Tấm wafer silicon loại N hoặc loại P 6 inch CZ Tấm wafer Si
Giới thiệu hộp wafer
Thông số kỹ thuật của tấm wafer Silicon:
Tấm wafer silicon 6 inch Phát triển: CZ, MCZ, FZ.
6. Cấp độ wafer silicon: Prime, Test, Dummy, v.v.
Đường kính wafer silicon 6 inch: 6 inch/150mm。
Độ dày tấm wafer silicon 6 inch: 200~ 3000um。
Tấm wafer Silicon 6 inch Hoàn thiện: Theo cách cắt, mài, khắc, SSP, DSP, v.v.
Tấm wafer Silicon 6 inch Định hướng: (100) (111) (110) (531)(553) v.v.
Tấm wafer Silicon 6 inch cắt rời: tối đa 4 độ。
Tấm wafer Silicon 6 inch Loại/Chất pha tạp: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Nội tại.
Tấm wafer Silicon 6 inch Điện trở suất: CZ/MCZ: Từ 0,001 đến 1000 ohm-cm. FZ: lên đến 20k ohm-cm.
Tấm silicon 6 inch Màng mỏng: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. v.v. Độ dày lớp phủ lên tới 20.000A/5%.
(b)LPCVD/PECVD: Oxit, Nitride, siC, v.v.,Độ dày lớp phủ lên tới 200.000A/3%.
(c)Tấm wafer epitaxial silicon và các dịch vụ epitaxial (SOS, GaN, GOI, v.v.).
Tấm wafer Silicon 6 inch Quy trình: a.DSP, siêu mỏng, siêu phẳng, v.v.
b. Thu nhỏ, mài lại, cắt nhỏ, v.v.c. MEMS.
Kể từ năm 2010, Công ty TNHH Công nghệ Vật liệu XKH Thượng Hải đã cam kết cung cấp cho khách hàng các giải pháp toàn diện về wafer Silicon 4 inch, từ wafer cấp độ gỡ lỗi wafer giả, wafer cấp độ thử nghiệm wafer thử nghiệm đến wafer cấp độ sản phẩm wafer Prime, cũng như wafer đặc biệt, wafer oxit oxit, wafer nitride Si3N4, wafer mạ nhôm, wafer silicon mạ đồng, wafer SOI, kính MEMS, wafer siêu dày và siêu phẳng tùy chỉnh, v.v., với kích thước từ 50mm-300mm và chúng tôi có thể cung cấp wafer bán dẫn với các dịch vụ đánh bóng, làm mỏng, cắt hạt lựu, MEMS và các dịch vụ xử lý và tùy chỉnh khác một mặt/hai mặt.
Sơ đồ chi tiết


