Tấm wafer silicon loại N hoặc loại P 6 inch Tấm wafer CZ Si
Giới thiệu hộp wafer
Thông số kỹ thuật của tấm silicon:
Tăng trưởng wafer silicon 6 inch: CZ, MCZ, FZ。
6 Lớp wafer silicon: Prime, Test, Dummy, v.v.
Đường kính wafer silicon 6 inch: 6 inch/150mm。
Tấm wafer silicon 6 inch Độ dày: 200 ~ 3000um。
Hoàn thiện wafer silicon 6 inch: Khi cắt, mài, khắc, SSP, DSP, v.v.。
Định hướng wafer silicon 6 inch: (100) (111) (110) (531)(553) v.v.。
Tấm wafer silicon 6 inch Cắt đứt: lên tới 4deg。
Loại wafer silicon 6 inch/Dopant: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic。
Tấm wafer silicon 6 inch Điện trở suất: CZ/MCZ: Từ 0,001 đến 1000 ohm-cm. FZ: lên tới 20k ohm-cm.
Tấm wafer silicon 6 inch Màng mỏng: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo., v.v., Độ dày lớp phủ lên tới 20.000A/5%.
(b)LPCVD/PECVD: Oxit, Nitride, siC, v.v.,Độ dày lớp phủ lên tới 200.000A/3%.
(c) Tấm silicon epiticular và dịch vụ epiticular (SOS, GaN, GOI, v.v.).
Các quy trình wafer silicon 6 inch: a.DSP, siêu mỏng, siêu phẳng, v.v.
b.Thu nhỏ, mài lại, thái hạt lựu, v.v.。c. MEMS.
Từ năm 2010, Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd đã cam kết cung cấp cho khách hàng các giải pháp wafer Silicon wafer 4 inch toàn diện, từ tấm wafer cấp độ gỡ lỗi Dummy Wafer, tấm wafer cấp độ thử nghiệm Test wafer, đến tấm wafer cấp sản phẩm Prime Wafer, cũng như các tấm wafer đặc biệt, tấm Oxit Oxide, Tấm wafer Nitride Si3N4, tấm wafer mạ nhôm, tấm silicon mạ đồng, tấm wafer SOI, kính MEMS, tấm wafer siêu dày và siêu phẳng tùy chỉnh, v.v., với kích thước từ 50mm-300mm và chúng tôi có thể cung cấp tấm bán dẫn với một mặt /đánh bóng hai mặt, làm mỏng, thái hạt lựu, MEMS và các dịch vụ xử lý và tùy chỉnh khác.