Tấm wafer nền Sapphire 99,999% Al2O3 độ tinh khiết cao 4 inch Đường kính 101,6×0,65mmt với Chiều dài phẳng chính
Sự miêu tả
Các thông số kỹ thuật chung của tấm wafer sapphire 4 inch được giới thiệu như sau:
Độ dày: Độ dày của tấm sapphire thông thường là từ 0,2 mm đến 2 mm và độ dày cụ thể có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng.
Cạnh đặt: Thường có một phần nhỏ ở cạnh của tấm wafer được gọi là "cạnh đặt" có tác dụng bảo vệ bề mặt và cạnh của tấm wafer, và thường không có định hình.
Chuẩn bị bề mặt: Các tấm sapphire thông thường được mài cơ học và đánh bóng cơ học bằng hóa chất để làm mịn bề mặt.
Tính chất bề mặt: Bề mặt của tấm wafer sapphire thường có tính chất quang học tốt, chẳng hạn như độ phản xạ thấp và chiết suất thấp, giúp cải thiện hiệu suất của thiết bị.
Ứng dụng
● Chất nền tăng trưởng cho hợp chất III-V và II-VI
● Điện tử và quang điện tử
● Ứng dụng IR
● Mạch tích hợp silicon trên sapphire (SOS)
● Mạch tích hợp tần số vô tuyến (RFIC)
Đặc điểm kỹ thuật
| Mục | Tấm wafer Sapphire 650μm 4 inch C-plane (0001) | |
| Vật liệu pha lê | 99,999%, Độ tinh khiết cao, Al2O3 đơn tinh thể | |
| Cấp | Prime, Sẵn sàng cho Epi | |
| Định hướng bề mặt | Mặt phẳng C(0001) | |
| Góc lệch mặt phẳng C hướng về trục M 0,2 +/- 0,1° | ||
| Đường kính | 100,0mm +/- 0,1mm | |
| Độ dày | 650 μm +/- 25 μm | |
| Định hướng phẳng chính | Mặt phẳng A(11-20) +/- 0,2° | |
| Chiều dài phẳng chính | 30,0mm +/- 1,0mm | |
| Đánh bóng một mặt | Mặt trước | Đánh bóng Epi, Ra < 0,2 nm (bằng AFM) |
| (SSP) | Mặt sau | Nghiền mịn, Ra = 0,8 μm đến 1,2 μm |
| Đánh bóng hai mặt | Mặt trước | Đánh bóng Epi, Ra < 0,2 nm (bằng AFM) |
| (DSP) | Mặt sau | Đánh bóng Epi, Ra < 0,2 nm (bằng AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| CÂY CUNG | < 20 μm | |
| DẠNG CHẢY | < 20 μm | |
| Vệ sinh / Đóng gói | Vệ sinh phòng sạch và đóng gói chân không cấp độ 100, | |
| 25 chiếc trong một bao bì dạng hộp hoặc bao bì dạng mảnh riêng lẻ. | ||
Chúng tôi có nhiều năm kinh nghiệm trong ngành chế biến sapphire. Bao gồm thị trường cung cấp Trung Quốc cũng như thị trường nhu cầu quốc tế. Nếu bạn có bất kỳ nhu cầu nào, vui lòng liên hệ với chúng tôi.
Sơ đồ chi tiết
