Khay hút bằng gốm cacbua silic, ống gốm cacbua silic, cung cấp vật liệu thiêu kết ở nhiệt độ cao, gia công theo yêu cầu.
Các tính năng chính:
1. Khay gốm cacbua silic
- Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao: độ cứng gần bằng kim cương, có thể chịu được sự mài mòn cơ học trong quá trình gia công bán dẫn trong thời gian dài.
- Độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp: tản nhiệt nhanh và ổn định kích thước, tránh biến dạng do ứng suất nhiệt.
- Độ phẳng và độ hoàn thiện bề mặt cao: Độ phẳng bề mặt đạt đến mức micron, đảm bảo tiếp xúc hoàn toàn giữa tấm wafer và đĩa, giảm thiểu ô nhiễm và hư hỏng.
Độ ổn định hóa học: Khả năng chống ăn mòn cao, thích hợp cho các quy trình làm sạch ướt và khắc trong sản xuất chất bán dẫn.
2. Ống gốm cacbua silic
- Khả năng chịu nhiệt cao: Có thể hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao trên 1600°C trong thời gian dài, phù hợp cho các quy trình nhiệt độ cao trong ngành bán dẫn.
Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: chống lại axit, kiềm và nhiều loại dung môi hóa học, phù hợp với môi trường sản xuất khắc nghiệt.
- Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn: chống lại sự ăn mòn do các hạt và mài mòn cơ học, kéo dài tuổi thọ.
- Độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp: dẫn nhiệt nhanh và ổn định kích thước, giảm biến dạng hoặc nứt vỡ do ứng suất nhiệt.
Thông số sản phẩm:
Thông số khay gốm silicon carbide:
| (Tính chất vật liệu) | (Đơn vị) | (ssic) | |
| (Hàm lượng SiC) | (Wt)% | >99 | |
| (Kích thước hạt trung bình) | micromet | 4-10 | |
| (Tỉ trọng) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Độ xốp biểu kiến) | Vo1% | <0,5 | |
| (Độ cứng Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Sức mạnh uốn cong* (ba điểm) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Độ bền nén) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modun đàn hồi) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Độ bền chống gãy) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Độ dẫn nhiệt) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Điện trở suất) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Hệ số giãn nở nhiệt) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Nhiệt độ hoạt động tối đa) | oºC | 1700 | |
Thông số ống gốm cacbua silic:
| Mặt hàng | Mục lục |
| α-SIC | Tối thiểu 99% |
| Độ xốp biểu kiến | Tối đa 16% |
| Khối lượng riêng | 2,7g/cm3 phút |
| Độ bền uốn ở nhiệt độ cao | Tối thiểu 100 MPa |
| Hệ số giãn nở nhiệt | K-1 4,7x10 -6 |
| Hệ số dẫn nhiệt (1400ºC) | 24 W/mk |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | 1650ºC |
Ứng dụng chính:
1. Tấm gốm cacbua silic
- Cắt và đánh bóng tấm bán dẫn: đóng vai trò như một bệ đỡ để đảm bảo độ chính xác và ổn định cao trong quá trình cắt và đánh bóng.
- Quy trình quang khắc: Tấm bán dẫn được cố định trong máy quang khắc để đảm bảo định vị chính xác cao trong quá trình chiếu sáng.
- Đánh bóng cơ học hóa học (CMP): đóng vai trò như một bệ đỡ cho các miếng đánh bóng, cung cấp áp suất và phân bố nhiệt đồng đều.
2. Ống gốm cacbua silic
- Ống lò nung nhiệt độ cao: được sử dụng cho các thiết bị nhiệt độ cao như lò khuếch tán và lò oxy hóa để vận chuyển các tấm bán dẫn cho quá trình xử lý ở nhiệt độ cao.
- Quy trình CVD/PVD: Được sử dụng làm ống đỡ trong buồng phản ứng, chịu được nhiệt độ cao và khí ăn mòn.
- Phụ kiện thiết bị bán dẫn: dùng cho bộ trao đổi nhiệt, đường ống dẫn khí, v.v., để nâng cao hiệu quả quản lý nhiệt của thiết bị.
XKH cung cấp đầy đủ các dịch vụ tùy chỉnh cho khay gốm silicon carbide, cốc hút và ống gốm silicon carbide. Đối với khay và cốc hút gốm silicon carbide, XKH có thể tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng về kích thước, hình dạng và độ nhám bề mặt khác nhau, đồng thời hỗ trợ xử lý lớp phủ đặc biệt, tăng cường khả năng chống mài mòn và chống ăn mòn; Đối với ống gốm silicon carbide, XKH có thể tùy chỉnh nhiều đường kính trong, đường kính ngoài, chiều dài và cấu trúc phức tạp (như ống định hình hoặc ống xốp), và cung cấp các quy trình đánh bóng, phủ chống oxy hóa và các quy trình xử lý bề mặt khác. XKH đảm bảo khách hàng có thể tận dụng tối đa lợi ích về hiệu suất của các sản phẩm gốm silicon carbide để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của các lĩnh vực sản xuất cao cấp như chất bán dẫn, đèn LED và quang điện.
Sơ đồ chi tiết
