Quy trình TVG trên tấm wafer sapphire thạch anh BF33, đục lỗ wafer thủy tinh.
Ưu điểm của TGV (Through Glass Via) chủ yếu thể hiện ở:
1) Đặc tính điện tần số cao tuyệt vời. Vật liệu thủy tinh là vật liệu cách điện, hằng số điện môi chỉ bằng khoảng 1/3 so với vật liệu silicon, hệ số tổn hao thấp hơn vật liệu silicon từ 2-3 bậc độ lớn, giúp giảm đáng kể tổn hao nền và các hiệu ứng ký sinh, đảm bảo tính toàn vẹn của tín hiệu truyền tải;
(2) Chất nền thủy tinh kích thước lớn và siêu mỏng rất dễ kiếm. Chúng tôi có thể cung cấp Sapphire, Quartz, Corning, SCHOTT và các nhà sản xuất thủy tinh khác có thể cung cấp kính tấm kích thước cực lớn (>2m × 2m) và siêu mỏng (<50µm) cũng như vật liệu kính dẻo siêu mỏng.
3) Chi phí thấp. Nhờ dễ dàng tiếp cận với kính tấm siêu mỏng kích thước lớn và không cần phủ lớp cách nhiệt, chi phí sản xuất tấm chuyển đổi bằng kính chỉ bằng khoảng 1/8 so với tấm chuyển đổi bằng silicon;
4) Quy trình đơn giản. Không cần phủ lớp cách điện lên bề mặt chất nền và thành trong của TGV (Through Glass Via), và không cần làm mỏng tấm adapter siêu mỏng;
(5) Độ ổn định cơ học cao. Ngay cả khi độ dày của tấm chuyển đổi nhỏ hơn 100µm, độ cong vênh vẫn nhỏ;
6) Phạm vi ứng dụng rộng rãi. Bên cạnh triển vọng ứng dụng tốt trong lĩnh vực tần số cao, với vai trò là vật liệu trong suốt, nó còn có thể được sử dụng trong lĩnh vực tích hợp hệ thống quang điện tử. Ưu điểm về độ kín khí và khả năng chống ăn mòn khiến chất nền thủy tinh có tiềm năng lớn trong lĩnh vực đóng gói MEMS.
Hiện tại, công ty chúng tôi cung cấp công nghệ tạo lỗ xuyên kính TGV (Through Glass Via), có thể thu xếp gia công nguyên vật liệu đầu vào và cung cấp sản phẩm trực tiếp. Chúng tôi có thể cung cấp các loại kính Sapphire, Quartz, Corning, SCHOTT, BF33 và các loại kính khác. Nếu quý khách có nhu cầu, vui lòng liên hệ trực tiếp với chúng tôi bất cứ lúc nào! Rất mong nhận được yêu cầu tư vấn!
Sơ đồ chi tiết



