Đường kính đế SiC 12 inch 300mm Độ dày 750μm Loại 4H-N có thể tùy chỉnh
Thông số kỹ thuật
Thông số kỹ thuật của chất nền Silicon Carbide (SiC) 12 inch | |||||
Cấp | Sản xuất ZeroMPD Cấp độ (Cấp độ Z) | Sản xuất tiêu chuẩn Hạng (P) | Điểm giả (Hạng D) | ||
Đường kính | 3 0 0mm~1305mm | ||||
Độ dày | 4H-N | 750μm±15μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm±15μm | 750μm±25μm | |||
Định hướng wafer | Ngoài trục: 4,0° về phía <1120 >±0,5° đối với 4H-N, Trên trục: <0001>±0,5° đối với 4H-SI | ||||
Mật độ ống vi mô | 4H-N | ≤0,4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Điện trở suất | 4H-N | 0,015~0,024Ω·cm | 0,015~0,028Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Định hướng phẳng chính | {10-10} ±5,0° | ||||
Chiều dài phẳng chính | 4H-N | Không có | |||
4H-SI | khía | ||||
Loại trừ cạnh | 3mm | ||||
LTV/TTV/Cung/Cánh buồm | 5μm/<15μm/<35μm/<55μm | □ μm/≤55 □ μm | |||
Độ nhám | Ba Lan Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0,5nm | ||||
Nứt cạnh do ánh sáng cường độ cao Tấm lục giác bằng ánh sáng cường độ cao Các khu vực đa dạng bằng ánh sáng cường độ cao Các tạp chất Carbon trực quan Bề mặt silicon bị trầy xước do ánh sáng cường độ cao | Không có Diện tích tích lũy ≤0,05% Không có Diện tích tích lũy ≤0,05% Không có | Chiều dài tích lũy ≤ 20 mm, chiều dài đơn ≤ 2 mm Diện tích tích lũy ≤0.1% Diện tích tích lũy≤3% Diện tích tích lũy ≤3% Chiều dài tích lũy≤1×đường kính wafer | |||
Chip cạnh bằng ánh sáng cường độ cao | Không được phép có chiều rộng và chiều sâu ≥0,2mm | 7 cho phép, mỗi ≤1 mm | |||
(TSD) Sự sai lệch của vít ren | ≤500 cm-2 | Không có | |||
(BPD) Sự dịch chuyển của mặt phẳng cơ sở | ≤1000 cm-2 | Không có | |||
Ô nhiễm bề mặt silicon do ánh sáng cường độ cao | Không có | ||||
Bao bì | Hộp đựng nhiều wafer hoặc wafer đơn | ||||
Ghi chú: | |||||
1 Giới hạn khuyết tật được áp dụng cho toàn bộ bề mặt wafer ngoại trừ vùng loại trừ cạnh. 2Chỉ nên kiểm tra các vết xước trên mặt Si. 3 Dữ liệu về sự sai lệch chỉ có từ các tấm wafer được khắc KOH. |
Các tính năng chính
1. Ưu điểm về năng lực sản xuất và chi phí: Việc sản xuất hàng loạt tấm nền SiC 12 inch (tấm nền silicon carbide 12 inch) đánh dấu một kỷ nguyên mới trong sản xuất chất bán dẫn. Số lượng chip có thể thu được từ một tấm wafer đơn đạt 2,25 lần so với tấm nền 8 inch, trực tiếp thúc đẩy hiệu quả sản xuất tăng vọt. Phản hồi của khách hàng cho thấy việc áp dụng tấm nền 12 inch đã giúp giảm 28% chi phí sản xuất mô-đun nguồn của họ, tạo ra lợi thế cạnh tranh quyết định trong thị trường cạnh tranh khốc liệt.
2. Tính chất vật lý nổi bật: Tấm nền SiC 12 inch thừa hưởng mọi ưu điểm của vật liệu silicon carbide - độ dẫn nhiệt của nó gấp 3 lần silicon, trong khi cường độ trường đánh thủng của nó đạt gấp 10 lần silicon. Những đặc điểm này cho phép các thiết bị dựa trên tấm nền 12 inch hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao vượt quá 200°C, khiến chúng đặc biệt phù hợp với các ứng dụng đòi hỏi khắt khe như xe điện.
