Bệ đỡ khí nén SiC siêu chính xác

Mô tả ngắn gọn:

Với sự phát triển không ngừng của ngành công nghiệp bán dẫn, thiết bị xử lý và kiểm tra đòi hỏi hiệu năng ngày càng cao. Dựa trên kinh nghiệm sâu rộng trong điều khiển chuyển động và định vị ở cấp độ nanomet, chúng tôi đã phát triển một bàn trượt khí nén siêu chính xác hai trục hình chữ H phẳng.

Gửi email cho chúng tôi

Đặc trưng

Sơ đồ chi tiết

Tổng quan

Được thiết kế với cấu trúc gốm silicon carbide (SiC) tối ưu hóa bằng phương pháp phần tử hữu hạn và công nghệ ổ trục khí bù trừ, bàn trượt mang lại độ chính xác, độ cứng vững và khả năng phản hồi động vượt trội. Sản phẩm này lý tưởng cho:

Xử lý và kiểm tra chất bán dẫn
Chế tạo và đo lường vi mô/nano
Cắt và đánh bóng ở quy mô nanomet
Quét chính xác tốc độ cao

Các tính năng chính

Đường dẫn hướng ổ trục khí SiCcho độ cứng và độ chính xác cực cao
Động lực caoVận tốc lên đến 1 m/s, gia tốc lên đến 4 g, khả năng ổn định nhanh.
Trục Y của giàn truyền động képĐảm bảo khả năng chịu tải cao và tính ổn định.
Tùy chọn bộ mã hóa: cách tử quang học hoặc giao thoa kế laser
Độ chính xác định vị: ±0,15 μm;khả năng lặp lại: ±75 nm
Tối ưu hóa việc định tuyến cápcho thiết kế gọn gàng và độ tin cậy lâu dài
Cấu hình tùy chỉnhcho các nhu cầu cụ thể của ứng dụng

Thiết kế siêu chính xác & Kiến trúc truyền động trực tiếp, không tiếp xúc

Khung gốm SiCĐộ cứng gấp ~5 lần hợp kim nhôm và hệ số giãn nở nhiệt thấp hơn ~5 lần, đảm bảo độ ổn định ở tốc độ cao và khả năng chịu nhiệt tốt.
Ổ trục khí bùThiết kế độc quyền giúp tăng cường độ cứng, khả năng chịu tải và độ ổn định chuyển động.
Hiệu suất độngHỗ trợ vận tốc 1 m/s và gia tốc 4 g, lý tưởng cho các quy trình có năng suất cao.
Tích hợp liền mạchTương thích với các hệ thống cách ly rung động, bàn xoay, mô-đun nghiêng và bệ xử lý wafer.
Quản lý cápBán kính uốn được kiểm soát giúp giảm thiểu ứng suất, kéo dài tuổi thọ sử dụng.

Động cơ tuyến tính không lõiChuyển động mượt mà, không có lực cản.
Bộ truyền động nhiều động cơViệc bố trí động cơ trên mặt phẳng tải giúp cải thiện độ thẳng, độ phẳng và độ chính xác góc.
Cách nhiệtĐộng cơ được cách ly khỏi cấu trúc sân khấu; có thể tùy chọn làm mát bằng không khí hoặc nước cho các chu kỳ hoạt động cao.

Thông số kỹ thuật

Người mẫu	400-400	500-500	600-600
Trục	X (quét) / Y (bước)	X (quét) / Y (bước)	X (quét) / Y (bước)
Hành trình (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Độ chính xác (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Độ lặp lại (nm)	±75	±100	±100
Độ phân giải (nm)	0,3	0,3	0,3
Tốc độ tối đa (m/s)	1	1	1
Gia tốc (g)	4	4	4
Độ thẳng (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Độ ổn định (nm)	±5	±5	±5
Tải trọng tối đa (kg)	20	20	20
Góc nghiêng/Góc xoay/Góc quay (giây cung)	±1	±1	±1

Điều kiện thử nghiệm:

Nguồn cung cấp không khí: sạch, khô; điểm sương ≤ 0°F; lọc hạt ≤ 0,25 μm; hoặc 99,99% nitơ.
Độ chính xác được đo ở vị trí cách tâm bàn in 25 mm, nhiệt độ 20±1 °C và độ ẩm tương đối 40–60%.

Ứng dụng

Công nghệ in thạch bản bán dẫn, kiểm tra và xử lý tấm bán dẫn.
Chế tạo vi mô/nano và đo lường chính xác
Sản xuất quang học cao cấp và giao thoa kế
Hàng không vũ trụ và nghiên cứu khoa học tiên tiến

Câu hỏi thường gặp – Bàn trượt khí nén bằng silicon carbide

1. Tầng đệm khí là gì?

Hệ thống bệ đỡ khí nén sử dụng một lớp màng mỏng không khí nén giữa bệ đỡ và đường dẫn hướng để cung cấpchuyển động không ma sát, không mài mòn và cực kỳ mượt màKhác với các ổ trục cơ khí thông thường, nó loại bỏ hiện tượng trượt giật, mang lại độ chính xác ở mức nanomet và hỗ trợ độ tin cậy lâu dài.

2. Tại sao lại sử dụng silicon carbide (SiC) cho cấu trúc giá đỡ?

Độ cứng cao: Gấp khoảng 5 lần so với hợp kim nhôm, giúp giảm thiểu biến dạng trong quá trình chuyển động.
Độ giãn nở nhiệt thấpNhiệt độ thấp hơn khoảng 5 lần so với nhôm, vẫn đảm bảo độ chính xác ngay cả khi nhiệt độ thay đổi.
NhẹMật độ thấp hơn so với thép, cho phép hoạt động ở tốc độ cao và gia tốc lớn.
Độ ổn định tuyệt vờiKhả năng giảm chấn và độ cứng vượt trội cho định vị siêu chính xác.

3. Sân khấu có cần bôi trơn hoặc bảo dưỡng không?

Không cần sử dụng chất bôi trơn truyền thống vì đã có...không có tiếp xúc cơ họcCác bước bảo trì được khuyến nghị bao gồm:

Cung cấpkhông khí nén sạch, khô hoặc nitơ
Kiểm tra định kỳ các bộ lọc và máy sấy.
Giám sát cáp và hệ thống làm mát

4. Nhu cầu cung cấp không khí là gì?

Điểm sương: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Lọc hạt: ≤ 0,25 μm
Không khí sạch, khô hoặc nitơ tinh khiết 99,99%
Áp suất ổn định với sự dao động tối thiểu.

Về chúng tôi

XKH chuyên phát triển, sản xuất và kinh doanh các loại kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới với công nghệ cao. Sản phẩm của chúng tôi phục vụ cho ngành điện tử quang học, điện tử tiêu dùng và quân sự. Chúng tôi cung cấp các linh kiện quang học Sapphire, nắp ống kính điện thoại di động, gốm sứ, LT, Silicon Carbide (SIC), thạch anh và tấm bán dẫn tinh thể. Với chuyên môn cao và thiết bị hiện đại, chúng tôi vượt trội trong gia công các sản phẩm phi tiêu chuẩn, hướng tới mục tiêu trở thành doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.