Ống hút gốm silicon carbide cung cấp dịch vụ thiêu kết nhiệt độ cao theo yêu cầu
Các tính năng chính:
1. Khay gốm silicon carbide
- Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao: độ cứng gần bằng kim cương, có thể chịu được sự mài mòn cơ học trong quá trình gia công wafer trong thời gian dài.
- Độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp: tản nhiệt nhanh và ổn định kích thước, tránh biến dạng do ứng suất nhiệt.
- Độ phẳng và độ hoàn thiện bề mặt cao: Độ phẳng bề mặt lên đến cấp độ micron, đảm bảo tiếp xúc hoàn toàn giữa wafer và đĩa, giảm thiểu ô nhiễm và hư hỏng.
Tính ổn định hóa học: Khả năng chống ăn mòn mạnh, thích hợp cho quá trình làm sạch ướt và khắc trong sản xuất chất bán dẫn.
2. Ống gốm silicon carbide
- Khả năng chịu nhiệt độ cao: Có thể hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao trên 1600°C trong thời gian dài, thích hợp cho quy trình bán dẫn nhiệt độ cao.
Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: chống lại axit, kiềm và nhiều loại dung môi hóa học, phù hợp với môi trường xử lý khắc nghiệt.
- Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao: chống lại sự xói mòn của hạt và mài mòn cơ học, kéo dài tuổi thọ.
- Độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp: dẫn nhiệt nhanh và ổn định kích thước, giảm biến dạng hoặc nứt do ứng suất nhiệt.
Thông số sản phẩm:
Thông số khay gốm silicon carbide:
| (Tính chất vật chất) | (Đơn vị) | (ssic) | |
| (Hàm lượng SiC) | (Trọng lượng)% | >99 | |
| (Kích thước hạt trung bình) | micron | 4-10 | |
| (Tỉ trọng) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Độ xốp biểu kiến) | Vo1% | <0,5 | |
| (Độ cứng Vickers) | Cao độ 0,5 | GPa | 28 |
| *() Độ bền uốn* (ba điểm) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Cường độ nén) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Mô đun đàn hồi) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Độ bền gãy) | MPa/m'% | 3,5 | |
| (Độ dẫn nhiệt) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Điện trở suất) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Hệ số giãn nở nhiệt) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Nhiệt độ hoạt động tối đa) | 0ºC | 1700 | |
Thông số ống gốm silicon carbide:
| Mặt hàng | Mục lục |
| α-SIC | 99% phút |
| Độ xốp biểu kiến | tối đa 16% |
| Mật độ khối | 2,7g/cm3 phút |
| Độ bền uốn ở nhiệt độ cao | 100 Mpa phút |
| Hệ số giãn nở nhiệt | K-1 4.7x10 -6 |
| Hệ số dẫn nhiệt (1400ºC) | 24 W/mk |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | 1650ºC |
Ứng dụng chính:
1. Tấm gốm silicon carbide
- Cắt và đánh bóng wafer: đóng vai trò là bệ đỡ để đảm bảo độ chính xác và ổn định cao trong quá trình cắt và đánh bóng.
- Quy trình in thạch bản: Tấm wafer được cố định trong máy in thạch bản để đảm bảo định vị có độ chính xác cao trong quá trình phơi sáng.
- Đánh bóng cơ học hóa học (CMP): đóng vai trò là nền tảng hỗ trợ cho miếng đánh bóng, cung cấp áp suất và phân phối nhiệt đồng đều.
2. Ống gốm silicon carbide
- Ống lò nhiệt độ cao: dùng cho các thiết bị nhiệt độ cao như lò khuếch tán, lò oxy hóa để vận chuyển wafer phục vụ quá trình xử lý nhiệt độ cao.
- Công nghệ CVD/PVD: Làm ống chịu lực trong buồng phản ứng, chịu được nhiệt độ cao và khí ăn mòn.
- Phụ kiện thiết bị bán dẫn: dùng cho bộ trao đổi nhiệt, đường ống dẫn khí… nhằm nâng cao hiệu quả quản lý nhiệt của thiết bị.
XKH cung cấp đầy đủ các dịch vụ tùy chỉnh cho khay gốm silicon carbide, giác hút và ống gốm silicon carbide. Khay gốm silicon carbide và giác hút có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng về kích thước, hình dạng và độ nhám bề mặt khác nhau, đồng thời hỗ trợ xử lý lớp phủ đặc biệt, tăng cường khả năng chống mài mòn và chống ăn mòn. Đối với ống gốm silicon carbide, XKH có thể tùy chỉnh nhiều loại đường kính trong, đường kính ngoài, chiều dài và cấu trúc phức tạp (như ống định hình hoặc ống xốp), đồng thời cung cấp các quy trình đánh bóng, phủ chống oxy hóa và xử lý bề mặt khác. XKH đảm bảo khách hàng có thể tận dụng tối đa lợi ích hiệu suất của các sản phẩm gốm silicon carbide để đáp ứng các yêu cầu khắt khe của các lĩnh vực sản xuất cao cấp như bán dẫn, đèn LED và quang điện.
Sơ đồ chi tiết