3. Công nghệ xử lý bề mặt: Chúng tôi đã phát triển một quy trình đánh bóng cơ học hóa học (CMP) mới dành riêng cho các chất nền SiC 12 inch, đạt được độ phẳng bề mặt ở cấp độ nguyên tử (Ra <0,15nm). Bước đột phá này giải quyết thách thức toàn cầu về xử lý bề mặt wafer silicon carbide đường kính lớn, xóa bỏ các trở ngại cho sự phát triển epitaxial chất lượng cao.
4. Hiệu suất quản lý nhiệt: Trong các ứng dụng thực tế, các tấm nền SiC 12 inch thể hiện khả năng tản nhiệt đáng chú ý. Dữ liệu thử nghiệm cho thấy ở cùng mật độ công suất, các thiết bị sử dụng tấm nền 12 inch hoạt động ở nhiệt độ thấp hơn 40-50°C so với các thiết bị nền silicon, kéo dài đáng kể tuổi thọ của thiết bị.
Ứng dụng chính
1. Hệ sinh thái xe năng lượng mới: Tấm nền SiC 12 inch (tấm nền silicon carbide 12 inch) đang cách mạng hóa kiến trúc hệ thống truyền động của xe điện. Từ bộ sạc trên bo mạch (OBC) đến bộ biến tần truyền động chính và hệ thống quản lý pin, những cải tiến về hiệu suất do tấm nền 12 inch mang lại giúp tăng phạm vi hoạt động của xe lên 5-8%. Báo cáo từ một nhà sản xuất ô tô hàng đầu cho biết việc áp dụng tấm nền 12 inch của chúng tôi đã giảm tổn thất năng lượng trong hệ thống sạc nhanh của họ lên tới 62%.
2. Ngành năng lượng tái tạo: Trong các nhà máy điện quang điện, bộ biến tần dựa trên chất nền SiC 12 inch không chỉ có kích thước nhỏ hơn mà còn đạt hiệu suất chuyển đổi vượt quá 99%. Đặc biệt trong các kịch bản phát điện phân tán, hiệu suất cao này giúp các nhà khai thác tiết kiệm được hàng trăm nghìn nhân dân tệ tiền điện bị mất hàng năm.
3. Tự động hóa công nghiệp: Bộ biến tần sử dụng đế 12 inch cho thấy hiệu suất tuyệt vời trong rô-bốt công nghiệp, máy công cụ CNC và các thiết bị khác. Đặc tính chuyển mạch tần số cao của chúng cải thiện tốc độ phản hồi của động cơ lên 30% đồng thời giảm nhiễu điện từ xuống còn một phần ba so với các giải pháp thông thường.
4. Đổi mới trong ngành điện tử tiêu dùng: Các công nghệ sạc nhanh cho điện thoại thông minh thế hệ tiếp theo đã bắt đầu áp dụng đế SiC 12 inch. Dự kiến các sản phẩm sạc nhanh trên 65W sẽ chuyển đổi hoàn toàn sang giải pháp silicon carbide, với đế 12 inch nổi lên là lựa chọn tối ưu về chi phí-hiệu suất.
Dịch vụ tùy chỉnh XKH cho nền SiC 12 inch
Để đáp ứng các yêu cầu cụ thể cho tấm nền SiC 12 inch (tấm nền silicon carbide 12 inch), XKH cung cấp dịch vụ hỗ trợ toàn diện:
1. Tùy chỉnh độ dày:
Chúng tôi cung cấp tấm nền 12 inch với nhiều thông số kỹ thuật về độ dày khác nhau, bao gồm 725μm để đáp ứng các nhu cầu ứng dụng khác nhau.
2. Nồng độ pha tạp:
Quy trình sản xuất của chúng tôi hỗ trợ nhiều loại độ dẫn điện khác nhau, bao gồm chất nền loại n và loại p, với khả năng kiểm soát điện trở suất chính xác trong phạm vi 0,01-0,02Ω·cm.
3. Dịch vụ kiểm tra:
Với thiết bị kiểm tra cấp wafer hoàn chỉnh, chúng tôi cung cấp báo cáo kiểm tra đầy đủ.
XKH hiểu rằng mỗi khách hàng có những yêu cầu riêng đối với chất nền SiC 12 inch. Do đó, chúng tôi cung cấp các mô hình hợp tác kinh doanh linh hoạt để cung cấp các giải pháp cạnh tranh nhất, cho dù là:
· Mẫu R&D
· Mua hàng sản xuất số lượng lớn
Các dịch vụ tùy chỉnh của chúng tôi đảm bảo có thể đáp ứng các nhu cầu sản xuất và kỹ thuật cụ thể của bạn đối với tấm nền SiC 12 inch.


