Tấm gốm cacbua silic (SiC)
Sơ đồ chi tiết
Tổng quan sản phẩm
Tấm gốm cacbua silic (SiC) là các thành phần gốm tiên tiến có độ bền cao, độ tinh khiết cao, được thiết kế cho các môi trường đòi hỏi độ ổn định nhiệt, độ bền cơ học và khả năng kháng hóa chất vượt trội. Với độ cứng tuyệt vời, mật độ thấp và độ dẫn nhiệt cao, tấm SiC được sử dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, lò nung nhiệt độ cao, máy móc chính xác và môi trường công nghiệp ăn mòn.
Các tấm này duy trì được độ bền cấu trúc trong điều kiện khắc nghiệt, trở thành giải pháp vật liệu lý tưởng cho các thiết bị hiệu suất cao thế hệ tiếp theo.
Các tính năng và đặc điểm chính
-
Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn– Có độ bền tương đương kim cương, đảm bảo tuổi thọ sử dụng lâu dài.
-
Độ giãn nở nhiệt thấp– Giảm thiểu biến dạng khi gia nhiệt hoặc làm nguội nhanh.
-
Độ dẫn nhiệt cao– Tản nhiệt hiệu quả cho hệ thống điều khiển nhiệt.
-
Độ ổn định hóa học vượt trội– Chống chịu được axit, kiềm và môi trường plasma.
-
Nhẹ nhưng cực kỳ chắc chắn– Tỷ lệ độ bền trên trọng lượng cao hơn so với kim loại.
-
Hiệu suất tuyệt vời ở nhiệt độ cao– Nhiệt độ làm việc lên đến 1600°C (tùy thuộc vào loại).
-
Độ cứng cơ học cao– Lý tưởng cho việc hỗ trợ chính xác và ổn định cấu trúc.
Phương pháp sản xuất
Các tấm gốm SiC thường được sản xuất thông qua một trong các quy trình sau:
• Cacbua silic liên kết phản ứng (RBSC / RBSiC)
-
Được hình thành bằng cách cho silicon nóng chảy thấm vào khuôn SiC xốp.
-
Đặc điểm nổi bật: độ bền cao, khả năng gia công tốt và độ ổn định kích thước.
-
Thích hợp cho các loại đĩa lớn yêu cầu độ phẳng chính xác cao.
• Cacbua silic thiêu kết (SSiC)
-
Được sản xuất bằng phương pháp thiêu kết không áp suất bột SiC có độ tinh khiết cao.
-
Sản phẩm có độ tinh khiết, độ bền và khả năng chống ăn mòn vượt trội.
-
Lý tưởng cho các ứng dụng bán dẫn và hóa chất đòi hỏi điều kiện siêu sạch.
• Cacbua silic CVD (CVD-SiC)
-
Quá trình lắng đọng hơi hóa học
-
Độ tinh khiết cao nhất, cực kỳ đặc và bề mặt siêu mịn.
-
Thường gặp trong các bộ phận của giá đỡ tấm bán dẫn, giá đỡ phôi và buồng chân không.
Ứng dụng
Tấm gốm SiC được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp:
Bán dẫn & Điện tử
-
Tấm đỡ wafer
-
Vật chủ
-
Các thành phần của lò khuếch tán
-
Các bộ phận của buồng khắc và lắng đọng
Các thành phần của lò nung nhiệt độ cao
-
Tấm đỡ
-
Đồ nội thất lò nung
-
Cách nhiệt và bảo vệ hệ thống sưởi
Thiết bị công nghiệp
-
Tấm chống mài mòn cơ khí
-
Miếng đệm trượt
-
Các bộ phận của bơm và van
-
Tấm chống ăn mòn hóa học
Hàng không vũ trụ và quốc phòng
-
Tấm kết cấu trọng lượng nhẹ, độ bền cao
-
Các thành phần che chắn nhiệt độ cao
Thông số kỹ thuật và tùy chỉnh
Các tấm gốm SiC có thể được sản xuất theo bản vẽ tùy chỉnh:
• Kích thước:
Độ dày: 0,5–30 mm
Chiều dài cạnh tối đa: lên đến 600 mm (có thể thay đổi tùy theo quy trình)
• Sức chịu đựng:
Sai số ±0,01–0,05 mm tùy thuộc vào cấp độ gia công.
• Độ hoàn thiện bề mặt:
-
Mặt đất / chồng lên nhau
-
Được đánh bóng (Ra < 5 nm đối với CVD-SiC)
-
Bề mặt sau khi thiêu kết
• Phân loại vật liệu:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC
• Các tùy chọn hình dạng:
Tấm phẳng, tấm vuông, tấm tròn, tấm có rãnh, tấm đục lỗ, v.v.
Câu hỏi thường gặp về kính thạch anh
Câu 1: Sự khác biệt giữa tấm RBSiC và SSiC là gì?
A:RBSiC có độ bền cơ học tốt và hiệu quả chi phí cao, trong khi SSiC có độ tinh khiết cao hơn, khả năng chống ăn mòn tốt hơn và độ bền cao hơn. SSiC được ưa chuộng trong các ứng dụng bán dẫn và hóa chất.
Câu 2: Tấm gốm SiC có chịu được sốc nhiệt không?
A:Đúng vậy. SiC có hệ số giãn nở nhiệt thấp và độ dẫn nhiệt cao, đảm bảo khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời.
Câu 3: Có thể đánh bóng các tấm này để tạo bề mặt gương không?
A:Đúng vậy. CVD-SiC và SSiC có độ tinh khiết cao có thể đạt được độ bóng như gương, đáp ứng các yêu cầu về quang học hoặc bán dẫn.
Câu 4: Công ty có hỗ trợ gia công theo yêu cầu không?
A:Có. Các tấm có thể được chế tạo theo bản vẽ của bạn, bao gồm các lỗ, rãnh, chỗ lõm và hình dạng đặc biệt.
Về chúng tôi
XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới với công nghệ cao. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho ngành điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp các linh kiện quang học Sapphire, nắp ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide (SIC), thạch anh và tấm bán dẫn tinh thể. Với chuyên môn cao và thiết bị hiện đại, chúng tôi vượt trội trong gia công các sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.
