Tấm wafer silicon loại N hoặc loại P 6 inch CZ Si wafer
Giới thiệu hộp wafer
Thông số kỹ thuật của tấm wafer Silicon:
Tấm wafer silicon 6 inch Tăng trưởng: CZ, MCZ, FZ。
6. Cấp độ wafer silicon: Prime, Test, Dummy, v.v.
Đường kính wafer silicon 6 inch: 6 inch/150mm。
Độ dày wafer silicon 6 inch: 200~ 3000um。
Tấm wafer silicon 6 inch Hoàn thiện: Theo cách cắt, mài, khắc, SSP, DSP, v.v.
Định hướng wafer silicon 6 inch: (100) (111) (110) (531) (553) v.v.
Tấm wafer silicon 6 inch cắt lệch: tối đa 4 độ。
Loại wafer silicon 6 inch/Chất pha tạp: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Nội tại。
Tấm wafer silicon 6 inch Điện trở suất: CZ/MCZ: Từ 0,001 đến 1000 ohm-cm. FZ: lên đến 20k ohm-cm.
Tấm wafer Silicon 6 inch Màng mỏng: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. v.v. Độ dày lớp phủ lên tới 20.000A/5%.
(b)LPCVD/PECVD: Oxit, Nitride, siC, v.v.,Độ dày lớp phủ lên tới 200.000A/3%.
(c) Tấm silicon epitaxial và các dịch vụ epitaxial (SOS, GaN, GOI, v.v.).
Quy trình sản xuất tấm wafer silicon 6 inch: a.DSP, siêu mỏng, siêu phẳng, v.v.
b. Thu nhỏ, mài lại, cắt nhỏ, v.v.c. MEMS.
Kể từ năm 2010, Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd đã cam kết cung cấp cho khách hàng các giải pháp wafer silicon 4 inch toàn diện, từ wafer cấp gỡ lỗi wafer giả, wafer cấp thử nghiệm wafer thử nghiệm, đến wafer cấp sản phẩm wafer chính, cũng như wafer đặc biệt, wafer oxit oxit, wafer nitride Si3N4, wafer mạ nhôm, wafer silicon mạ đồng, wafer SOI, kính MEMS, wafer siêu dày và siêu phẳng tùy chỉnh, v.v., với kích thước từ 50mm-300mm và chúng tôi có thể cung cấp wafer bán dẫn với các dịch vụ đánh bóng, làm mỏng, cắt hạt lựu một mặt/hai mặt, MEMS và các dịch vụ xử lý và tùy chỉnh khác.
Sơ đồ chi tiết


