Tấm nền thủy tinh TGV, tấm wafer 12 inch, đục lỗ thủy tinh
Các chất nền bằng thủy tinh thể hiện tốt hơn về tính chất nhiệt, độ ổn định vật lý, khả năng chịu nhiệt tốt hơn và ít bị cong vênh hoặc biến dạng do nhiệt độ cao;
Ngoài ra, các đặc tính điện độc đáo của lõi thủy tinh cho phép giảm tổn hao điện môi, giúp truyền tín hiệu và năng lượng rõ ràng hơn. Kết quả là, tổn hao điện năng trong quá trình truyền tín hiệu được giảm thiểu và hiệu suất tổng thể của chip được tăng cường một cách tự nhiên. Độ dày của chất nền lõi thủy tinh có thể giảm khoảng một nửa so với nhựa ABF, và việc làm mỏng này giúp cải thiện tốc độ truyền tín hiệu và hiệu suất năng lượng.
Công nghệ tạo lỗ của tàu cao tốc TGV:
Phương pháp khắc bằng laser được sử dụng để tạo ra vùng biến tính liên tục thông qua laser xung, sau đó thủy tinh đã được xử lý bằng laser được đặt vào dung dịch axit flohydric để khắc. Tốc độ khắc vùng biến tính trên thủy tinh trong axit flohydric nhanh hơn so với thủy tinh chưa biến tính, tạo thành các lỗ xuyên suốt.
TGV đầy:
Đầu tiên, các lỗ mù TGV được tạo ra. Thứ hai, lớp mầm được lắng đọng bên trong lỗ mù TGV bằng phương pháp lắng đọng hơi vật lý (PVD). Thứ ba, quá trình mạ điện từ dưới lên giúp lấp đầy TGV một cách liền mạch; Cuối cùng, thông qua quá trình liên kết tạm thời, mài mặt sau, đánh bóng cơ học hóa học (CMP) để lộ lớp đồng, tách lớp liên kết, tạo thành tấm chuyển tiếp chứa đầy kim loại TGV.
Sơ đồ chi tiết



