Tấm wafer sapphire Al2O3 độ tinh khiết cao 99,999% kích thước 4 inch, đường kính 101,6×0,65mm với chiều dài phẳng chính.
Sự miêu tả
Các thông số kỹ thuật phổ biến của tấm wafer sapphire 4 inch được giới thiệu như sau:
Độ dày: Độ dày của các tấm wafer sapphire thông thường nằm trong khoảng từ 0,2 mm đến 2 mm, và độ dày cụ thể có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng.
Vùng bảo vệ cạnh: Thường có một phần nhỏ ở rìa của tấm bán dẫn gọi là "vùng bảo vệ cạnh" (placement edge) có chức năng bảo vệ bề mặt và cạnh của tấm bán dẫn, và thường có cấu trúc vô định hình.
Chuẩn bị bề mặt: Các tấm wafer sapphire thông thường được mài cơ học và đánh bóng cơ học bằng hóa chất để làm nhẵn bề mặt.
Tính chất bề mặt: Bề mặt của các tấm wafer sapphire thường có các đặc tính quang học tốt, chẳng hạn như độ phản xạ thấp và chỉ số khúc xạ thấp, nhằm cải thiện hiệu suất của thiết bị.
Ứng dụng
● Chất nền tăng trưởng cho các hợp chất III-V và II-VI
● Điện tử và quang điện tử
● Ứng dụng IR
● Mạch tích hợp Silicon trên Sapphire (SOS)
● Mạch tích hợp tần số vô tuyến (RFIC)
Thông số kỹ thuật
| Mục | Tấm wafer sapphire 4 inch mặt phẳng C (0001) 650μm | |
| Vật liệu tinh thể | Al2O3 đơn tinh thể, độ tinh khiết cao, 99,999%. | |
| Cấp | Prime, Epi-Ready | |
| Định hướng bề mặt | Mặt phẳng C (0001) | |
| Góc lệch giữa mặt phẳng C và trục M là 0,2 ± 0,1° | ||
| Đường kính | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Độ dày | 650 μm +/- 25 μm | |
| Định hướng phẳng chính | Mặt phẳng A (11-20) +/- 0,2° | |
| Chiều dài phẳng chính | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Đánh bóng một mặt | Mặt trước | Bề mặt được đánh bóng, độ nhám Ra < 0,2 nm (bằng AFM) |
| (SSP) | Mặt sau | Nghiền mịn, Ra = 0,8 μm đến 1,2 μm |
| Đánh bóng hai mặt | Mặt trước | Bề mặt được đánh bóng, độ nhám Ra < 0,2 nm (bằng AFM) |
| (DSP) | Mặt sau | Bề mặt được đánh bóng, độ nhám Ra < 0,2 nm (bằng AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| CÂY CUNG | < 20 μm | |
| BIẾN DẠNG | < 20 μm | |
| Vệ sinh / Đóng gói | Vệ sinh phòng sạch cấp 100 và đóng gói chân không. | |
| 25 chiếc trong một hộp băng cassette hoặc đóng gói riêng lẻ. | ||
Chúng tôi có nhiều năm kinh nghiệm trong ngành chế tác sapphire, bao gồm cả thị trường nhà cung cấp Trung Quốc và thị trường nhu cầu quốc tế. Nếu quý khách có bất kỳ nhu cầu nào, vui lòng liên hệ với chúng tôi.
Sơ đồ chi tiết
