Silicon cacbua gốm khay hút silicon cacbua cung cấp ống gốm silicon cacbua quy trình xử lý tùy chỉnh nhiệt độ cao
Các tính năng chính:
1. Khay gốm silicon cacbua
- Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn: Độ cứng gần với kim cương, và có thể chịu được hao mòn cơ học trong quá trình xử lý wafer trong một thời gian dài.
- Độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp: Tỷ lệ nhiệt nhanh và ổn định kích thước, tránh biến dạng do ứng suất nhiệt.
- Độ phẳng cao và hoàn thiện bề mặt: Độ phẳng bề mặt phù hợp với mức Micron, đảm bảo tiếp xúc đầy đủ giữa wafer và đĩa, giảm ô nhiễm và thiệt hại.
Tính ổn định hóa học: Kháng ăn mòn mạnh, phù hợp để làm sạch ướt và khắc quá trình trong sản xuất chất bán dẫn.
2. Ống gốm silicon cacbua
- Điện trở nhiệt độ cao: Nó có thể hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao trên 1600 ° C trong một thời gian dài, phù hợp cho quá trình nhiệt độ cao bán dẫn.
Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: kháng axit, kiềm và một loạt các dung môi hóa học, phù hợp cho môi trường xử lý khắc nghiệt.
- Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn: Chống xói mòn hạt và hao mòn cơ học, kéo dài tuổi thọ dịch vụ.
- Độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp: dẫn nhanh sự ổn định của nhiệt và kích thước, giảm biến dạng hoặc nứt do ứng suất nhiệt.
Tham số sản phẩm ：
Tham số khay gốm silicon cacbua:
| (Tài sản vật chất) | (Đơn vị) | (ssic) | |
| (Nội dung sic) | (Wt)% | > 99 | |
| (Kích thước hạt trung bình) | Micron | 4-10 | |
| (Tỉ trọng) | kg/dm3 | > 3.14 | |
| (Độ xốp rõ ràng) | VO1% | <0,5 | |
| (Độ cứng của Vickers) | HV 0,5 | GPA | 28 |
| *() Sức mạnh uốn* (ba điểm) | 20 CC | MPA | 450 |
| (Cường độ nén) | 20 CC | MPA | 3900 |
| (Mô đun đàn hồi) | 20 CC | GPA | 420 |
| (Độ bền gãy) | Mpa/m '% | 3.5 | |
| (Độ dẫn nhiệt) | 20 ° ºC | W/(m*k) | 160 |
| (Điện trở suất) | 20 ° ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Hệ số giãn nở nhiệt) | A (RT ** ... 80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Nhiệt độ hoạt động tối đa) | OºC | 1700 | |
Tham số ống gốm silicon cacbua:
| Mặt hàng | Chỉ mục |
| α-sic | 99% phút |
| Độ xốp rõ ràng | Tối đa 16% |
| Mật độ số lượng lớn | 2,7g/cm3 phút |
| Sức mạnh uốn ở nhiệt độ cao | 100 MPa tối thiểu |
| Hệ số giãn nở nhiệt | K -1 4.7x10 -6 |
| Hệ số dẫn điện nhiệt (1400 CC) | 24 w/mk |
| Tối đa. Nhiệt độ làm việc | 1650 CC |
Ứng dụng chính:
1. Tấm gốm silicon cacbua
- Cắt và đánh bóng wafer: Phục vụ như một nền tảng ổ trục để đảm bảo độ chính xác và ổn định cao trong quá trình cắt và đánh bóng.
- Quá trình in thạch bản: Wafer được cố định trong máy in thạch bản để đảm bảo định vị độ chính xác cao trong quá trình tiếp xúc.
- Đánh bóng cơ học hóa học (CMP): Hoạt động như một nền tảng hỗ trợ để đánh bóng các miếng đệm, cung cấp áp suất đồng đều và phân phối nhiệt.
2. Ống gốm silicon cacbua
- Ống lò nhiệt độ cao: Được sử dụng cho các thiết bị nhiệt độ cao như lò khuếch tán và lò oxy hóa để mang theo tấm wafer để xử lý quá trình nhiệt độ cao.
- Quá trình CVD/PVD: Là một ống ổ trục trong buồng phản ứng, chống lại nhiệt độ cao và khí ăn mòn.
- Phụ kiện thiết bị bán dẫn: Đối với bộ trao đổi nhiệt, đường ống dẫn khí, v.v., để cải thiện hiệu quả quản lý nhiệt của thiết bị.
XKH cung cấp đầy đủ các dịch vụ tùy chỉnh cho các khay gốm silicon cacbua, cốc hút và ống gốm silicon cacbua. Các khay gốm silicon cacbua và cốc hút, XKH có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng với các kích cỡ, hình dạng và độ nhám bề mặt khác nhau, và hỗ trợ xử lý lớp phủ đặc biệt, tăng cường khả năng chống mài mòn và chống ăn mòn; Đối với các ống gốm silicon cacbua, XKH có thể tùy chỉnh nhiều đường kính trong, đường kính ngoài, chiều dài và cấu trúc phức tạp (như ống hình hoặc ống xốp), và cung cấp đánh bóng, lớp phủ chống oxy hóa và các quá trình xử lý bề mặt khác. XKH đảm bảo rằng khách hàng có thể tận dụng tối đa lợi ích hiệu suất của các sản phẩm gốm silicon cacbua để đáp ứng các yêu cầu đòi hỏi của các lĩnh vực sản xuất cao cấp như chất bán dẫn, đèn LED và quang điện.
Sơ đồ chi tiết
