNC. Điều này đảm bảo độ phẳng trong phạm vi ±0,01 mm và cho phép tích hợp các lỗ lắp đặt và các chi tiết định vị quan trọng cho việc lắp đặt trong các hệ thống tự động.
5. Hoàn thiện bề mặt
Đánh bóng làm giảm độ nhám bề mặt (Ra < 0,02 μm), điều cần thiết để giảm sự hình thành các hạt bụi. Có thể áp dụng thêm lớp phủ CVD để cải thiện khả năng chống plasma hoặc bổ sung các chức năng như chống tĩnh điện.
Trong suốt quá trình này, các quy trình kiểm soát chất lượng được áp dụng để đảm bảo chất lượng.Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicHoạt động đáng tin cậy ngay cả trong những ứng dụng nhạy cảm nhất.
Thông số kỹ thuật của càng/tay nĩa gốm cacbua silic
| Các thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC | ||
| Tính chất SiC-CVD | ||
| Cấu trúc tinh thể | Pha β của FCC | |
| Tỉ trọng | g/cm³ | 3.21 |
| Độ cứng | Độ cứng Vickers | 2500 |
| Kích thước hạt | μm | 2~10 |
| Độ tinh khiết hóa học | % | 99.99995 |
| Dung lượng nhiệt | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Nhiệt độ thăng hoa | ℃ | 2700 |
| Sức mạnh uốn cong | MPa (RT 4 điểm) | 415 |
| Mô đun Young | Gpa (uốn cong 4 điểm, 1300℃) | 430 |
| Hệ số giãn nở nhiệt (CTE) | 10-6K-1 | 4,5 |
| Độ dẫn nhiệt | (W/mK) | 300 |
Ứng dụng của càng/tay nĩa bằng gốm cacbua silic
CáiCần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicĐược sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp nơi độ tinh khiết cao, tính ổn định và độ chính xác cơ học là điều thiết yếu. Những ngành này bao gồm:
1. Sản xuất chất bán dẫn
Trong sản xuất chất bán dẫn,Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicNó được sử dụng để vận chuyển các tấm silicon trong các thiết bị xử lý như buồng khắc, hệ thống lắng đọng và thiết bị kiểm tra. Khả năng chịu nhiệt và độ chính xác về kích thước của nó làm cho nó trở nên lý tưởng để giảm thiểu sự sai lệch và ô nhiễm tấm silicon.
2. Sản xuất tấm màn hình
Trong sản xuất màn hình OLED và LCD,tay nĩa/cánh tayNó được ứng dụng trong các hệ thống gắp và đặt, nơi nó xử lý các chất nền thủy tinh dễ vỡ. Khối lượng nhẹ và độ cứng cao cho phép chuyển động nhanh và ổn định mà không bị rung hoặc biến dạng.
3. Hệ thống quang học và quang tử
Để căn chỉnh và định vị thấu kính, gương hoặc chip quang tử,Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicCung cấp khả năng hỗ trợ không rung động, điều cực kỳ quan trọng trong các ứng dụng xử lý laser và đo lường chính xác.
4. Hệ thống Hàng không Vũ trụ & Chân không
Trong các hệ thống quang học hàng không vũ trụ và các thiết bị chân không, cấu trúc không nhiễm từ và chống ăn mòn của linh kiện này đảm bảo độ ổn định lâu dài.tay nĩa/cánh tayNó cũng có thể hoạt động trong môi trường chân không cực cao (UHV) mà không bị thoát khí.
Trong tất cả các lĩnh vực này,Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicVượt trội hơn các vật liệu thay thế bằng kim loại hoặc polyme truyền thống về độ tin cậy, độ sạch và tuổi thọ.
Câu hỏi thường gặp về càng/tay nĩa gốm Silicon Carbide
Câu 1: Bộ kẹp/tay gắp gốm cacbua silic hỗ trợ các kích thước wafer nào?
Cáitay nĩa/cánh tayCó thể tùy chỉnh để hỗ trợ các tấm wafer 150 mm, 200 mm và 300 mm. Khoảng cách giữa các càng kẹp, chiều rộng tay kẹp và kiểu bố trí lỗ có thể được điều chỉnh để phù hợp với nền tảng tự động hóa cụ thể của bạn.
Câu 2: Tay/càng nâng bằng gốm cacbua silic có tương thích với hệ thống hút chân không không?
Vâng. Cáitay nĩa/cánh taySản phẩm này phù hợp cho cả hệ thống chân không thấp và chân không cực cao. Nó có tỷ lệ thoát khí thấp và không thải ra các hạt bụi, lý tưởng cho môi trường phòng sạch và chân không.
Câu 3: Tôi có thể phủ lớp bảo vệ hoặc thực hiện các thay đổi bề mặt cho càng phuộc/tay phuộc không?
Chắc chắn rồi. CáiCần/tay nĩa bằng gốm cacbua siliccó thể được phủ các lớp CVD-SiC, carbon hoặc oxit để tăng cường khả năng chống plasma, tính chất chống tĩnh điện hoặc độ cứng bề mặt.
Câu 4: Chất lượng của càng nâng/tay cầm được kiểm định như thế nào?
MỗiCần/tay nĩa bằng gốm cacbua silicSản phẩm được kiểm tra kích thước bằng máy đo tọa độ (CMM) và các công cụ đo lường bằng laser. Chất lượng bề mặt được đánh giá thông qua kính hiển vi điện tử quét (SEM) và phép đo độ nhám bề mặt không tiếp xúc để đáp ứng các tiêu chuẩn ISO và SEMI.
Câu 5: Thời gian giao hàng cho các đơn đặt hàng càng phuộc/tay phuộc tùy chỉnh là bao lâu?
Thời gian sản xuất thường dao động từ 3 đến 5 tuần tùy thuộc vào độ phức tạp và số lượng. Dịch vụ tạo mẫu nhanh có sẵn cho các yêu cầu khẩn cấp.
Những câu hỏi thường gặp này nhằm giúp các kỹ sư và nhóm mua sắm hiểu rõ các khả năng và tùy chọn có sẵn khi lựa chọn một sản phẩm/dịch vụ.Cần/tay nĩa bằng gốm cacbua silic.
Về chúng tôi
XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới với công nghệ cao. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho ngành điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp các linh kiện quang học Sapphire, nắp ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide (SIC), thạch anh và tấm bán dẫn tinh thể. Với chuyên môn cao và thiết bị hiện đại, chúng tôi vượt trội trong gia công các sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.
